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Fターム[5J097AA36]の内容

弾性表面波素子とその回路網 (15,777) | 目的又は効果 (3,383) | 部材の品質均一化又は組成制御の容易化 (12)

Fターム[5J097AA36]に分類される特許

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【課題】急峻なフィルタ特性を有すると共に、通過帯域が広く、かつフィルタ特性の製造ばらつきが小さい弾性表面波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】弾性表面波フィルタ装置1は、ラダー型弾性表面波フィルタ部20を備えている。直列腕共振子を構成する弾性表面波共振子30の誘電体層33の厚さt1が、並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子40の誘電体層43の厚みt2と異なっている。誘電体層の厚さが厚い弾性表面波共振子30のIDT電極32のデューティー比が、誘電体層の厚さが薄い弾性表面波共振子40のIDT電極42のデューティー比よりも小さい。 (もっと読む)


【課題】 基板上に、高い精度で、形成不良なく電極を形成し得る電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の電子部品の製造方法は、平板状の基板1を準備する基板準備工程と、基板1の主面上にレジストパターン2aを形成するレジストパターン形成工程と、基板1の主面上のレジストパターン2aが形成されていない部分にIDT電極4を薄膜技術により形成する電極形成工程と、レジストパターン2aを除去するレジストパターン除去工程とを含み、電極形成工程は、基板1を、電極が形成される側の主面が凹むように反らせておこなうようにした。 (もっと読む)


【課題】圧電基板上に第1及び第2の誘電体層が形成されている弾性境界波装置を高い良品率で製造できる方法を提供する。
【解決手段】複数の素子領域11aが形成されており、複数の素子領域11aのそれぞれの上にIDT電極12が形成されている圧電基板ウエハ11と、圧電基板ウエハ11の上に、IDT電極12を覆うように形成されている第1の誘電体膜13とを有する積層体10を形成する。第1の誘電体膜13の隣り合う素子領域11aの境界B上に位置する部分の厚みを低減する。第1の誘電体膜13の上に、第2の誘電体膜15を形成する。第2の誘電体膜15が形成された積層体10を、隣り合う素子領域11aの境界Bで切断することにより弾性境界波装置16を複数形成する。 (もっと読む)


【課題】樹脂部と電極パッドとの密着性を向上させること。
【解決手段】本発明は、基板10と、基板10上に形成された弾性波素子12と、基板10上に設けられ、弾性波素子12と電気的に接続し、Au膜24とAu膜24上に接し形成され開口部を有する密着膜26とを含む電極パッド20と、弾性波素子12および電極パッド20を覆うように基板10上に設けられ、電極パッド20表面を露出するように形成された貫通孔を有する樹脂部30と、貫通孔内に設けられ密着膜26の開口部を介しAu膜24と接触するメタルポスト40と、を具備し、密着膜26は、Au膜24と樹脂部30との間に設けられている弾性波デバイスおよびその製造方法である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波の励起に用いられる圧電ウエハ及びそれを用いた弾性波デバイスの製造方法に関し、製造過程における特性バラツキの少ない圧電ウエハ及びそれを用いた弾性波デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による圧電ウエハ8は、オリエンテーション・フラット7を除く外周部分にベベリング9が形成された圧電単結晶からなる圧電基板3において、オリエンテーション・フラット7の上端部分にテーパー面10を設けるとともに、このテーパー面10における圧電基板3の上面との境界線11とテーパー面10における圧電基板3の側面との境界線12を平行とした。 (もっと読む)


【課題】
異方性を示す方向を精度良く決定することができ、特定の好適な位置に薄膜構造を形成することを可能とする。
【解決手段】
異方性を有する球状材料の大円に沿って伝搬する弾性表面波を発生させる弾性波発生工程と、大円に沿って周回した弾性表面波の所定の物理量を測定する測定工程と、球状材料に対し、弾性波発生工程および測定工程を行う弾性表面波発生状況測定工程と、弾性表面波発生状況測定工程で測定された物理量に基づいて、異方性を示す方向を決定する決定工程とを有する異方性球状材料の方向測定方法において、弾性波発生工程は、球状材料をすだれ状電極を有する露光マスクに接近または接触させて電気信号を印加して弾性表面波を発生させ、測定工程は露光マスクにより物理量を測定する異方性球状材料の方向測定方法等を提供する。 (もっと読む)


【課題】弾性表面波素子を歩留り良く低背化でき、また特性も安定する製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】弾性表面波素子の製造方法であって、少なくとも、裏面粗さRaを0.15μm、好ましくは0.01μm以下とした圧電単結晶ウェーハを準備し、該ウェーハに電極パターンを形成し、該ウェーハをチップ化した後、裏面研削することにより、所望の厚さでかつ裏面を前記ウェーハの裏面粗さよりも粗くすることを特徴とする弾性表面素子の製造方法。 (もっと読む)


【課題】長期に亘って優れた特性を発揮することができる弾性波デバイスおよび弾性波デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電性を有する圧電体層13と、圧電体層13の一方の面上に設けられ、通電により圧電体層13に弾性振動を励起させる1対の櫛形電極14a、14bと、圧電体層13および/または1対の櫛形電極14a、14bに接合され、二酸化珪素を主材料として構成された二酸化珪素層15とを有し、二酸化珪素層15は、酸素流量比60%以上の雰囲気中で二酸化珪素のターゲットを用いてスパッタリングを行うことにより形成されたものである。 (もっと読む)


【課題】バランス調整用のレーザ光がパッケージベースにあたるのを防止して、精度を向上した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス10は、バランス調整部48を備えた圧電振動片40と、バランス調整部48と積層方向に重なる位置に少なくとも設けた絶縁基板32と、圧電振動片40と絶縁基板32とに接合し、圧電振動片40を絶縁基板32から離して保持するリード36と、凹陥部18を有し、この凹陥部18の底面に絶縁基板32を配設したパッケージベース14と、パッケージベース14の上面に接合した透明な蓋体24とを備えた構成である。 (もっと読む)


【課題】弾性波素子の特性を向上させ、また、弾性波素子の歩留まりを向上させる。
【解決手段】基板10上に圧電膜13を形成し、この圧電膜13上に導電性膜17を形成し、さらに、圧電膜13上に弾性波発生用の櫛歯型電極19aを形成するとともに、導電性膜17上に位置し、櫛歯型電極19aと電気的に接続される導電性膜19bを形成した後、櫛歯型電極19aを覆い、導電性膜19b上に開口部OA2を有する保護膜21を形成する。その結果、開口部OA2の形成、即ち、保護膜21のエッチングの際、開口部OA2底部にエッチング残渣が生じていてもワイヤボンディング時に貫通することが可能なため、接続不良を低減できる。 (もっと読む)


【課題】 陽極酸化中に局部的な電流集中によって金属パターンが溶け、断線するのを防ぐ弾性表面波(SAW)素子片の製造方法、陽極酸化方法およびウエハを提供する。
【解決手段】 SAW素子片10の製造方法は、SAW素子片10の電極パターン14に接続した導通パターン22の一部を電解液から露出させて電源に接続し、前記電極パターン14を陽極酸化するものであって、前記導通パターン22の前記電解液の液面と対応した位置を保護部24で覆う構成である。 (もっと読む)


【課題】二次相が発生せず、組成の均一な結晶を育成できるLaGaSiO14単結晶の製造方法、及びこれを用いた圧電デバイス用基板を提供する。
【解決手段】LaGaSiO14の化学量論組成を含まない組成領域(点A、点E、点F、点Gで囲まれる組成範囲)から、点A1(La2O3が47.81重量%、Ga2O3が46.50重量%、SiO2が5.69重量%)、点B1(La2O3が47.97重量%、Ga2O3が46.26重量%、SiO2が5.77重量%)、点C1(La2O3が48.04重量%、Ga2O3が46.50重量%、SiO2が5.46重量%)で囲まれる組成範囲を除外した組成範囲内で原料を秤量してルツボ内で融解させ、該ルツボ内からLaGaSiO14単結晶を引き上げ育成する。 (もっと読む)


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