回転軸を持つねじ付きシャフトと、これに螺合するナットを備えたシャフトアッセンブリを駆動するための装置であって、前記ナットに超音波振動を与えることで前記シャフトを回転させると同時に軸方向に移動させることができる装置。前記シャフトは負荷に接続され、その負荷はシャフトに軸方向の力を及ぼす。 （もっと読む）

第１軸に沿って対象物１２を運動させるか又は位置決めする発動機組み立て体１６が、モータ２０とカップリング組み立て体２２とを含んでいる。モータ２０は、第１軸に沿って、また第１軸を中心として運動するモータ出力部３３２を含んでいる。カップリング組み立て体２２は、モータ出力部３３２を対象物に接続するステージ３４４と、第１軸に沿った、ステージ３４４の運動を案内するステージ案内３４６とを含んでいる。一実施例では、ステージ案内３４６がリニアベアリングであり、該リニアベアリングは、第１軸に沿った、ステージの運動は許容するが、第１軸を中心とする運動と、第２軸、第３軸に沿った運動は阻止する。加えて、カップリング組み立て体２２は、ステージ３４４の運動をモニタする測定システム２８を含むことができる。
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