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Fターム[5J097AA01]の内容

弾性表面波素子とその回路網 (15,777) | 目的又は効果 (3,383) | 損失低減(利得向上等) (481)

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【課題】耐電力性が優れているとともに、通過帯域内の挿入損失が小さい弾性波装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】弾性波装置の製造方法は、成膜装置内に圧電基板110を設置する工程と、成膜装置内に設置された圧電基板110上にIDT電極を形成する工程とを備える。IDT電極を形成する工程は、Al層124Aを蒸着法またはスパッタリング法により圧電基板110上に形成することと、Al層124Aの形成を中断した後に再びAl層124Bの形成を行ない、更にAl層124Bの形成を中断した後に再びAl層124Cの形成を行ないAl層を所定の厚さにすることとを含む。 (もっと読む)


【課題】通過域において低損失の特性を備えると共に、通過域よりも低域側の複数の減衰域において各々大きな減衰量が得られ、更にこれら複数の減衰域よりも低域側及び高域側において急峻な減衰傾度を得ることのできるフィルタを提供すること。
【解決手段】複数の減衰域に夫々対応する周波数で並列共振を起こす複数のSAW共振子1を互いに直列に接続して一つの組10を構成し、このSAW共振子1の組10を互いに直列に複数接続すると共に、互いに隣接する組10、10同士の間の信号路に位相反転用のインダクタ21を各々並列に設ける。このようにフィルタを構成すると、複数の減衰域間には減衰極(直列共振点)が形成される一方、複数の組10のうち一の組10と他の組10とにおいて各々形成される零(ゼロ)点(並列共振点)同士の間には減衰極が形成されないので、各々の減衰域では大きな減衰量が得られる。 (もっと読む)


【課題】従来の弾性表面波フィルタは、サイズが大きく、配線電極を立体交差させた場合には、配線電極同士で容量結合が生じ、帯域内特性が劣化するという課題があった。
【解決手段】弾性表面波フィルタ100は、圧電基板101上に形成される第1の縦モード型フィルタ107と、第2の縦モード型フィルタ113とにより構成される。配線電極120、121の上には、絶縁層122、123が設けられており、IDT電極103、109の他方の電極指は、配線電極124により接続され、さらに上部に形成され、電気的に接続された配線電極125により、接地端子GNDに接続される電極パッド126、127に接続される。配線電極125の電極幅において、絶縁層123を介して配線電極121と配線電極125とが立体交差する部分の電極幅は、他の部分の電極幅に比べて小さく構成されている。 (もっと読む)


【課題】 低損失かつ小型化可能な弾性波フィルタを提供すること。
【解決手段】 第1多重モードフィルタ10及び12が第1平衡出力ノードOut10及びOut12に接続された第1弾性波フィルタ100と、フィルタ10及び12と開口長が異なる第2多重モードフィルタ20及び22が第2平衡出力ノードOut20及び22に接続され、フィルタ100と通過周波数帯域が異なる第2弾性波フィルタ200とを具備し、Out10とOut20とは第3平衡出力ノードOut30、Out12とOut22とは第4平衡出力ノードOut40を形成し、Out30〜Out10間距離はOut40〜Out12間距離と、Out30〜Out20間距離はOut40〜Out22間距離と異なり、フィルタ10及び12のIDTの開口長はほぼ同一、フィルタ20及び22のIDTの開口長はほぼ同一の、弾性波フィルタ。 (もっと読む)


【課題】通過特性においてリップルの小さい弾性表面波共振子及びこれを用いた弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、圧電基板11と、この圧電基板の表面に設けた複数個の電極指で構成されるIDT13と、前記IDTの両端部に近接して設けた反射器14とを備え、前記IDTはその中央部において電極指ピッチが一定の等ピッチ領域と前記IDTの両端部において電極指ピッチを徐々に小さくしたグラデーション領域1250を有する構成からなる。 (もっと読む)


【課題】電気的抵抗損失が少なく、電極膜厚を厚くしても大きな電気機械結合係数kを得ることを可能とするSH波を利用した弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】上面と下面とを有し、上面に溝が形成されている水晶基板2と、前記溝内に充填されている金属層3aを有し、該金属層3aがアルミニウムよりも密度の重い金属からなるIDT電極4とを備え、SH波を利用している弾性表面波装置1。 (もっと読む)


【課題】良好な周波数温度特性を実現するとともに、周波数のバラつきを抑制可能な弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】弾性表面波共振子は、オイラー角(−1.5°≦φ≦1.5°,117°≦θ≦142°,42.79°≦|ψ|≦49.57°)の水晶基板と、前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を含み、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するIDTと、を備え、平面視で、前記電極指の間の位置に、前記水晶基板の窪である電極指間溝を配置し、前記電極指間溝の間に配置されている前記水晶基板の凸部のライン占有率をηg、前記凸部上に配置されている前記電極指のライン占有率をηeとし、前記IDTの実効ライン占有率ηeffを前記ライン占有率ηgと前記ライン占有率ηeとの相加平均とした場合、下記式の関係を満たす。


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【課題】挿入損失の劣化を抑制し、かつ特定周波数帯域の抑圧を高めることができる。
【解決手段】入力端子と出力端子との間に接続され、通過帯域を有するフィルタ部10と、前記入力端子と前記出力端子との間に、前記フィルタ部に並列に接続された経路12と、を具備し、前記経路は、前記入力端子から入力され前記経路を通過して前記出力端子に出力される第1信号の位相と、前記入力端子から入力され前記フィルタ部を通過して前記出力端子から出力される第2信号の位相と、が前記通過帯域外の周波数帯域において逆位相となり、かつ前記第1信号の振幅と、前記第2信号の振幅と、が前記周波数帯域において同一となるようなインピーダンスを有するフィルタ回路。 (もっと読む)


【課題】製造の容易さを有し、かつ通過周波数帯域での損失が小さい縦波型漏洩弾性表面波(LLSAW)装置を提供する。
【解決手段】LLSAW装置のIDトランスデューサ14は、圧電基板1の上面に形成された複数の電極指3とそれらを連結するバスバー2とからなる一対の櫛形電極6A、6Bで構成され、電極指3が交互に間挿された櫛形電極6A、6Bの間に高周波信号が加えられている。電極指3の上面および互いに隣接する電極指3、3の間に位置する圧電基板1の上面には、誘電体膜5が形成されている。 (もっと読む)


【課題】大型化を招くことなく、導電補助層を積層した電極部分を設けて、電気的抵抗を低めることができ、しかも電極を覆う誘電体層表面の段差や誘電体層の膜厚のばらつきを小さくすることができる、弾性波素子を提供する。
【解決手段】圧電基板1上にIDT電極3及び誘電体層10が形成されており、IDT電極3が、電極指6,7と、電極指6,7にそれぞれ連ねられているバスバー4,5とを有し、バスバー4,5の少なくとも一部に積層されるように導電補助層2が設けられており、該導電補助層2が、圧電基板1の上面1aに形成された溝1c,1d内に埋め込まれている、弾性波素子11。 (もっと読む)


【課題】球状弾性表面波素子を加熱しながらその熱を周囲に放出する程度を計測することによって、ガスの状態の計測を行う用途において、球形基材の大きな熱容量による応答速度の低下、あるいは加熱部分と温度計測を行う弾性表面波の周回領域の位置的なズレによる計測精度の低下をもたらさない発熱機能を備えた球状弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】球状弾性表面波素子10は、樽型形状の圧電性結晶基材11と、この基材11の弾性表面波周回径路12上に形成されたすだれ状電極13と、上記基材11の周回径路12を挟む両極の平坦面に形成された加熱電極膜14および弾性表面波励起検出用電極取り出し部15とを具備して構成される。 (もっと読む)


【課題】球状弾性表面波素子を加熱しながらその熱を周囲に放出する程度を計測することによって、ガスの状態の計測を行う用途において、加熱部分と温度計測を行う弾性表面波の周回領域の位置的なズレによる計測精度の低下を抑制した球状弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】球状弾性表面波素子10は、樽型形状の圧電性結晶基材11と、この基材11の弾性表面波周回径路12上に形成されたすだれ状電極13および加熱用配線パターン14とを具備して構成される。 (もっと読む)


【課題】極大値と極小値とそれらの間に変曲点とを有する曲線の周波数温度特性を有するSAWデバイスにおいて、周波数温度特性を動作温度範囲に関して最適に調整する。
【解決手段】SAWデバイス1は、オイラー角(−1.5°≦φ≦1.5°,117°≦θ≦142°,|ψ|≠90°×n(但し、n=0,1,2,3))の水晶基板2の主面に、ストップバンド上端モードのレイリー波(波長:λ)を励振するIDT3と、IDTの電極指間に凹設した電極指間溝8とを有し、IDTライン占有率ηと電極指間溝深さGとが波長λに関して所定の関係を満足することにより、動作温度範囲で極大値と極小値との間に変曲点を有する三次曲線の周波数温度特性を有し、かつ変曲点をIDTライン占有率ηによって動作温度範囲内で所望の温度又は温度域に調整することができる。 (もっと読む)


【課題】弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、電子機器を提供する。
【解決手段】オイラー角を(−1.5°≦φ≦1.5°、117°≦θ≦142°、41.9°≦|ψ|≦49.57°)とする水晶基板30と、前記水晶基板30上に発生させる弾性表面波の伝播方向にストライプ状に並んだ複数の電極指78を有しストップバンド上端モードの前記弾性表面波を発生させるIDT72と、を有するSAW共振子70であって、前記水晶基板30上には、前記弾性表面波の伝播方向にストライプ状に並んだ複数の溝84が形成され、前記電極指78は、前記溝84の内部底面に形成されたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】通過帯域内に阻止帯域を有する帯域阻止型の弾性波フィルタ装置であって、通過帯域における挿入損失が小さい弾性表面波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】弾性波フィルタ装置1は、第1のインダクタL1と第2のインダクタL2との間において、互いに並列に電気的に接続されている第1及び第2の直列腕弾性波共振子S1,S2と、第1のインダクタL1と第1及び第2の直列腕弾性波共振子S1,S2との間の接続点とグラウンド電位とを電気的に接続しており、第1の並列腕弾性波共振子P1が設けられている第1の並列腕13aと、第2のインダクタL2と第1及び第2の直列腕弾性波共振子S1,S2との間の接続点とグラウンド電位とを電気的に接続しており、第2の並列腕弾性波共振子P2が設けられている第2の並列腕13bとを備えている。 (もっと読む)


【課題】 低損失かつ小型化が可能な表面弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】 基板11上に設けられ、入出力IDT12、13を備える表面弾性波デバイス1であって、入出力IDT12、13の少なくともいずれか一方は一方向性IDTから構成し、基板11上の入力IDT12の一側に、入力IDT12からの表面弾性波Wを反射させる反射器14を配置し、他側に、入力IDT12からの表面弾性波W11と反射器14によって反射される表面弾性波W22の双方が伝播される出力IDT13を設ける。また、入力IDT12から直接出力IDT13へ伝播される表面弾性波W11と、反射器14によって反射され出力IDT13へ伝播される表面弾性波W22とが同相となるように、入力IDT12と反射器14との距離L2が設定されている。 (もっと読む)


【課題】各種特性(特にQ値)に優れる弾性表面波共振子の製造方法を提供すること。
【解決手段】弾性表面波共振子1は、いわゆる1ポート型と呼ばれるタイプの素子であり、圧電体基板2と、圧電体基板2上に設けられたIDT(櫛歯電極)3と、IDT3の両側に設けられた1対の反射器4、5とを有している。IDT3は、複数の電極指31a、31bを有しており、また、圧電体基板2の電極指31a、31b間には第2の溝25が形成されている。一方、反射器4、5は、複数の導体ストリップ41、51を有しており、また、圧電体基板2の導体ストリップ41、51間には第2の溝25より深い第1の溝26が形成されている。このような深さの異なる第1の溝26および第2の溝25は、レジスト層と着脱自在のマスク部材とを用い、これらを重複して使用しても相互に悪影響を及ぼさないことを利用して形成される。 (もっと読む)


【課題】優れたフィルタ特性を有し、かつ相互変調歪みのレベルが低い弾性波分波器を提供する。
【解決手段】受信フィルタ20は、第1,第2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部30a,30bと、弾性表面波共振子40とを有する。第1,第2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部30a,30bは、少なくとも3つのIDT電極31〜33を含む。弾性表面波共振子40は、少なくとも3つのIDT電極31〜33のうちの少なくとも一つに接続されている1つのIDT電極41を含む。弾性表面波共振子40の容量C1と、IDT電極41に電気的に接続されているIDT電極31の容量C2との比(C1/C2)が1.9以上2.5以下となるように、受信フィルタ20が構成されている。 (もっと読む)


【課題】各種特性(特にQ値)に優れる弾性表面波共振子の製造方法を提供すること。
【解決手段】弾性表面波共振子1は、いわゆる1ポート型と呼ばれるタイプの素子であり、圧電体基板2と、圧電体基板2上に設けられたIDT(櫛歯電極)3と、IDT3の両側に設けられた1対の反射器4、5とを有している。IDT3は、複数の電極指31a、31bを有しており、また、圧電体基板2の電極指31a、31b間には第2の溝25が形成されている。一方、反射器4、5は、複数の導体ストリップ41、51を有しており、また、圧電体基板2の導体ストリップ41、51間には第2の溝25より深い第1の溝26が形成されている。このような深さの異なる第1の溝26および第2の溝25は、特性の異なる2種類のレジスト材料からなるレジスト層を用い、これらの剥離液に対する剥離性の違いを利用して形成される。 (もっと読む)


【課題】 弾性表面波を発生する電極をウェハレベルで簡単かつ良好に封止することができる弾性表面波装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波を伝搬する圧電基板1と、圧電基板上に形成され、弾性表面波の伝搬方向に伸びて互いに対向配置された一対のバスバー電極2aを有するIDT電極2と、圧電基板上に配置され、圧電基板との間にIDT電極2を収容する収容空間3を形成する封止部材4と、を含む弾性表面波装置である。圧電基板上において、伝搬方向と一致するIDT電極の中心を通る仮想的な中心線を定義したときに、封止部材4の圧電基板側の面である配設面4aの外郭線は、中心線の両側において、この中心線に沿ってIDT電極2から離れるにしたがって、この中心線から配設面4aを構成する外郭線までの距離が短くなる反射部4Aを有し、反射部4Aは、少なくとも一部が一対のバスバー電極2aを伝搬方向に沿って伸ばした一対の仮想線で挟まれた領域である軌跡上に存在する。 (もっと読む)


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