【課題】集中定数素子で構成された整合回路を有する小型の分波器を提供する。
【解決手段】分波器は、入力端子１０２、第１出力端子１１６、第２出力端子１１８、該入力端子と該第１出力端子間に配置の第１フィルタ１１０、該入力端子と該第２出力端子間に配置の第２フィルタ１１２、該入力端子と該第１及び第２フィルタとの間に配置の第１の整合回路１００等、を備え、該整合回路は、一組のキャパシタ電極から成り、一方のキャパシタ電極が該第１フィルタに接続の第１キャパシタ１０６と、一組のキャパシタ電極から成り、一方のキャパシタ電極が該第２フィルタに接続されると共に，他方のキャパシタ電極が該第１フィルタの他方のキャパシタ電極に接続の第２キャパシタ１０８と、該第１及び第２キャパシタの接続点１４８と該入力端子間に配置の第１インダクタ１０４と、前記接続点と接地間に配置されたリアクタンス素子から成る接地回路１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】メアンダ構造のＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極の少なくとも一方として用いると共に通過域よりも低域側及び高域側に各々減衰域を設けたバンドパス型の弾性波フィルタにおいて、減衰域にて良好な減衰特性を持つフィルタを提供する。
【解決手段】入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極として、入力ポート２１や出力ポートと接地ポート２３との間に複数のＩＤＴブロック１を互いに直列に接続したメアンダ構造の電極を各々配置すると共に、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において電極指１７を取り除いて、不要な弾性波が励振することを抑える。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性に優れ、さらに電気機械結合係数が高められた弾性表面波共振子を用いて形成されており、温度特性及び周波数特性を改善し得るチューナブルフィルタを提供する。
【解決手段】弾性表面波共振子Ｓ１，Ｓ２，Ｐ１〜Ｐ３に可変コンデンサが接続されている回路構成を備え、該弾性表面波共振子が、ＬｉＴａＯ_３またはＬｉＮｂＯ_３からなる圧電基板１１と、該圧電基板の上面１１ａの凹部１１ｂに充填された電極材料からなるＩＤＴ電極１２と、該圧電基板を覆うように設けられたＳｉＯ_２膜１５とを有する、チューナブルフィルタ１。 （もっと読む）

【課題】 コストや開発期間の増大や特性の劣化を招くことなく、インダクタンス成分を容易に調整可能として、所望の周波数特性を得ることができる弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】 パッケージ２に、ＳＡＷチップ１のＧＮＤ電極１１に接続可能で、櫛形電極１９からの線路長が異なるよう配置された複数のパッケージ側ＧＮＤ電極２１，２２，２３と、ＳＡＷチップ１のＧＮＤ電極１２に接続可能で、櫛形電極１８からの線路長が異なるよう配置された複数のパッケージ側ＧＮＤ電極２４，２５，２６とを設け、並列共振子とグランドレベルとの間のインダクタンス値を所望の値とするよう、ＳＡＷチップ１のＧＮＤ電極１１,１２と、各々対応する１つ又は複数のパッケージ側ＧＮＤ電極とが、フリップチップボンディングにより接続された弾性表面波デバイスとしている。 （もっと読む）

【課題】周波数の調整を安定して行なうことが可能な弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置は、主面を有する圧電基板１００と、圧電基板１００の主面上に形成され、所定の周波数で圧電基板１００を励振させるＩＤＴ電極２００と、圧電基板１００に所定の応力を生じさせて所定の周波数を変化させる加圧部６００とを備える。 （もっと読む）

【課題】誘電体膜を被覆した弾性表面波素子において、フィルタとしての通過特性の劣化を抑制する。
【解決手段】圧電基板と、当該圧電基板上に形成される少なくとも１組のＩＤＴ電極と、当該圧電基板および当該ＩＤＴ電極の少なくとも一部を被覆する誘電体膜とを備える弾性表面波素子であって、圧電基板は、オイラー角（−１０°〜１０°，１２５°〜１４０°，−１０°〜１０°）の範囲のカット角のリチウムタンタレート基板であり、誘電体膜は、二酸化珪素を主成分とし、少なくともＩＤＴ電極が有する複数の電極指が並ぶ領域を被覆する第１の誘電体膜、および、窒化珪素を主成分とし、当該第１の誘電体膜を被覆する第２の誘電体膜を含み、ＩＤＴ電極の電極指上に伝搬する弾性表面波の音速が４０００ｍ／ｓ〜４１００ｍ／ｓの範囲内である。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜の分離面の欠陥層を選択的にエッチングして平坦化し、均一な膜厚の圧電薄膜を得る圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】まず、圧電単結晶基板１の表面１２側から水素イオンを注入することで、圧電単結晶基板１にイオン注入部分１００を形成する。次に、支持基板５０を圧電単結晶基板１に接合する。そして、圧電単結晶基板１と支持基板５０との接合体を加熱し、イオン注入部分１００を分離面とした分離を行う。ここで、支持基板５０に形成された圧電薄膜１０をアニールする。そして、圧電薄膜１０の分離面における欠陥層１３を選択的にエッチングして結晶層１１を露出させることで、圧電薄膜１０の分離面を平坦化する。 （もっと読む）

【課題】１つのＳＡＷフィルタを３つの帯域幅に切り替え可能で、回路規模を縮小することができ、帯域幅の微調整が可能な高周波回路及びそれを用いたテレビジョン受像機を提供すること。
【解決手段】ＳＡＷフィルタ（１１）の入力段に可変抵抗型スイッチ（１２）を設け、ＳＡＷフィルタ１１の第１の端子（ａ）及び第２の端子（ｂ）に入力される中間周波数信号を切り替える。スイッチング素子（１３）を介して第２の端子（ｂ）を接地する第１のモードでは第１の通過周波数帯域に設定される。第１の端子（ａ）と第２の端子（ｂ）との間をショートさせる第２のモードでは第１の通過周波数帯域より狭い第２の通過周波数帯域に設定され、調整可能な容量を有する抵抗素子（Ｒ２）を介して接続する第３のモードでは、第１の通過周波数帯域より狭く、第２の通過周波数帯域より広い第３の通過周波数帯域に設定される。 （もっと読む）

【課題】弾性波デバイスにおいて、フィルタとしての十分な帯域を維持しつつ、温度に対する周波数特性の安定化を図る。
【解決手段】圧電基板と、前記圧電基板上に形成されて所定波長λのレイリー波を主要弾性波として励起するＩＤＴ電極と、前記圧電基板および前記ＩＤＴ電極を覆うように形成された誘電体膜とを備える弾性波デバイスであって、前記誘電体膜は、前記ＩＤＴ電極の少なくとも一部の電極指の鉛直上方に凸部を有し、前記ＩＤＴ電極の電極指の延伸方向に垂直な断面において、前記誘電体膜の上端縁の最も低い部分を通る水平線より上方の前記凸部を含む領域の面積である、当該凸部の１つ当たりの断面積は、０．０１２５λ²以下である。 （もっと読む）

【課題】 同一チップ上において異なる２つ以上の電気機械結合係数を有する弾性波デバイス及びその製造方法を提供すること
【解決手段】 圧電基板１０と、圧電基板１０上に形成された誘電体層１２と、誘電体層上に形成された第１櫛形電極２２ａ及び第２櫛形電極２２ｂと、を備え、第１櫛形電極２２ａと圧電基板１０との間における誘電体層１２ａの厚みは、第２櫛形電極２２ｂと圧電基板１０との間における誘電体層１２ｂの厚みと異なることを特徴とする弾性波デバイス及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】弾性波デバイスの開発及び製造の費用を削減すると共に、その設計自由度を高める技術を提供すること。
【解決手段】ＳＡＷ共振子１１〜１６と信号路２とが同一基板上に形成される弾性波デバイスを用いたフィルタ回路において、ＳＡＷ共振子１１〜１６により決定される通過域の中心周波数の仕様は限られているが、一方で信号路２の設計により決定される阻止域の性能については要求される仕様が多様である。そこで、その形成において、高コストである精度の高いフォトマスクが必要でありまた材質や膜厚などの条件が制限されるＳＡＷ共振子１１〜１６と、ＳＡＷ共振子に比べてパターン形成における制限が緩やかな信号路２とを別々の工程により形成する。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波を利用した弾性波フィルタにおいて、簡易化構成で周波数特性を可変にできるとともに、温度変化に対して好適に対応できる弾性波フィルタ及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】弾性波フィルタ１は、圧電基板３のダイアフラム部５の表面に、弾性波フィルタ素子７と測温素子９とヒータ素子１１とが密着して形成されている。従って、簡易な構成の弾性波フィルタ１であるにもかからず、ヒータ素子１１によって弾性波フィルタ素子７の温度を変化させて、弾性波フィルタ素子７の周波数特性をリアルタイムで任意に変化させることができる。特に、測温素子９によって弾性波フィルタ素子７の温度を測定しながら、ヒータ素子１１によって弾性波フィルタ素子７を加熱して、弾性波フィルタ素子７を所望の温度に制御することにより、周囲の温度にかかわらず、弾性波フィルタ素子７の周波数特性を、安定的に所望の特性に調節することができる。 （もっと読む）

【課題】目標とする周波数特性を有する弾性境界波装置を確実に提供することを可能とする弾性境界波装置の製造方法および弾性境界波装置を得る。
【解決手段】第１の媒質１と、第１の媒質上に積層されている第２の媒質と、第１，第２の媒質との界面に配置されたＩＤＴ電極２とを備える積層体を用意し、第２の媒質の外側からイオンを注入し、周波数を調整する各工程を備える、弾性境界波装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い周波数精度で弾性境界波装置を製造し得る弾性境界波装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ＩＤＴ電極１４が形成されている第１の媒質１１の上に、第２の媒質１２を形成し、さらに、第２の媒質１２の上に、第３の媒質１３と同じ材料からなる犠牲層１５を形成する。犠牲層１５が形成された状態でＩＤＴ電極１４によって励振される弾性境界波の周波数特性を測定する。測定された周波数特性と、予め定められている周波数特性の設計値とを比較する。比較工程において、測定された周波数特性と、予め定められている周波数特性の設計値とに差がある場合は、犠牲層１５を除去した後に、当該差に応じて、第２の媒質１２の厚みを調整する。一方、測定された周波数特性と、予め定められている周波数特性の設計値とが一致している場合は、第２の媒質１２の厚み調整を行わない。 （もっと読む）

【課題】動作温度範囲で優れた周波数温度特性を維持しつつ、電気機械結合係数を改善して安定した発振性を発揮するＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷデバイス１は、オイラー角（φ＝０°，θ＝１２３°，ψ）の水晶基板２の主面に、ストップバンド上端モードのＳＡＷを励振するＩＤＴ３と、ＩＤＴの電極指６ａ，６ｂ間に凹設した電極指間溝８とを有し、電極指間溝の深さＧ及び電極指の膜厚ＨとＳＡＷの波長λが、１≦Ｇ／λ≦４、及び１≦Ｈ／λ≦４の関係を満足する。更に、ＩＤＴのライン占有率η及びオイラー角ψを、動作温度範囲内で電気機械結合係数が０．０５２％以上かつ周波数温度特性が２０ｐｐｍ以下となるように決定する。 （もっと読む）

【課題】動作温度範囲で優れた周波数温度特性と高いＱ値とを同時に実現するＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷデバイス１１は、オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，４２．７９°≦｜ψ｜≦４９．５７°）の水晶基板１２の主面に、ストップバンド上端モードのＳＡＷを励振するＩＤＴ１３、その両側に配置した一対の反射器１４、ＩＤＴの電極指１５ａ，１５ｂ間に凹設した電極指間溝１７、及び反射器の導体ストリップ１４ａ間に凹設した導体ストリップ間溝１８を有する。電極指及び導体ストリップに直交する第１の方向（Ｘ´軸）と水晶基板の電機軸（Ｘ軸）とが角度ψをもって交差し、ＩＤＴ及び反射器の少なくとも一部が、１．０°≦α≦２．７５°の角度αをもって第１の方向と交差する第２の方向に配置される。 （もっと読む）

【課題】圧電基板の上に形成されたＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極を覆うように形成されている誘電体層とを備え、ＩＤＴ電極に接続されている配線及びパッドのうちの少なくとも一方がＩＤＴ電極の電極指よりも厚く形成されている弾性表面波装置であって、誘電体層の表面が平坦な弾性表面波装置を製造し得る方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１０の上に第１の導電膜１８を形成する。第１の導電膜１８を覆うように圧電基板１０の上に誘電体層２０をバイアススパッタリング法により形成する。誘電体層２０の上に犠牲層２２を形成する。犠牲層２２と、誘電体層２０の一部とを除去する、エッチバック工程を行う。第１の導電膜１８の一部分の上に形成されている誘電体層２０を除去する除去工程を行う。第１の導電膜１８のうちの、除去工程において上部に位置していた誘電体層２０が除去された部分の上に、第２の導電膜１９を形成する。 （もっと読む）

【課題】良好なバランス性を有するバランス型の弾性波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】弾性波フィルタ装置１では、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０の最も第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０側に位置しているＩＤＴ電極２３と、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０の最も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０側に位置しているＩＤＴ電極３１とが同位相の信号を出力するように構成されている。ＩＤＴ電極２３と、第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第１の配線１６の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分と、ＩＤＴ電極３１と、第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第２の配線１７の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分とが共通化されている。 （もっと読む）

【課題】小型で、帯域内特性に優れる弾性表面波フィルタ、アンテナ共用器を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波フィルタは、圧電基板と、前記圧電基板上に形成された複数のＩＤＴ電極と複数の反射器電極と、前記複数のＩＤＴ電極にそれぞれ接続された第１の配線電極及び第２の配線電極とを備えた弾性表面波フィルタであって、前記第１の配線電極、及び前記第２の配線電極とは絶縁層を介して立体交差する構成であって、前記第１の配線電極または前記第２の配線電極の少なくとも一方は、前記圧電基板の上に形成された電極パッドに接続され、前記圧電基板の上において、前記反射器電極を構成するストリップラインが前記ＩＤＴ電極の交差幅よりも短くなることで前記反射器電極が削除された領域を有し、前記電極パッドの一部は前記領域に配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）