【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、第１電極２０との間の静電力によって基板１０の厚み方向に振動可能となる梁部３２、および梁部３２を支持する支持部３４を有する第２電極と、を含み、第２電極３０は、梁部３２を複数有する。 （もっと読む）

【課題】電気機械エネルギー変換素子と弾性体とが、接着剤を用いることなく接合された振動体を提供する。
【解決手段】電気機械エネルギー変換素子３３，３４と、該電気機械エネルギー変換素子３３，３４と接合され、該電気機械エネルギー変換素子３３，３４の変形により駆動される弾性体３１，３２と、を備え、前記電気機械エネルギー変換素子３３，３４と前記弾性体３１，３２とが、金属結合により接合されていること、を特徴とする振動体３０である。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、異音が発生せず駆動性能の良好な振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及び電子機器を提供すること。
【解決手段】振動を発生する振動子と、振動子と加圧接触され、振動によって振動子に対して相対移動する相対移動部材とを備え、振動子の相対移動部材に対する第一接触面、及び、相対移動部材の振動子に対する第二接触面、の一方は、弾性率が５ＧＰａ以下となるようにフッ素樹脂を含む樹脂膜で形成されており、第一接触面及び第二接触面の他方は、クルトシスが３．５〜６．５となるようにクロム化合物で形成されている。 （もっと読む）

【課題】摺動部材に付着した磨耗粉を完全に除去することができ、駆動効率及び駆動性能の低下並びに短寿命化を防止する
【解決手段】超音波モータは、振動を励起する振動子１１と、振動子１１に設けられた駆動子１２ａ、１２ｂと、振動子１１を保持するホルダ１３と、ホルダ１３に設けられた研削用砥石１４とを備え、研削用砥石１４が配置調整可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】精度よく動作することが可能な圧電アクチュエータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】誘電体１０の中央部１０３の上面には、第一電極１１と、第一電極１１とは異なる極性の電圧が印加される第二電極１２とが、左右方向に交互に並んで設けられている。中央部１０３の底面には、第三電極１３と、第三電極１３とは異なる極性の電圧が印加される第四電極１４とが、左右方向に交互に並んで設けられている。第一、第二電極１１，１２は、誘電体１０の底面に設けられた第三、第四電極１３，１４に対向しない。第一間隔部１０４における分極方向は、第一電極１１から第二電極１２に向かう方向である。第二間隔部１０５における分極方向は、第三電極１３から第四電極１４に向かう方向である。第一〜第四電極１１，１２，１３，１４に電圧を印加して、圧電アクチュエータ１を振動させる。 （もっと読む）

【課題】より小型化に適した駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、固定された支持軸44と、支持軸44に対して摺動可能に設けられたスライダ42と、駆動電圧に応じて伸縮変形する圧電素子43と、を備える。圧電素子43はスライダ42に取り付けられている。圧電素子43の伸縮方向はスライダ42の移動方向と平行であり、圧電素子43は、スライダ42の面のうち移動方向に対して垂直な端面423に取り付けられている。また、圧電素子と支持軸との距離は近いことが好ましく、例えば、圧電素子と支持軸との距離は支軸軸の軸径の2倍以下とする。 （もっと読む）

【課題】高トルクを発生させることができる、小型のモータ装置、回転子の駆動方法及び軸部材の駆動方法を提供すること。
【解決手段】第１部材と、前記第１部材を取り囲んで設けられる第２部材と、前記第１部材に接続され、前記第２部材の内面の少なくとも一部に対して当接状態及び離間状態とすることが可能に設けられた伝達部材と、前記伝達部材に接続され、前記伝達部材を前記当接状態として前記第１部材及び前記第２部材のうち少なくとも一方に回転力を付与する駆動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、２次元の位置決めができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ６は、印加された電圧に応じて機械的変位を生じる電気機械変換素子１１と、電気機械変換素１１子の機械的変位によって軸方向に変位させられるとともに傾斜させられる駆動軸１２と、駆動軸１２に摩擦係合する移動体１３と、電気機械変換素子１１に、移動体１３が駆動軸１２に対して滑り変位しない低い変化率で駆動軸１２を所望の角度に傾斜させる直流駆動電圧と、移動体１３が駆動軸１２に対して滑り変位するように駆動軸１２を軸方向に振動させる交流駆動電圧とを重畳して印加する駆動回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】所望形状の均質な微小構造体を形成することのできる微小構造物の製造方法等を提供する。
【解決手段】表面に複数の凸部５を有する基材１を、凸部５の先端部によって形成される基材１表面の凸部の向き４が蒸着粒子３の入射方向に対して対向する方向より偏向して基材１を設置して蒸着材料を成長させる。これにより、凸部５の先端部から蒸着材料の構造体を成長させて個々の構造体がギャップによって隔てられ物理的に独立した微小構造物２の集合体を形成する。 （もっと読む）

【課題】超音波モータの駆動時に振動子と被駆動体との間の摩擦により生じる磨耗を抑制し、且つ安定した低速駆動を実現する超音波モータを提供すること。
【解決手段】２相の駆動信号を振動子に印加して当該振動子に楕円振動を発生させ、該楕円振動から駆動力を得て被駆動部材を摩擦駆動する超音波モータを次のように構成する。すなわち、前記２相の駆動信号を生成する信号生成回路２５と、当該超音波モータの駆動状態を変化させるように、前記２相の駆動信号の位相差を複数回切り替える制御を行う信号制御回路２３と、を前記超音波モータに具備させる。 （もっと読む）

【課題】安定した押圧力を得ることができ、外部装置との関係における制約が少ない、小型のリニア駆動型超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、超音波振動子と押圧部材を収容するケース部材と、被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備し、押圧部材の中央部が超音波振動子と当接し、かつ、押圧部材の端部のうちの少なくとも中央部を挟む二つの端部がケース部材と当接した状態でケース部材がベース部材に組みつけられる。 （もっと読む）

【課題】小型化および構造の簡略化を図ると共に、効率および精度の高い動作を行なう。
【解決手段】矩形型の圧電振動子１の二組の辺のうち、一方の組の辺の長さをＬとし、他方の組の辺の長さをｗとし、ｗ／Ｌを変数として、ｗ／Ｌと拡がり振動モードの共振周波数とを対応させると共に、ｗ／Ｌと曲げ振動モードの共振周波数とを対応させた場合、圧電振動子１は、ｗ／Ｌの値が実質的に０．８５となるように形成されており、圧電振動子１のいずれか一方の主面上に並設された２枚の電極４ａ、４ｂと、少なくとも一方の電極に対して交流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる共振駆動装置３２と、２枚の電極４ａ、４ｂのうち、少なくとも一方に対して直流電圧を印加して圧電振動子１を駆動させる直流駆動装置３３と、共振駆動装置３２または直流駆動装置３３のいずれか一方を選択して動作させる制御部３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】超音波モータの振動体やロータの邪魔にならないように導光路を配しながら、簡単な構成で指針を照光できるようにした超音波モータ駆動式の車両用指針計器を提供する。
【解決手段】ハウジング２０に超音波モータのステータ部分である振動体１０を固定し、この振動体１０に共振振動を起こさせ、その共振振動をロータ１５に伝達することで該ロータ１５を回転させ、それにより該ロータ１５の先端側に連結された指針４を回す超音波モータ駆動式の車両用指針計器において、ロータ１５の回転中心位置に導光体である指針軸部５を貫通して設け、その指針軸部５の一端に対向させて、該一端から指針軸部５内に光が入射するようにＬＥＤ（光源）７を配置すると共に、指針軸部５の他端に指針４の基端部を光学的に接続した。 （もっと読む）

【課題】ピエゾアクチュエータをサーボ制御する制御回路において、サーボ制御周期毎の移動対象物の目標位置への移動を効率的に行うことを可能にする。
【解決手段】パルス生成回路２６はサーボ制御周期内にて、複数回の駆動パルスを生成する。レジスタ２８には１回の駆動パルスによる移動量の想定値を格納し、当該想定値を用いてレンズ８の目標位置までの所要移動量を駆動パルス生成毎に推定することで、目標位置へ好適に近づけることができる。デューティ比の異なる２種類の駆動パルスを用いることで粗動と微動とを切り換え可能に構成され、所要移動量の大きい状態では粗動とし、一方、小さい状態では微動とすることで、レンズ８を速やかに移動させることができる。また、所要移動量の推定値が微動による移動量未満となった場合は、駆動パルスの出力を停止する。 （もっと読む）

【課題】駆動装置の構造の制限により電気機械変換素子の伸長時と縮小時とで振動摩擦部に速度の異なる変位が得られない場合においても、移動部を駆動すること。
【解決手段】伸縮方向で互いに対向する第１及び第２の端部を持つ電気機械変換素子と、この電気機械変換素子の第１の端部に結合された静止部材と、電気機械変換素子の第２の端部に取り付けられた振動摩擦部と、この振動摩擦部と摩擦結合される移動部とを備え、電気機械変換素子の伸縮方向に移動部が移動可能な駆動装置を駆動する場合、電気機械変換素子の伸長する速度と縮小する速度とを等しくし、静止時間を電気機械変換素子の縮小後および伸長後のいずれか一方に設ける。 （もっと読む）

【課題】高湿環境下においても能力を発揮できるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】固定部材１と、上記固定部材に設置され、第１の方向とその逆の第２の方向に微小変位を発生する圧電素子２と、上記圧電素子の上記微小変位によって往復運動するとともに、その平面上に第１の電極３１を有する振動基板３と、上記振動基板の上記平面上に配置され、上記第１の電極と絶縁膜３１０を介して対向する平面に第２の電極４１を有する移動体４と、上記第１の電極と上記第２の電極との間に電圧を印加して静電吸着力を作用させることによって、上記振動基板と上記移動体との間の摩擦力を制御することで、上記移動体を移動させる摩擦力制御手段とを備え、更に、上記振動基板の上記平面上の上記第１の電極の外側で且つ上記移動体と対向する部位に、上記電圧印加によって上記第１及び上記第２の電極の間に生じている電界を遮断する電界緩和領域３０１を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の電気的接続を容易なものとし製造性に優れた駆動装置を提供すること。
【解決手段】圧電素子１の伸縮に応じて駆動軸２を往復移動させ、駆動軸２に摩擦係合される被駆動部材３を駆動軸２に沿って移動させる駆動装置であって、圧電素子１に接続ソケット１５を装着し、接続ソケット１５に取り付けられる接片１６、１７を圧電素子１に接触させて圧電素子１の電気的接続を行う。また、接片１６、１７が接続ソケット１５の外部に延び出ており、配線基板との配線が容易なものとなる。 （もっと読む）

【課題】
出力トルク一定の条件で、精度良く減速動作が可能な超音波アクチュエータ及びその駆動方法を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかる超音波アクチュエータは、例えば、Ａ F機構に用いられ、トレインパルスよりなる駆動信号に応じて回転駆動力を発生するステ一タ１と、前記回転駆動力を実動運動に変換する移動子２とを備えたものである。本発明は、かかる構成を有する超音波アクチュエータにおいて、減速動作の場合に、連続するパルストレインの一部を間引いて駆動信号を構成するものであり、間引かれずに残るパルスの連続する数を最低限２つ、あるいは４つ以上とした。 （もっと読む）

【課題】振動体の振動面の精度が良い駆動装置、振動アクチュエータ及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動体（１１）は振動面（１２ａ）とは異なる面にフランジ部（１２ｄ）を有する。取付部材（４０）はフランジ部（１２ｄ）に取り付けられる取付部（４２）を有する。取付部（４２）はフランジ部（１２ｄ）に対向する部分に複数の凹部（４３）を有することを特徴とする駆動装置（１０）である。 （もっと読む）

【課題】被駆動部材を位置決め動作開始基準位置へ移動させる際の補正を行い、より高い精度の駆動制御を行う。
【解決手段】所定方向に沿った圧電素子１２の伸び速度と縮み速度とを異ならせるよう駆動パルスの供給を制御して圧電素子１２を伸縮させることで駆動棒１７を振動させ、駆動棒１７に摩擦係合したレンズ２１を所定方向に沿った双方向に移動させる駆動制御装置２０において、レンズ２１の焦点合わせ動作の開始位置についての補正量に対応する予め調整された補正駆動パルス数を記憶したＥＥＰＲＯＭ３６と、レンズ２１の焦点合わせ動作前に補正駆動パルス数を読み出す読出し手段３３と、該補正駆動パルス数に基づいて、レンズ２１を上記開始位置へ移動させるための駆動パルス数を補正する補正手段３４と、補正後の駆動パルス数に応じた駆動パルスを圧電素子１２へ供給する移動制御手段３１とを備える。 （もっと読む）