【課題】弾性波素子の劣化を抑制し、かつ圧力に耐える空洞構造を形成すること。
【解決手段】樹脂層２４と、前記樹脂層下に形成された金属層２６と、を備えるシート３０を形成する工程と、基板１０上に形成された弾性波素子の機能領域１２上に前記金属層が配置され、前記金属層と前記基板との間に前記機能領域を囲むフレーム部２８が形成され、前記金属層と前記フレーム部とで、前記機能領域上に空洞１３が形成され、前記金属層と前記フレーム部とを前記樹脂層が覆うように、前記シートを前記基板に張り合わせる工程と、を含むことを特徴とする電子部品の製造方法。 （もっと読む）

【課題】漏洩弾性表面波を用いており、音速を高めることができ、高周波化を容易に果たすことができる弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】ＬｉＮｂＯ_３基板２上にＩＤＴ電極３が形成されており、ＬｉＮｂＯ_３基板２上のＩＤＴ電極３を覆うように酸化ケイ素膜６が形成されており、酸化ケイ素膜６上に誘電体層７が形成されており、誘電体層７の横波音速が、ＬｉＮｂＯ_３における遅い横波音速よりも速く、誘電体層７の膜厚Ｈ３としたときに、漏洩弾性表面波の波長λで規格化してなる規格化膜厚Ｈ３／λが０．２５〜０．６の範囲にある弾性表面波装置１。 （もっと読む）

第１および第２のコンバータを有するミクロ音響フィルタが提案され、第１および第２のコンバータの間で電磁性および容量性のクロストークが、追加の結合キャパシタンスと追加の電流ループとを設けることによって補償される。このとき追加の結合キャパシタンスと電流ループは、設計により設定される自然な結合に対して正負記号の点で反対向きに作用し、そのようにしてこれを完全に補償できるように配置される。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波フィルタと誘電体フィルタとを備えつつ小型化することができるフィルタ装置を提供する。
【解決手段】一方の主面に弾性表面波フィルタ用凹部空間が設けられ他方の主面に誘電積層フィルタ用凹部空間が設けられた素子搭載部材と、前記弾性表面波フィルタ用凹部空間内に設けられる弾性表面波フィルタと、前記誘電体フィルタ用凹部空間内に設けられる誘電体フィルタと、前記素子搭載部材の一方の主面と接合されて前記弾性表面波フィルタを気密封止させる蓋部材と、前記誘電体フィルタを被覆する絶縁性樹脂と、から主に構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】立体配線部が設けられた基板を好適に封止できる弾性波装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 主面３ａに凹部６を有する基板３と、基板３の主面上に配置されたＩＤＴ電極２ａ、４ａを有する励振電極と、前記凹部内に位置する第１領域２９ａを有し、且つ前記励振電極と電気的に接続される第１配線２９と、第１配線２９の第１領域２９ａを覆うようにして凹部内に設けられる絶縁体２１と、第１配線２９の第１領域２９ａと絶縁体２１を介して立体的に交差する第２領域３３ａを有し、且つ前記励振電極と電気的に接続される第２配線３３と、基板３の主面上に配置され、前記励振電極を保護するカバー５と、を備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子の動作精度をより向上させ、ひいては球状弾性表面波素子を利用した種々の装置の動作精度をより向上させる。
【解決手段】電気音響変換素子２２の中心Ｃが、表面領域１６において＋Ｙ結晶軸との交点から最大径の外周線１４の延出方向に１５度以内の範囲内にあり、さらに、水晶またはランガサイトが、右旋性である場合は、前記音響変換素子２２の中心Ｃが、前記表面領域１６において前記＋Ｙ結晶軸との交点から前記最大径の外周線１４に対し＋Ｚ方向に１度以上３度以内の角度で回転した位置にあり、一方、前記水晶またはランガサイトが、左旋性である場合は、前記音響変換素子２２の中心Ｃが、前記表面領域１６において前記＋Ｙ結晶軸との交点から前記最大径の外周線１４に対し−Ｚ方向に１度以上３度以内の角度で回転した位置にある球状弾性表面波素子１０である。 （もっと読む）

【課題】大きな電気機械結合係数、安定な温度特性、大きな表面弾性波伝播速度を有する圧電体積層体と、当該圧電体積層体を含む表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】圧電体積層体１００は、基体１と、前記基体１の上方に形成された、ニオブ酸カリウムナトリウムからなる第１圧電体層３と、を含み、第１圧電体層は、組成式（Ｋ_aＮａ_1-a）_xＮｂＯ₃で表され、該組成式において、０．１＜ａ＜１であり、１≦ｘ≦１．２である。 （もっと読む）

【課題】表面弾性波フィルタを用いて伝送路上を伝播する高周波信号の通過帯域を制限するフィルタ装置の入出力特性を改善する。
【解決手段】フィルタ装置２は、伝送路３３上を伝播する高周波信号の通過帯域を制限する表面弾性波フィルタ６１と、表面弾性波フィルタ６１についての高周波信号の入力側に接続され、前記表面弾性波フィルタ６１の入力特性を変換する入力特性変換部６２と、表面弾性波フィルタ６１についての高周波信号の出力側に接続され、前記表面弾性波フィルタの出力特性を変換する出力特性変換部６３とを有する。表面弾性波フィルタ６１は、高周波信号の損失量の周波数特性において通過帯域内での周波数毎の損失量に損失差を有する。入力特性変換部６２および出力特性変換部６３は、通過帯域内の周波数毎の損失量の損失差を抑える。 （もっと読む）

本発明は、フライバックにおける信号抑圧機能を向上させたＤＭＳフィルタに関し、本発明ＤＭＳフィルタにおいては、少なくとも２個の第１タイプの変換器（Ｅ１，Ｅ２）を、信号経路における共通ノード（ＫＧ）とグランド端子／基準電位との間に並列接続する。これら第１タイプの変換器（Ｅ１，Ｅ２）の信号経路に集中定数素子（ＥＫ）を接続することにより、第１変換器（Ｅ１，Ｅ２）に印加される電圧（Ｕ１，Ｕ２）を互いに異ならせる。 （もっと読む）

本発明は，音響波の横方向放射による損失を低下させた電気音響変換器を提供する。そのために変換器は，中央励起領域（ZAB）と，中央励起領域（ZAB）の両側に隣接する内縁領域（IRB）と，内縁領域（IRB）に隣接する外縁領域（ARB）と，外縁領域（ARB）に隣接するバスバー領域（SB）とを備える。これら領域内における縦方向速度は，ピストンモードによる励起プロファイルが得られるよう設定されている。 （もっと読む）

【課題】耐モールド圧力性に優れ、かつ低背化された圧電部品を提供する。
【解決手段】圧電基板２と、その主面２ａに形成された素子３と素子配線部と端子電極６とを有し、配線部上面に形成された絶縁膜と、その上面に形成された電極の配線部に接続された再配線層と、再配線層上面の素子３を除く全面を被う無機材料からなる緩衝層と、緩衝層上面に形成された感光性樹脂フィルムからなる外囲壁層４と、その上面に形成されたマイカフィラーを添加した感光性樹脂フィルムからなる第１天井層５ａと、その上面に搭載された絶縁性材料からなる網状部材８と、網状部材８の上面を被って形成された第２天井層５ｂと、第１及び第２天井層５ａ，５ｂ、外囲壁層４、網状部材８を貫通して形成された貫通電極７からなり、外囲壁層４と第１天井層５ａと基板２の主面２ａの間に素子３を収容する中空部Ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、櫛型電極の本数が多く容量を大きくした場合においても、スプリアスが抑制された広帯域の弾性表面波共振器を提供する。
【解決手段】本発明の弾性表面波共振器は、圧電基板１０と、圧電基板１０上に設けられた櫛型電極１１を有する第１の弾性表面波共振器２０と、圧電基板１０上に設けられた櫛型電極１２を有する第２の弾性表面波共振器３０とを備え、第１の弾性表面波共振器２０および第２の弾性表面波共振器３０は、アポダイズが施された構成であって、かつ、並列に接続されており、また、第１の弾性表面波共振器における櫛型電極の本数と第２の弾性表面波共振器における櫛型電極の本数とは異なる構成とした。 （もっと読む）

【課題】良好な温度特性及び十分な電気機械結合係数を有する弾性表面波デバイスを実現する。
【解決手段】弾性表面波デバイス１は、Ｃ面を主面１１とするサファイア基板１０と、サファイア基板１０の主面１１に形成される窒化アルミニウム膜３０と、窒化アルミニウム膜３０の表面に形成される櫛歯電極２１，２２と、櫛歯電極２１，２２及び窒化アルミニウム膜３０の表面を覆う二酸化シリコン膜４０と、を有する。窒化アルミニウム膜３０の規格化膜厚ＫＨ−ＡｌＮと、二酸化シリコン膜４０の規格化膜厚ＫＨ−ＳｉＯ₂と、の関係を適切な範囲に設定することにより、良好な温度特性、励振に必要な十分な電気機械結合係数、高い音速を有する弾性表面波デバイス１を実現する。 （もっと読む）

【課題】圧電層と支持基板との間に有機接着層が存在する弾性波素子において伝搬速度を向上させる。
【解決手段】弾性波素子１０は、周期的に形成された分極反転構造を有する強誘電体単結晶からなる圧電層２０と、圧電層２０の表面２１及び裏面に形成され圧電層２０に電圧を印加することで弾性表面波を励振可能な表面電極３１，３２及び裏面電極３３と、圧電層２０よりも弾性率の高い材料で形成された支持基板５０と、裏面電極３３と支持基板５０とを接着する有機接着層４０と、を備えている。このような構成とすることで、櫛形電極により圧電層に弾性表面波を励振する弾性波素子とは異なり、圧電層２０と支持基板５０との間に有機接着層４０が存在していても支持基板５０の弾性率が圧電基盤２０に影響して伝搬速度ｖを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】角型性の良好なヒステリシス特性を有しないことで信頼性を向上させた圧電体及びそれを用いた圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、Ｐｂ（Ｚｒ_ＸＴｉ_ＹＮｂ_Ｚ）Ｏ_３で示され、以下の関係、
Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１
０≦Ｙ≦０．２５
０．０５≦Ｚ≦０．２５
が成立することを特徴とする圧電体である。 （もっと読む）

【課題】小型で低損失かつ急峻な減衰特性を有する弾性表面波フィルタを提供する。
【解決手段】弾性表面波フィルタは、信号入力端子ＩＮと信号出力端子ＯＵＴとの間に挿入された直列腕共振子である１端子対弾性表面波共振子１と、信号入力端子ＩＮおよび信号出力端子ＯＵＴと接地との間に挿入された並列腕共振子である１端子対弾性表面波共振子２，３と、１端子対弾性表面波共振子１と並列に接続されたインダクタンス素子４とから構成される。１端子対弾性表面波共振子１〜３が形成される圧電基板は、電気機械結合係数が０．１％以上１％以下である。 （もっと読む）

【課題】広帯域・低損失・超角型で、位相特性に優れた弾性表面波機能素子を実現する。
【解決手段】圧電性基板１または／或いは圧電性薄膜基板表面上に、弾性表面波を励振または受信するすだれ状電極を有する弾性表面波機能素子において、伝搬方向に向かって徐々に電極幅及び周期が短くなる正負の電極を交互に配置した、ダウン方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極、あるいは伝搬方向に向かって徐々に電極幅及び周期が長くなる正負の電極を交互に配置した、アップ方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極を構成し、これらを相互に組み合わせることにより、その方向性を向かい合わせ、周波数の変化に対して遅延時間が変化しない非分散型遅延線及びフィルター、又は周波数の増加ともに遅延時間が長く／短かくなるアップ／ダウン型分散型遅延線及びフィルターを実現する。 （もっと読む）

【課題】端子周辺の構造的機能を向上させることができる弾性波装置を提供する。
【解決手段】ＳＡＷ装置１は、基板３と、基板３の第１主面３ａに設けられたＳＡＷ素子１１と、ＳＡＷ素子１１上に振動空間Ｓを形成しつつＳＡＷ素子１１を覆って封止するカバー５とを有する。さらに、ＳＡＷ装置１は、カバー５を振動空間Ｓの外側において第１主面３ａの面する方向へ貫通する孔部５ｈに充填され、ＳＡＷ素子１１に接続された端子７と、端子７の側面と孔部５ｈの内壁との間に介在する絶縁膜２５とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は１対の平衡端子を有する弾性波フィルタにおいて、平衡端子間の平衡度を改善することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の弾性波フィルタ１０は、不平衡端子１７に接続された第１の信号電極指１１ａと第１のグランド電極指１１ｂからなる第１のＩＤＴ電極１１と、第１の平衡端子１８ａに接続された第２の信号電極指１２ａと第２のグランド電極指１２ｂからなる第２のＩＤＴ電極１２と、第２の平衡端子１８ｂに接続された第３の信号電極指１３ａと第３のグランド電極指１３ｂからなる第３のＩＤＴ電極１３と、を備え、第１のＩＤＴ電極１１における第２のＩＤＴ電極１２側に、不平衡端子１７及びグランドのいずれとも接続されない擬似電極指１１ｅが設けられている。 （もっと読む）

【課題】増幅度を高めるためにバイアス電圧を高めたとしても半導体において生じた熱を速やかに放散することができ、従って半導体による増幅作用を安定にかつ確実に利用することができる弾性波装置を得る。
【解決手段】圧電基板２と、前記圧電基板２の上に形成されている誘電体層１４と、前記圧電基板２と前記誘電体層１４との間の境界に形成されているＩＤＴ電極３，４と、前記誘電体層１４に接するように設けられた半導体層９とを備え、前記圧電基板２と前記誘電体層１４との間の境界を伝搬する弾性境界波を利用した弾性境界波装置であって、前記半導体層９は、前記弾性境界波によって発生する電界と、前記半導体層９中のキャリアとが結合するように設けられており、前記半導体層中のキャリアの移動速度が、前記弾性境界波の伝搬速度よりも高い、弾性境界波装置１。 （もっと読む）