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Fターム[5J079AA01]の内容

電気機械共振器を用いた発振回路 (23,106) | 周波数決定素子 (2,461) | 電気機械振動子 (2,458)

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【課題】共振周波数の補償の精度をより向上させることができる静電振動子を提供する。
【解決手段】振動体10と、前記振動体10に対し間隙dを隔て配置された電極2と、前記振動体10とは熱膨張係数の異なる異種材料によって形成された変形制御体9と、を含み、前記電極2と前記変形制御体9とが基板に固定された静電振動子であって、前記振動体10の形状が少なくとも一部で屈曲し、前記振動体10が前記変形制御体9に少なくとも一点で連接され、前記振動体10が温度変化に起因して前記連接点に生じる応力14,15により変形する静電振動子の構成。 (もっと読む)


【課題】構成の簡素化を計った上で、温度特性の補正を高精度かつ効率的に行うことができること。
【解決手段】X方向に延びるように形成され、X方向に直交するY方向に振動する振動片36と、振動片36からY方向に分岐してそれぞれ同じ長さだけ延出する延出部37と、振動片36を片持ち状に支持する振動子アイランド34とを有する振動子32と、振動片36に対して所定距離を空けた状態で振動片36を間に挟むように配置され、駆動電圧が印加された時に静電引力を発生させて振動片36を振動させる駆動電極33aと、一対の延出部37に対してギャップgを空けた状態でそれぞれ対向配置され、補正電圧が印加されたときに静電引力を発生させて各延出部37を引き寄せ、振動片36に対してX方向の圧縮応力を作用させる補正電極38a、38bと、を備えた発振子30を提供する。 (もっと読む)


【課題】 周囲の温度が変化しても共振周波数が変化しない発振器を提供する。
【解決手段】 発振器1000が、第一の振動子201を有する第一の振動子デバイス901と、第二の振動子202を有する第二の振動子デバイス902と、第一の振動子デバイス901の出力信号と第二の振動子デバイス902の出力信号とを演算する演算処理回路104と、を備える。 (もっと読む)


オシレータは、第1および第2の電極を有するとともに、第1および第2の電極が同相信号を伝える第1の周波数と、第1および第2の電極が異相信号を伝える第2の周波数とで共振するように構成される共振器を含む。駆動回路は、共振器が第1の周波数または第2の周波数でそれぞれ選択的に共振するように第1および第2の電極での同相信号または第1および第2の電極での異相信号を選択的に維持するように構成される。関連するオシレータ動作方法も開示される。
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【課題】 温度特性の補正が効率的に行われる発振子、発振子の製造方法及び発振器を提供する。
【解決手段】 所定の間隔をあけて配置された少なくとも2つ以上のアンカーと、該アンカーに接続されて揺動自在に保持された振動部と、該振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された駆動電極と、前記振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された検出電極と、前記アンカーに接続され、前記振動部を構成する材料よりも熱膨張係数が小さい材料からなる温度特性補正基板とを備えたことを特徴とする発振子とする。 (もっと読む)


【課題】 周波数の温度依存特性をMEMSキャパシタの温度依存特性を利用して自動的に補正する、MEMS振動子を用いた発振器を提供する。
【解決手段】 機械的に振動するMEMS振動子と、MEMS振動子の共振周波数で発振して発振信号を出力する出力用発振回路と、周囲の温度によってアノード電極とカソードビームの距離が変わり、容量値が変化するMEMSキャパシタとを備える。 (もっと読む)


【課題】容易に小型化することができる圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電振動子100の製造方法は,基板2の上方に被パターニング層を形成する工程と、被パターニング層の上方に振動部10の屈曲振動を生成する駆動部20を形成する工程と、基板の一部を除去して、振動部形成部分の下方に第1開口部80を形成する工程と、レーザ光50の照射により被パターニング層をパターニングして、自由端および固定端を備える振動部、振動部の固定端を固定する支持部40、並びに、第1開口部に通じる第2開口部42を形成する工程と、を含み、駆動部を形成する工程は、第1電極を形成する工程と、第1電極の上方に圧電体層を形成する工程と、圧電体層の上方に第2電極を形成する工程と,を有する。 (もっと読む)


【課題】複数の基本周波数から一つの基本周波数を選択して出力できる小型のMEMS振動子を用いた発振器を提供する。
【解決手段】機械的に振動し得るように設けられた出力用振動子と、前記出力用振動子に直流電圧を印加する直流電圧印加部と、前記出力用振動子の振動の腹部の近傍に配置され、該出力用振動子との間で電界を介して相互に作用する励振用電極と、前記励振用電極に電気的に接続され、前記出力用振動子の共振周波数で発振して発振信号を出力する発振回路とを備える。 (もっと読む)


【課題】共振周波数を可変としつつも所望の特性を得ることができる。
【解決手段】本発明の一態様としての共振回路は、基板と、帯状電極と、前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、前記帯状電極の一部を押さえる複数の押さえ部と、各前記押さえ部を前記帯状電極の長さ方向にそれぞれ異なる移動範囲で移動させる移動機構と、第1の一端から受ける入力信号を第1の他端に伝送する、前記第1の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する入力線路と、第2の一端から受ける出力信号を第2の他端に伝送する、前記第2の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する出力線路と、を備える。 (もっと読む)


本発明は、可動素子(48)を有するMEMS共振器に関し、可動素子(48)は、第1ヤング率および第1ヤング率の第1温度係数を持つ第1部分(A)を有し、さらに可動素子(48)は、第2ヤング率および第2ヤング率の第2温度係数を持つ第2部分(B)を有し、少なくともMEMS共振器の動作条件下では、第2温度係数の符号は第1温度係数の符号と反対であり、第1部分(A)の断面積および第2部分(B)の断面積は、第1部分(A)のヤング率の絶対温度係数に第1部分(A)の断面積をかけた値が、第2部分(B)のヤング率の絶対温度係数に第2部分(B)の断面積をかけた値から、20%以上逸脱することなく、これら断面積は局部的におよび可動素子(48)に対して直交する断面で測定したものとする。
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本発明は、第1の電極と、第2の電極を具える可動素子(48)とを具えるMEMS共振器であって、前記可動素子(48)が前記第1の電極の方向に可動であり、前記第1の電極と前記可動素子(48)が側壁を有する空隙(46,47)によって分離されているMEMS共振器に関する。本発明では、前記空隙(46,47)の側壁の少なくとも1つの上に誘電体層(60)が設けられている。
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発振器回路は、共振周波数をそれぞれ有する第1及び第2のピエゾ抵抗共振器(1、2)を具え、各ピエゾ抵抗共振器は、当該ピエゾ抵抗共振器を駆動する入力端を有するとともに、この入力端が当該ピエゾ抵抗共振器とは異なる方のピエゾ抵抗共振器の出力端に直接結合され、増幅器及び移相器を設けずにそれぞれのピエゾ抵抗共振器の抵抗により帰還が行われるようになっている。この発振器回路によれば、移相を行うための他の素子を必要とせずに、帰還を達成しうる。このことは、より大きな集積化を容易にでき、従って、費用を廉価にしうる簡単な回路を用いうることを意味する。ピエゾ抵抗共振器を用いることにより、外部結晶の必要性を回避でき、より大きな集積化及び費用の低廉化を達成しうる。
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微小電気機械システム(MEMS)を基礎にした電気振動信号を生成するための電子デバイスを開示する。電子デバイスは、一般に基板(104)と、この基板(104)に対して移動可能な可動素子(102)と、アクチュエータ手段と、センサとを備える。アクチュエータ手段は、可動素子(102)の振動を誘導するために使用し、2個の誘導素子、すなわち基板(104)に固定して設けた第1誘導素子および可動素子(102)に固定して設けた第2誘導素子を備える。誘導された可動素子(102)の振動はセンサを用いて検知し、電気振動信号に変換する。この信号は増幅して少なくとも部分的にアクチュエータ手段の電力として使用することができ、これにより安定した共振周波数および一定の振幅を有する振動信号を得ることができる。異なるコンポーネントをチップ上に高度に集積することができる。
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【課題】製造するのが容易で、かつ高い変形率を有するマイクロエレクトロメカニカルシステムを提案する。
【解決手段】マイクロエレクトロメカニカルシステムは梁1と、静電相互作用によって梁に結合された電極10とを有する。梁は、弾性曲げ変形を受けるように構成され、概ね一定の断面を有している。梁1は、梁の全長Lにわたり延び、各々が断面の外側寸法w、tよりも小さい厚さを有する4つの平坦な面P1〜P4からなっている。これによって、梁1の曲げ振動周波数が、同じ外側寸法のソリッドな梁と比較して大きくなる。このようなマイクロエレクトロメカニカルシステムは、非常に短い遷移時間を必要とする用途、すなわち高周波発振器および共振器を製造するのに適している。 (もっと読む)


機械的発振器(20)が、サブミクロンの範囲の寸法を有する構成要素を有し、ギガヘルツの範囲において共振モードの発振を生じる。大きな要素(21)が、小さなサブミクロンの要素(22)と結合され、直ちに利用可能な技術を用いて検出される大増幅のギガヘルツ周波数発振を生じる。機械的構造は、ビームと、リングとを含む多くのジオメトリに従って形成され得、静電気と、磁気と、熱に関係する力ならびに他の励起技術を用いて励起される。機械的構造は、増幅およびミキシングなどの適用のためにアレイに配列され得、電気的または光学的な相対物よりも衝撃および放熱の環境に対して感応しにくい。
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本発明はアナログの振動素子(SE)を備えた振動回路に関する。本発明の核となる着想は、振動回路が少なくとも1つのアナログ・ディジタル変換手段(A/D)を有することである。さらに本発明は、機械的な発振器(SE)が固有周波数での振動を行う振動回路の作動方法に関する。振動振幅は測定され(D1,D2)、ディジタル化される(A/D)。ディジタルの振幅制御器(AGC)を用いてディジタル制御信号(210)が形成され、このディジタル制御信号(210)からまた駆動信号(120)が形成され、この駆動信号(120)は駆動部(A1,A2)を用いて機械的な発振器(SE)を駆動させる。この制御回路は振動振幅を安定させる。
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変換器(1)は、縦方向に長さ(l)で延びる導電性共振器要素(20)を含む。共振器要素(20)は、弾性変形が長さの変化分(dl)を含むように、導電性アクチェータ(30)によって弾性的に変形することができる。共振器要素(20)は、電気的に第1のコンタクト領域(25)および第2のコンタクト領域(26)に接続され、それによって回路が構成される。この回路では、共振器要素(20)が、長さ(l+dl)の関数であるオーミック抵抗値(R)を有する抵抗を構成する。変換器(1)は、抵抗値(R)の関数である電気信号を供給するために、回路に電気的に接続された測定ポイント(28)をさらに含む。
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【課題】 基板上に集積回路の一部として組み込み可能であって、共振子を封入した後においても共振子の加工精度や封入圧力のばらつきによる変動を補償し、共振周波数を安定して再現性よく調整できるマイクロ共振装置を提供することにある。
【解決手段】 この発明のマイクロ共振装置に、選択されたパラメーターの変動に応答して振動するマイクロ共振体11と、外部からの操作によって移動可能なマイクロ可動部12と、このマイクロ可動部12と上記マイクロ共振体11をつなぐ接続部13とを備え、上記マイクロ共振体11の共振周波数を調整することにより、上記マイクロ共振体11の加工精度や封入圧力のばらつきによる変動を補償する。 (もっと読む)


従来技術の不利な点を取り除き、特性(1)高い長期安定性、(2)低位相雑音、(3)高耐熱性、(4)その基準発振器の周波数についての正確な値、を改善したMEMS基準発振器を提供することが、本発明の目的である。
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本明細書で説明され、図示される多数の発明がある。1態様で、本発明は、出力信号を生成する微細電気機械共振器と、微細電気機械共振器の出力信号を受け取り、値のセットに応答して第2周波数を有する出力信号を生成するために微細電気機械共振器に結合された周波数調整回路構成と、を有する、補償された微細電気機械共振器を対象とする。1実施形態で、値を、微細電気機械共振器の動作温度および/または微細電気機械共振器の製造変動に依存する、微細電気機械共振器の出力信号の周波数を使用して、決定することができる。1実施形態で、周波数調整回路構成に、周波数逓倍器回路構成(たとえば、PLL、DLL、ディジタル/周波数シンセサイザ、および/またはFLLならびにこれらの任意の組合せおよびその組み合わせの変更)を含めることができる。周波数調整回路構成に、それに加えてまたはその代わりに、周波数分周器回路構成(たとえば、DLL、ディジタル/周波数シンセサイザ(たとえば、DDS)、および/またはFLL、ならびにこれらの任意の組合せおよびその組み合わせの変更)を含めることができる。
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