【課題】低電圧で駆動することができること。
【解決手段】Ｘ方向に延びるように形成され、Ｘ方向に直交するＹ方向に振動する振動片３６と、振動片３６の両端を支持する振動子アイランド３４ａ，３４ｂとを有する振動子３２と、振動片３６に対して所定距離を空けた状態で振動片３６を間に挟むように配置され、電圧が印加された時に静電引力を発生させて振動片３６を振動させる電極部３３ａ，３３ｂと、を備え、振動片３６は、振動部３９と、振動部３９を振動子アイランド３４ａ，３４ｂに連結する基端部３５ａ，３５ｂと、で一体的に形成され、振動部３９の幅が、基端部３５ａ，３５ｂの幅に比べ広く形成されている発振子３０を提供する。 （もっと読む）

縦モード共振器は、基板と、基板に対してつり下げられたバーを備える。バーは、バーの厚みを横切る電界の印加に応答して、長手方向に自由に膨張及び収縮するようにつり下げられる。バーの膨張と収縮により、バーの基本周波数にほぼ等しい周波数を有する電界に応答して共振が生じる。 （もっと読む）

【課題】 基板上に集積回路の一部として組み込み可能であって、共振子を封入した後においても共振子の加工精度や封入圧力のばらつきによる変動を補償し、共振周波数を安定して再現性よく調整できるマイクロ共振装置を提供することにある。
【解決手段】 この発明のマイクロ共振装置に、選択されたパラメーターの変動に応答して振動するマイクロ共振体１１と、外部からの操作によって移動可能なマイクロ可動部１２と、このマイクロ可動部１２と上記マイクロ共振体１１をつなぐ接続部１３とを備え、上記マイクロ共振体１１の共振周波数を調整することにより、上記マイクロ共振体１１の加工精度や封入圧力のばらつきによる変動を補償する。 （もっと読む）