【課題】負荷を介さずに低圧の初期充電が可能で且つ負荷に供給される電圧のサグを補償することのできる高電圧パルス発生装置を提供する。
【解決手段】コンデンサ２と、自己消弧型半導体素子３及び４と、ダイオード５及び６とから成る単位ユニットＮ台をＮ段直列接続し、１段目の単位ユニット１の正側入力とＮ段目の単位ユニット１の負側出力から負荷１１に給電するようにした直列接続体と、１段目の単位ユニット１の入力端子間に接続された自己消弧型半導体素子７と、１段目の単位ユニット１のコンデンサ２の両端に接続された初期充電用電源１０と、初期充電用電源１０及び自己消弧型半導体素子４をオンして初期充電を制御する初期充電制御手段１２と、自己消弧型半導体素子３及び７をオンして負荷１１にパルス電圧を供給するための放電制御手段１３とを具備し、放電制御手段１３は、各段の自己消弧型半導体素子３を各々独立してオンオフする。 （もっと読む）