【課題】 温度特性の補正が効率的に行われる発振子、発振子の製造方法及び発振器を提供する。
【解決手段】 所定の間隔をあけて配置された少なくとも２つ以上のアンカーと、該アンカーに接続されて揺動自在に保持された振動部と、該振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された駆動電極と、前記振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された検出電極と、前記アンカーに接続され、前記振動部を構成する材料よりも熱膨張係数が小さい材料からなる温度特性補正基板とを備えたことを特徴とする発振子とする。 （もっと読む）