ペイロード（４）を動かす複数のローレンツモータ（１、２）を制御するための制御構成及び方法であって、ペイロードが重心（１２）を有する、制御構成及び方法について開示している。高さ信号（ｚ１、ｚ２）は前記ペイロードの高さを検出するセンサから受信される。水平方向の軸の周りの重心の少なくとも１つの回転角度はそれらの高さ信号（ｚ１、ｚ２）から計算され、ペイロード（４）を支持するための所定の回転剛性が達成されるように、この少なくとも１つの回転角度から、ローレンツモータ（１、２）のための制御信号（Ｃ１、Ｃ２）が計算される。典型的なアプリケーションは電子顕微鏡又はリソグラフィ装置の床免震用緩衝部である。

（もっと読む）