【課題】音響センサおよび音響センサの製造方法を提供する。
【解決手段】音響センサは、少なくとも１つのフォトニック結晶構造と、この少なくとも１つのフォトニック結晶構造に光学的に結合された端部を有する光ファイバとを含む。音響センサはさらに、上記少なくとも１つのフォトニック結晶構造および光ファイバに機械的に結合された構造部分を含む。上記少なくとも１つのフォトニック結晶構造、光ファイバおよび構造部分は、音響センサの周波数応答が音響周波数の範囲内で全体的に平坦となるように、ある体積を有する領域と実質的に境をなす。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で取り付け対象の外観のデザイン性を劣化させずに超音波を良好に送受信する。
【解決手段】空中超音波センサ１は、平板１２と平板１３とを固着させた振動板と、振動板に磁界を発生させる磁界発生部１１と、磁界発生部１１が発生した磁界領域中に電流を流して振動板に渦電流を発生させるコイル１４とを有し、磁界と渦電流の相互作用で前記振動板を振動させ超音波を発生させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アクティブ・ソナーシステムに関し、特にカーボンナノチューブを利用したアクティブ・ソナーシステムに関するものである。
【解決手段】本発明のアクティブ・ソナーシステムは、少なくとも一つの送信装置と、少なくとも一つの受信装置と、電気キャビネットと、を含む。前記送信装置は、少なくとも一つの送信トランスデューサを含む。前記送信トランスデューサは、少なくとも一つの第一電極と、少なくとも一つの第二電極と、音響素子と、を含む。前記音響素子はカーボンナノチューブ構造体を含む。該カーボンナノチューブ構造体は、前記第一電極及び第二電極に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】高精度に超音波を発生することが可能な超音波センサを提供する。
【解決手段】超音波センサ１０は、基板１と、第１および第２ねじれ梁１１、１２と、第１および第２回転フレーム７１、７２と、第１および第２駆動リンク梁３１、３２と、駆動フレーム２１と、駆動電極５と、第１および第２振動リンク梁４１、４２と、振動フレーム２２と、検出電極６とを備える。第１駆動リンク梁３１は、第１回転フレーム７１の一方端部側に第１ねじれ軸Ｔ１を移動した軸上に位置する。第２駆動リンク梁３２は、一方端部側への第１ねじれ軸Ｔ１の移動の方向と逆方向に第２ねじれ軸Ｔ２を移動した軸上に位置する。第１振動リンク梁４１は、第１ねじれ軸Ｔ１と交差する方向に沿って第１回転フレーム７１の他方端部側に第１ねじれ軸Ｔ１を移動した軸上に位置する。第２振動リンク梁４２は、一方端部側への第１ねじれ軸Ｔ１の移動の方向に第２ねじれ軸Ｔ２を移動した軸上に位置する。 （もっと読む）

【課題】機械的感度と光学的感度を両立させることによって、高感度化および広帯域化を同時に図ることができ、アレイ化が容易となる超音波センサ及び超音波センサアレイ、これらを備えた超音波検出装置を提供する。
【解決手段】超音波センサであって、
基板上に設けられ、超音波によって変位する可動部を含み構成される超音波受信部と、
前記超音波受信部に設けられた第１の反射膜と、前記基板上に保持された第２の反射膜とを、非固体媒質を介し対向配設して構成される共振器と、
を備え、前記超音波による可動部の変位を、該可動部の変位に応じた前記第１及び第２の反射膜間の相対距離の変化に基づく光学応答によって、検出する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電セラミックス材料からなる超音波受信素子と比較して、小型化に適し且つ受信感度の良い超音波受信素子、及びこれを用いた超音波トランスデューサを提供する。
【解決手段】 本発明に係る超音波受信素子１は、薄膜状のメンブレン部８を有する半導体からなるダイヤフラム２と、該ダイヤフラム２のメンブレン部８に設けられた半導体ピエゾ抵抗素子Ｒ_１，Ｒ_２，Ｒ_３，Ｒ_４の抵抗値変化から受信超音波の音圧を検出する音圧検出回路９と、ダイヤフラム２の共振周波数を受信超音波の周波数に合わせる共振周波数調整機構５と、を具備するものである。また、本発明に係る超音波トランスデューサ１３は、半導体基板１４上に、圧電材料の圧電効果を利用して超音波を送信する超音波送信素子１５と、前記超音波受信素子１とがそれぞれ設けられたものである。 （もっと読む）

【課題】 指向性を制御することができる超音波センサを実現する。
【解決手段】 超音波検出素子１０と、受信面３２ａで受信した超音波を、底面３２ｄに取り付けられた超音波検出素子１０に伝達する振動伝達部材３２とを備えた超音波センサ１において、受信面３２ａが被検出体に対して凸形状に形成されているため、受信面３２ａが平面状に形成されている場合に比べて指向性を広くすることができる。また、振動伝達部材３２は、受信面３２ａの形状により、超音波の検出範囲を制御することができ、超音波の検出範囲を被検出体の存在する空間側の所定の角度範囲に設定することが可能に構成されているため、被検出体を検出する必要がある方向から伝達される超音波のみを検出することができる。つまり、指向性を制御することができる超音波センサ１を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】装置の簡易化およびコスト低減が図れる物体識別装置の提供。
【解決手段】超音波を測定対象Ｍに向けて送出する送信器１０３と、測定対象Ｍからの反射波を受信する受信器１０４と、受信器１０４の受信情報に基づいて反射波の振幅と周波数との関係を表す周波数特性を算出する信号解析部１０５と、周波数特性に基づいて測定対象Ｍの材質的特徴を判別する物性識別部１０６および物体分類部１０７とを備える。受信器１０４により受信される反射波の周波数特性は測定対象の構造により変化し、その変化から平坦な物体と繊維などの複雑な構造物とを容易に識別することができる。 （もっと読む）

【課題】施工が容易で、且つ、超音波の利用効率を高めることができるとともに、位置検出の精度を高めることが可能な位置検出システムを提供する。
【解決手段】位置検出対象の移動体Ａに搭載され超音波を送波する超音波送波部１１を有する送信装置１と、超音波送波部１１から送波された超音波を受波するとともに受波した超音波を電気信号である受波信号に変換する複数個の受波素子が同一基板上に配列されたアレイセンサからなる超音波受波部２１を有する受信装置２と、超音波受波部２１の各受波素子で超音波を受波した時刻の時間差と各受波素子の配置位置とに基づいて受信装置２に対して送信装置１の存在する方位を求めるとともに、受信装置２と送信装置１との距離を求め、受信装置２に対する送信装置１の相対位置を求める位置演算部２２と、超音波送波部１１から送波される超音波の指向性を調整する指向性調整部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】施工が容易で、且つ、移動体の移動空間に応じて超音波受波部の検知エリアを変更可能な位置検出システムを提供する。
【解決手段】位置検出対象の移動体Ａに搭載され超音波を送波する超音波送波部１１を有する送信装置１と、超音波送波部１１から送波された超音波を受波するとともに受波した超音波を電気信号である受波信号に変換する複数個の受波素子が同一基板上に配列されたアレイセンサからなる超音波受波部２１を有する受信装置２とを備える。受信装置２は、超音波受波部２１の各受波素子で超音波を受波した時刻の時間差と各受波素子の配置位置とに基づいて受信装置２に対して送信装置１の存在する方位を求めるとともに、受信装置２と送信装置１との距離を求める位置演算部２２と、超音波受波部２１の指向性を調整する指向性調整部２８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】半導体装置のセンサの性能を向上させる。
【解決手段】半導体チップ１の主面には、超音波センサを形成する複数の振動子３が配置されている。この半導体チップ１の最上層には振動子３を保護するネガ型の感光性絶縁膜が堆積されている。この感光性絶縁膜に開口部を形成するための露光の際には、半導体チップ１を複数の露光領域に分けて露光し、その各々の露光領域を繋ぎ合わせることで全体を露光する。この際、互いに隣接する露光領域の連結部における繋ぎ露光領域ＳＲの幅方向の中心ＣＬが、繋ぎ露光領域ＳＲの上下の各々の振動子３の中心Ｃ０と中心Ｃ０とを結ぶ線上の中央に位置するように繋ぎ露光領域ＳＲを配置する。 （もっと読む）

【課題】建物内の床面と天井面との間の既知距離を用いることで、誤差を考慮して位置を検出することにより求めた位置の信頼性を高める。
【解決手段】送信装置１は、建物内で床面上を移動する移動体に搭載され、疎密波を間欠的に送波する疎密波送波部１１を備える。受信装置２は、天井面の定位置に設置され、疎密波を受波する疎密波受波部２１を備える。位置演算部２４は、疎密波受波部２１で受波した疎密波の到来方向を求め、さらに到来方向の誤差範囲から送信装置１が移動する平面内での送信装置１の位置の誤差範囲を求める。送信装置１の位置の誤差範囲の中心座標を送信装置１の座標位置として求め、さらに、誤差範囲の中で当該座標位置からの最大距離を最大誤差として求める。 （もっと読む）

【課題】設計の柔軟性及び製作コスト低減が得られるｃＭＵＴセルの製作方法を提供する。
【解決手段】容量性マイクロマシン加工超音波トランスジューサ・セルを製作する方法を提供する。本方法は、ガラスを含む担体サブストレート（１０）を提供する工程を含む。ガラス・サブストレートを提供するこの工程は、ガラス・サブストレート内にバイア穴（１７１）を形成する工程を含むことがある。本方法はさらに、隔壁（１４）を提供する工程であって、この担体サブストレート（１０）または隔壁（１４）のうちの少なくとも１つがキャビティ深度を規定するように構成させた支持支柱（１２）を備えるような隔壁提供工程を含む。 （もっと読む）

【課題】意匠性を低下させることなく、近距離の障害物も検出することができる障害物検出装置を提供する。
【解決手段】障害物検出装置１００であって、送受信素子１１２と、送受信素子１１２を底面部１１３の内面に接触させて固定するとともに、底面部１１３の外面が、バンパ１０に形成された貫通孔１１を介して外部に露出する筐体１１１とを含む超音波センサ１１０と、バンパ１０の内面１３側に配置され、バンパ１０の振動を検出する振動検出部１２０と、貫通孔１１の内壁面と対向する筐体１１１との間に設けられ、両者間の振動伝達を抑制する振動抑制部１３０と、送受信素子１１２と振動検出部１２０の検出信号のうち、少なくとも送受信素子１１２の送信振動を受けて底面部１１３が振動している期間を含む所定期間においては、振動検出部１２０の検出信号を障害物による反射波を検出するための反射波検出信号とする選択手段１４０とを含む。 （もっと読む）

【課題】検出対象が移動した位置を追跡するにあたり、誤差を考慮して位置を検出することにより求めた位置の信頼性を高める。
【解決手段】送信装置１は、疎密波を間欠的に送波する疎密波送波部１１とを備える。受信装置２は、疎密波を受波する疎密波受波部２１を備える。位置演算部２４は、疎密波受波部２１で受波した疎密波の到来方向を求め、さらに到来方向の誤差範囲から送信装置１が移動する平面内での送信装置１の位置の誤差範囲を求める。送信装置１の位置の誤差範囲の中心座標を送信装置１の座標位置として求め、さらに、誤差範囲の中で当該座標位置からの最大距離を最大誤差として求める。 （もっと読む）

【課題】温度による送信（受信）効率の低下を防ぐことができる超音波センサを提供する。
【解決手段】駆動信号を振動に変換するとともに、振動を受信信号に変換する送受信用振動子２０ｃと、送受信用振動子２０ｃを所定周波数で振動させるべく、前記周波数に対応する駆動信号を生成する駆動信号生成部４２と、送受信用振動子２０ｃから出力された信号のうち、前記周波数を含む所定の周波数域を選択的に出力するフィルタ部４４とを備え、送受信用振動子２０ｃにより生じる振動を、ケース１０の底面部１１を介して超音波として外部に出力するとともに、送受信用振動子２０ｃが底面部１１を介して超音波の反射波を受信する構成の超音波センサ１００であって、底面部１１の周囲温度を検出する感温素子４１を含み、駆動信号生成部４２は感温素子４１の出力信号に応じた駆動信号を生成し、フィルタ部４４は感温素子４１の出力信号に応じて周波数域を変化させる。 （もっと読む）

【課題】路面の傾斜角度を精度よく測定することができる傾斜計測装置を提供する。
【解決手段】超音波信号を送信装置３で路面に向けて送信し、超音波信号の反射信号を受信装置４で受信する。制御部５Ａにおいて反射信号の強度を測定し、超音波信号を送信してから反射信号の強度が所定値以下になる時間を測定する。そして、反射信号の強度が所定値以下になるまでに超音波信号が届いた最長距離を算出し、最長時間に基づいて路面の傾斜角度を測定する。 （もっと読む）

【課題】施工が容易で且つ超音波受信装置の配置設計が容易な位置検出システムを提供する。
【解決手段】超音波を発生可能な音源および音源を駆動するドライバを具備し位置検出対象の物体Ａに搭載される音源ユニット１と、音源から送波された超音波を受波するとともに受波した超音波を電気信号である受波信号に変換する複数個の受波素子２１ａが同一基板２１ｂ上に配列された超音波アレイセンサからなる超音波受信装置２１を具備したセンサユニット２とを備える。センサユニット２は、超音波受信装置２１である超音波アレイセンサの各受波素子２１ａで超音波を受波した時間の時間差と各受波素子２１ａの配置位置とに基づいて音源１１の存在する方位（超音波の到来方向）を求める位置演算部を備えている。 （もっと読む）

【課題】施工が容易で且つ低コスト化が可能な位置検出システムを提供する。
【解決手段】移動体Ａの移動空間内へ超音波を送波可能な音源を具備し天井面２００の定位置に配置される音源ユニット１と、移動体Ａに搭載され音源から送波された超音波を受波するとともに受波した超音波を電気信号である受波信号に変換する複数個の受波素子２１ａが同一基板２１ｂ上に配列された超音波アレイセンサからなる超音波受信装置２１および上記基板２１ｂに平行な面内における移動体Ａの向きを検出する向き検出手段たるジャイロセンサを具備するセンサユニット２とを備える。センサユニット２は、超音波受信装置２１である超音波アレイセンサの各受波素子２１ａで超音波を受波した時間の時間差と各受波素子２１ａの配置位置と向き検出手段により検出された移動体Ａの向きとに基づいて超音波受信装置２１に対して音源の存在する方位を求める位置演算部を備えている。 （もっと読む）

【課題】送信素子から基板を介して受信素子に伝達される超音波に起因するノイズを低減することが可能な超音波レーダを提供する。
【解決手段】超音波レーダ４０は、シリコン基板１０と、シリコン基板１０に形成され、超音波Ｗ_ｏを送信する送信素子１と、シリコン基板１０に形成され、送信素子１によって送信された超音波Ｗ_ｉを受信する受信素子３と、送信素子１からシリコン基板１０を介して伝播する超音波Ｗ_ｎの振動を減衰させるための超音波減衰素子２とを備えている。 （もっと読む）