【課題】高い品質係数（Ｑ値が数千以上）を有し、かつ、ｋ２が２〜６％の範囲である境界弾性波装置を実現することのできる技術を提供する。
【解決手段】所定のカット角θを有するθＹＸ−ＬＮ単結晶圧電基板１の表面に、境界弾性波の波長λの交差指形変換器（ＩＤＴ）、酸化珪素膜５、および窒化アルミニウム膜６が形成された境界弾性波共振器において、酸化珪素膜５の膜厚ｈ_１およびカット角θ等を最適化する。例えば１２７．５°≦θ≦１２９．５°かつ２０％≦ｈ_１／λ≦１００％とする。 （もっと読む）

【課題】フィルタの損失を抑えた分波器を提供する。
【解決手段】分波器は、共通端子に接続される、通過帯域の異なる２以上のフィルタＦ１，Ｆ２を備え、フィルタＦ１、Ｆ２の少なくとも１つは、フィルタの入力端子および出力端子を繋ぐ線路に直列に接続された複数の直列共振器Ｓ１〜Ｓｎと、前記線路に並列に接続された並列共振器Ｐ１〜Ｐｍを含み、直列共振器の少なくとも１つには、インダクタンスＬ１が並列接続されており、インダクタンスＬ１が並列接続された直列共振器Ｓ１は、直列に接続された複数の共振器Ｓ１１〜Ｓ１３に分轄されている。 （もっと読む）

【課題】誘電体膜表面の凹凸を抑制し、かつ誘電体膜の膜厚の精度を向上させること。
【解決手段】圧電性基板１０と、前記圧電性基板１０上に設けられた櫛型電極１２と、前記櫛型電極１２を覆い、前記櫛型電極１２より高い誘電体膜１６と、前記圧電性基板１０上に設けられ、前記誘電体膜１６と同じ高さを有し、少なくとも下部に金属層を含み、最上面は前記誘電体膜１６より研磨速度の遅い材料であるストッパ層１４と、を具備する弾性波デバイス。 （もっと読む）

【課題】通過帯域幅を広く保ちつつ挿入損失劣化を低減し、通過帯域平坦性を向上できる弾性表面波装置と通信装置の提供。
【解決手段】圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に対して直交する方向に電極指を多数本有する複数のＩＤＴ電極２〜７を配設し、隣り合う２つのＩＤＴ電極が各々、相手側の端部から一部分であって、電極指ピッチが残りの部分の電極指ピッチと異なる第１の部分Ｌ２、Ｌ３と、電極指ピッチが一定な第２の部分Ｌ１，Ｌ４とで構成され、第１の部分Ｌ２，Ｌ３の電極指ピッチの平均値が第２の部分Ｌ１，Ｌ４の電極指ピッチより短く形成され、且つ第１の部分Ｌ２，Ｌ３の電極指ピッチが隣り合う２つのＩＤＴ電極の境界に向かって短くなり、第１の部分Ｌ２，Ｌ３において電極指ピッチの極小部を複数備え、隣り合う２つのＩＤＴ電極間の境界における電極指ピッチが、隣り合う２つのＩＤＴ電極の第２の部分の電極指ピッチよりも短くなっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信号配線を通過する信号の伝搬損失を抑制し、これにより弾性波フィルタの通過特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の弾性波フィルタ１は、圧電体２と、圧電体２の上に設けられたＩＤＴ電極３と、ＩＤＴ電極３と電気的に接続された信号配線５とを備え、信号配線５の膜厚は、信号配線５を流れる信号の周波数及び信号配線５の導電率に基づいて規定される表皮深さ以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電基板上にＩＤＴ電極を３つ以上並べると共にこれらのＩＤＴ電極の両側に反射器を配置した縦結合型弾性表面波フィルタにおいて、通過周波数帯域における低域側の立ち上がりの急峻性を改善すること。
【解決手段】ＩＤＴ電極１１において、一方のバスバー１３から互いに隣接して伸びる２本の電極指１４、１４の中心間の距離であるピッチ（配列間隔）の長さ寸法をＰ_ｉ１、第１の反射器１２ａにおいて第１のＩＤＴ電極１１ａに隣接するグレーティング電極１７の中心線と、第１のＩＤＴ電極１１ａにおいて第１の反射器１２ａに隣接する電極指１４の中心線と、の間の寸法をＬとすると、寸法ＬをＬ＜０．５Ｐ_ｉ１の範囲となるように設定する。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波の漏れを改善した弾性表面波共振器の提供。
【解決手段】圧電基板と、前記圧電基板の上面に設けられた櫛型電極１０２と、前記櫛型電極１０２を覆う誘電体薄膜とを備えた弾性表面波共振器であって、前記櫛型電極１０２は、バスバー電極領域１０５とダミー電極領域１０６と交差領域１０７とを含む構成であって、前記バスバー電極領域１０５の上部において、前記誘電体薄膜の厚みが前記交差領域上部の前記誘電体薄膜の厚みよりも薄い構成である。この構成で、弾性表面波の横方向の漏れを改善して、特性に優れた弾性表面波共振器を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】犠牲層を設けてエッチング除去することなく、メンブレン構造を構成できる複合基板の製造方法の提供を図る。
【解決手段】複合基板の製造方法は、パターン形成工程（Ｓ１１〜Ｓ１３）とイオン注入工程（Ｓ１４）と接合工程（Ｓ１５）と剥離工程（Ｓ１６）とを含む。パターン形成工程は、支持基板３の主面に支持部２をパターン形成する。支持部２は支持基板３の主面から突出する。イオン注入工程（Ｓ１４）は圧電基板１の平坦面にイオンを注入する。接合工程（Ｓ１４）は、圧電基板１の平坦面に支持基板３を支持部２で接合する。剥離工程（Ｓ１５）は、圧電基板１の平坦面から一定距離の内部でマイクロキャビティを成長させて、支持部２に接合する圧電基板１から圧電薄膜４を剥離する。 （もっと読む）

【課題】平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波デバイスにおいて、挿入損失を低減する。
【解決手段】本弾性表面波デバイス１００Ａは、それぞれが３つ以上の奇数個のＩＤＴを含む弾性表面波フィルタである第１フィルタ２０Ａ及び第２フィルタ４０Ａと、不平衡信号が入力される不平衡端子１０と、不平衡信号と同位相の信号が出力される第１平衡端子１２と、不平衡信号と逆位相の信号が出力される第２平衡端子１４と、を有する。第１フィルタ２０及び第２フィルタ４０のそれぞれにおいて、中央に位置する第１中央ＩＤＴ２２Ａ及び第２中央ＩＤＴ４２Ａは、一方の電極が不平衡端子１０に共通に接続されている。また、第１中央ＩＤＴ２２Ａの電極指の本数は奇数であり、第２中央ＩＤＴ４２Ａの電極指の本数は偶数である。本構成によれば、通過帯域内のノッチを抑制し、挿入損失を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】音速の温度依存性が改善された低コストのタンタル酸リチウム基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板の状態に加工されたタンタル酸リチウム単結晶から成るタンタル酸リチウム基板であって、Ｎｉ（ニッケル）を０．０５ｗｔ％以上１ｗｔ％以下の範囲で含有させることにより、結晶の音速温度依存性が改善される。前記タンタル酸リチウム単結晶は、種結晶のＮｉ濃度（ｎ1）に対する育成結晶のＮｉ濃度（ｎ2）の比（ｎ2／ｎ1）が１以上３以下となるように調製された種結晶を用い、原料融液の最高到達温度を１８００℃以下としてチョクラルスキー法により製造される。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数Ｋ^２を高め、かつ電極指一本あたりの反射係数を効果的に高め得る弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】水晶基板２上にＩＤＴ電極３が形成されており、ＩＤＴ電極３を覆うように水晶基板２上にｃ軸配向のＺｎＯ膜６が形成されており、ＩＤＴ電極３のメタライゼーション比が０．２５〜０．４５の範囲にある、弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】 整合回路での弾性表面波の損失を抑制できる球状弾性表面波モジュールを提供すること。
【解決手段】 球状弾性表面波モジュールは、球面の周回帯の一部である円弧状帯１２を定義可能な３次元基材１３と、円弧状帯１２上に設けられ、円弧状帯１２に沿って弾性表面波１４を励起する電気音響変換素子１５とを有する球状弾性表面波素子１１と、球状弾性表面波素子１１に接続された整合回路２０とを具備してなり、整合回路２０での弾性表面波１４の損失が減少するように、整合回路２０の入力端での反射損失を増加させたことを特徴とする。 （もっと読む）

バルク音響共振器アセンブリおよびその共振器アセンブリを製造するための方法を提供する。共振器は、基板の第１の表面上にキャビティを含み、低音響損失材料のシートがキャビティに亘って懸吊される。低音響損失材料のシートは、低音響損失材料のシートの関連される基本周波数が、基板の第１の表面に平行する方向における低音響損失材料のシートの長さに応じるように構成される。トランスデューサは、低音響損失材料のシート上に電気機械層、および電気機械材料上に形成されたパターニングされた導電材料を含む。トランスデューサは、電気信号を導電パターンに付与すると、低音響損失材料において振動を誘発するように構成される。 （もっと読む）

【課題】効率的に不要応答を抑え、かつ、低損失な弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】一対の反射器２と、該一対の反射器の間に配置され、交差部３２１及びダミー部３２２を有する交差電極３２並びにダミー電極を有するすだれ変換子と、を備えた弾性表面波装置１であって、ダミー電極の長さと該ダミー電極が隣り合う前記交差電極のダミー部３２２の長さとが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板やそのカット方位は従来の一般的な圧電基板を使用した状態で、低損失で広帯域な特性を有する弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】 圧電基板２上に、フィンガー３およびバスバー４を有しており、バスバー４がフィンガー３側に膜厚漸増領域５を有している、ＩＤＴ（Inter Digital Transducer）電極６および反射器電極７の少なくとも一方を有する弾性表面波素子１である。膜厚漸増領域５を有することによりバスバー４に質量分布ができ、バスバー４によって共振子内に弾性表面波を閉じ込めることができるとともに共振子内に閉じ込める弾性表面波の振幅強度をフィンガー３からバスバー４の方向に徐々に減衰させることができ、これによって弾性表面波素子が共振する周波数にも広がりができるため、低損失でかつ広帯域な弾性表面波素子１を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】スプリアスによるロスの発生を抑制した弾性波フィルタおよびそれを用いたアンテナ共用器の提供。
【解決手段】第１のインターディジタルトランスデューサ電極３１１、３１２、３１３、３１４、３１５および第２のインターディジタルトランスデューサ電極４１１、４１２、４１３、４１４、４１５の少なくとも一方がＳｉＯ2薄膜により覆われた構成であって、第１のインターディジタルトランスデューサ電極と第２のインターディジタルトランスデューサ電極とは接続され、第１の弾性波フィルタ３００を構成する第１の櫛形電極の交差幅Ｌ１は、前記第２の弾性波フィルタ４００を構成する第２の櫛形電極の交差幅Ｌ２より大きい弾性波フィルタ。 （もっと読む）

【課題】本発明は弾性波フィルタのロスの発生を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は圧電基板１の上に設けられた第１のインターディジタルトランスデューサ電極Ａ１を有する第１の弾性波共振子Ａと、圧電基板１の上に設けられた第２のインターディジタルトランスデューサ電極Ｂ１を有する第２の弾性波共振子Ｂとを備えた弾性波共振器であって、第１の弾性波共振子Ａの交差幅Ｌ１と、第２の弾性波共振子Ｂの交差幅Ｌ２が所定の関係を満たすようにする。
この構成により、横モードスプリアスの発生周波数を分散することができ、ロスを改善することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 抵抗損失を低減させることができる弾性表面波装置を提供する。また、製造工程におけるＩＤＴ電極の損傷を抑制することができる弾性表面波装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置１は、圧電基板７と、圧電基板７上に形成されたＩＤＴ電極９と、圧電基板７上に形成され、ＩＤＴ電極９を外部端子に接続するための電極パッド１１と、圧電基板７上に形成され、ＩＤＴ電極９と電極パッド１１とを接続する接続配線１３と、を備える。ＩＤＴ電極９は、第1の厚さを有し、電極パッド１１は
、第1の厚さより大きい第２の厚さを有している。接続配線１３の厚さは、第1の厚さより大きく且つ第２の厚さより小さいことを特徴とする。また、本発明に係る弾性表面波装置１の製造方法は、ＩＤＴ電極９及び接続配線１３上にレジストＲ３を塗布し、ＩＤＴ電極９と接続配線１３との接続部分を少なくとも覆うようにレジストＲ３をパターニングする工程を含む。 （もっと読む）

【課題】周囲温度が変化しても挿入損失が殆ど変化しない弾性表面波分散型遅延線を得る。
【解決手段】この弾性表面波分散型遅延線は、圧電材料よりなる基板１０の表面上に、基準線１０ａに対し対称的に、それぞれ整列して配置された入力変換器１１及び入力側反射器１３と出力変換器１２及び出力側反射器１４を形成したものである。各反射器は互いに平行で基準線の方向に沿って次第に変化するピッチで配置された多数の反射電極１３ａ，１４ａよりなり、基準線に対する各反射電極の傾斜角は、弾性表面波分散型遅延線の挿入損失の温度係数が実質的と０となるように選択されている。基板１０をタンタル酸リチウムよりなるものとした場合は、基準線に対する各反射電極の傾斜角は、基準線と平行に伝搬される弾性表面波の各反射電極に対する入射角θが４５.８〜４７.０度となるように選択するのがよい。 （もっと読む）

【課題】低損失のバランスフィルタを実現する。
【解決手段】フィルタまたはデュープレクサに含まれる集中定数型バラン１２に、キャパシタとして機能する共振器（ＩＤＴキャパシタ）を備え、さらにＩＤＴキャパシタの共振周波数をフィルタの通過帯域周波数よりも高くしたことにより、キャパシタＱ値が向上し、低損失のバランスフィルタを実現することができる。 （もっと読む）