【課題】 外乱ノイズの影響を抑制できる小型の弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】 圧電基板２の主面に四角形状の環状電極３が形成され、不平衡ＩＤＴ電極６および平衡ＩＤＴ電極７が、各々一方のバスバー４，５が環状電極３の対向する一対の辺の各々と一体形成されて配置され、不平衡入出力部８に接続された不平衡側接続パッド10と、平衡入出力部11，12の各々に接続された平衡側接続パッド15，16と、平衡ＩＤＴ電極７および不平衡ＩＤＴ電極６の弾性表面波伝播部17〜20の各々を接続する接続電極21，22とが配置されており、不平衡側接続パッド10と平衡側接続パッド15，16との間隔は等しく、不平衡ＩＤＴ電極６、平衡ＩＤＴ電極７、接続電極21，22および引出電極９，13，14の構成は、不平衡ＩＤＴ電極６および平衡ＩＤＴ電極７の弾性表面波伝播方向に直交して不平衡側接続パッド10の中心を通る線を対称軸として対称である弾性表面波素子１である。 （もっと読む）

【課題】熱による生じる反りが小さいとともに、温度変化に対して優れた周波数温度特性を有する複合圧電基板や、それを用いて作製された弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、圧電基板１１と剛体板１２が接着層１３を介して貼り合わされた複合圧電基板１０であって、前記接着層１３が、光硬化性ではなく室温で硬化する接着剤からなるものである複合圧電基板１０。またこのような複合圧電基板１０を切断したものを用いて作製されたものである弾性表面波素子。 （もっと読む）

【課題】基材表面（素子面）を覆い且つ封止する空間が必要な素子のパッケージングを従来用いている金属キャップを用いて形成した場合、チップの高さが高くなる。また、チップ個片での組立てとなり、工数が増えてしまうと言った課題があった。
【解決手段】表面に櫛歯電極部と電極部及び櫛歯電極部と電極部とを接続する配線部とを複数の組備えたＳＡＷフィルタが形成された基板と、基板に対向して設置された封止基板と、基板と封止基板とを所定の間隔を保って接続する封止部と、ＳＡＷフィルタと電気的に接続して基板又は封止基板の外部に露出している電極部とを備えた電子デバイスにおいて、基板上のＳＡＷフィルタが形成されている領域の上部は封止部により封止基板と所定の間隔離れており、櫛歯電極部は電極部よりも薄く形成されており、封止部は基板側の素材と封止基板側の素材とが常温接合により内部が密閉された状態で接続して形成した。 （もっと読む）

【課題】基板と保護カバーとの間に剥離が生じにくく信頼性に優れた弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波を伝搬させる基板３と、基板３の主面上に配置された励振電極と、基板３の主面上に立設され、励振電極と電気的に接続される複数個の第１の柱状導体１５と、基板３の主面上に立設され、電気的に浮き状態とされている第２の柱状導体１６と、励振電極の振動空間１７を構成するとともに、第１の柱状導体１５の側面および第２の柱状導体１６の側面を覆う保護カバー９と、を有する構造にする。 （もっと読む）

【課題】高域側カットオフ周波数領域における急峻度を大きく改善することができるとともに、通過帯域外高域側の減衰を大きくすることが可能な弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板１１と、この圧電基板１１の表面において、平衡−不平衡変換機能を有するとともに一端を不平衡信号端子１２に接続し、かつ縦結合共振子型弾性表面波素子１６を用いた弾性表面波フィルタ部１７と、この弾性表面波フィルタ部１７の平衡入出力の一方２２と第１の平衡信号端子１３との間に順次直列に接続した第１と第２の弾性表面波共振子１８、１９と、他方２３と第２の平衡信号端子１４との間に順次直列に接続した第３と第４の弾性表面波共振子２０、２１とを備え、前記第１、第２の弾性表面波共振子１８と１９の接続部２４と、前記第３、第４の弾性表面波共振子２０と２１の接続部２５との間に容量結合部２７を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】電極パターンを形成するときに発生する圧電基板の反りを防ぐことができる弾性表面波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１０の製造方法は、（ｉ）圧電基板１２の一方主面１２ｔに、圧電基板１２よりも線膨張係数が小さい支持部材１４を接合して複合基板１１を形成する第１の工程と、（ii）複合基板１１の支持部材１４に、支持部材１４と圧電基板１２との接合界面１２ｔとは反対側の表面１４ｓから複数の溝１４ｔを形成する第２の工程と、（iii）複合基板１１の圧電基板１２の他方主面１２ｓに、ＩＤＴ電極を含む電極パターン１６を形成する第３の工程と、（iｖ）電極パターン１６を形成した複合基板１１を分割して個片化する第４の工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】高い品質係数（Ｑ値が数千以上）を有し、かつ、ｋ２が２〜６％の範囲である境界弾性波装置を実現することのできる技術を提供する。
【解決手段】所定のカット角θを有するθＹＸ−ＬＮ単結晶圧電基板１の表面に、境界弾性波の波長λの交差指形変換器（ＩＤＴ）、酸化珪素膜５、および窒化アルミニウム膜６が形成された境界弾性波共振器において、酸化珪素膜５の膜厚ｈ_１およびカット角θ等を最適化する。例えば１２７．５°≦θ≦１２９．５°かつ２０％≦ｈ_１／λ≦１００％とする。 （もっと読む）

【課題】入力側及び出力側のＩＤＴ電極部をテーパー型に構成した弾性波フィルタにおいて、通過周波数帯域の中心周波数から低域側及び高域側を見た時の減衰特性の対称性が良好な弾性波フィルタを得ること。
【解決手段】一方側のバスバー１４ａから他方側のバスバー１４ｂに向かって電極指１５の配列パターンが広がるように形成されたテーパー型ＩＤＴ電極部において、一方側のバスバー１４ａの両端を当該バスバー１４ａの伸びる方向に延長させて第２の延長部分３２を形成して、他方側のバスバー１４ｂの両端から、第２の延長部分３２の先端側に向かって延長させて第１の延長部分３１を形成し、これらの第１の延長部分３１と第２の延長部分３２との間に電極指１５の配列パターンを連続して延長させ、０．９６×（Ｎ_Ｌ／Ｎ_Ｈ）＜ｆ_Ｌ／ｆ_Ｈ＜１．０４×（Ｎ_Ｌ／Ｎ_Ｈ）のように高域側対数Ｎ_Ｈ及び低域側対数Ｎ_Ｌを設定する。 （もっと読む）

【課題】誘電体膜表面の凹凸を抑制し、かつ誘電体膜の膜厚の精度を向上させること。
【解決手段】圧電性基板１０と、前記圧電性基板１０上に設けられた櫛型電極１２と、前記櫛型電極１２を覆い、前記櫛型電極１２より高い誘電体膜１６と、前記圧電性基板１０上に設けられ、前記誘電体膜１６と同じ高さを有し、少なくとも下部に金属層を含み、最上面は前記誘電体膜１６より研磨速度の遅い材料であるストッパ層１４と、を具備する弾性波デバイス。 （もっと読む）

【課題】共振周波数よりも低周波数側の周波数側におけるリップルを小さくすることができる、１ポート型弾性波共振子を得る。
【解決手段】圧電基板１上に、ＩＤＴ電極３と、ＩＤＴ電極３が交叉幅重み付けされており、ＩＤＴ電極３の中心ＯよりもＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向一端である第１の端部３ａ側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域と、中心ＯよりもＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向他端である第２の端部３ｂ側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域とが非対称とされている、一ポート型弾性波共振子１。 （もっと読む）

【課題】ＬＢＯ基板の水に対する潮解性を防止しつつ温度特性を限りなく小さくでき、周波数帯２〜３ＧＨｚでの良好な特性を持つ表面弾性波装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面弾性波装置１は、オイラー角（０°，３５〜５０°，９０°）のＬＢＯ基板１０と、ＬＢＯ基板１０の表面に設けられ、ＫＨ０．０５〜０．１０の酸化膜あるいは窒化膜からなる保護膜１１と、保護膜１１上に設けられ、ＫＨ０．０４〜０．１５の電極２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極をテーパー型に構成した弾性波フィルタにおいて、通過周波数帯域において減衰特性の良好な平坦性を得ること。
【解決手段】複数の電極指１５及び反射電極２６の幅寸法及び間隔寸法がバスバー１４の一方側から他方側に向かうにつれて広がるように形成された入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を備えた弾性波フィルタにおいて、反射電極２６の少なくとも１つとして、順方向に弾性波が反射するように重み付けられた第１の領域２８と、順方向に弾性波が反射しないように重み付けが間引かれた第２の領域２９と、をその長さ方向に配置した補助反射電極３０を配置する。 （もっと読む）

【課題】通過帯域幅を広く保ちつつ挿入損失劣化を低減し、通過帯域平坦性を向上できる弾性表面波装置と通信装置の提供。
【解決手段】圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に対して直交する方向に電極指を多数本有する複数のＩＤＴ電極２〜７を配設し、隣り合う２つのＩＤＴ電極が各々、相手側の端部から一部分であって、電極指ピッチが残りの部分の電極指ピッチと異なる第１の部分Ｌ２、Ｌ３と、電極指ピッチが一定な第２の部分Ｌ１，Ｌ４とで構成され、第１の部分Ｌ２，Ｌ３の電極指ピッチの平均値が第２の部分Ｌ１，Ｌ４の電極指ピッチより短く形成され、且つ第１の部分Ｌ２，Ｌ３の電極指ピッチが隣り合う２つのＩＤＴ電極の境界に向かって短くなり、第１の部分Ｌ２，Ｌ３において電極指ピッチの極小部を複数備え、隣り合う２つのＩＤＴ電極間の境界における電極指ピッチが、隣り合う２つのＩＤＴ電極の第２の部分の電極指ピッチよりも短くなっている。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴ電極を覆うように絶縁体を圧電基板上に形成する弾性波素子において、メッキ液による内部電極の断線を抑制すること。
【解決手段】本発明の弾性波素子１は、内部電極４と側壁５との間に設けられかつ側壁５の外側に突出すると共に内部電極４よりもメッキ液溶解性の低い材質からなる腐食防止層１５を備える。この腐食防止層１５により、たとえ側壁５と内部電極４との間に隙間が生じ、側壁５と内部電極４との境界部分に電極下地層９が十分に付着しなくとも、内部電極４と側壁５との間の腐食防止層１５により、電解メッキ処理工程における内部電極４の腐食を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子の耐湿性を向上すること。
【解決手段】本発明の弾性波素子１は、圧電基板２と、この圧電基板２の上に設けられたＩＤＴ電極３と、圧電基板２の上であってＩＤＴ電極３の周囲に設けられた樹脂からなる側壁５と、この側壁５の上にＩＤＴ電極上の空間を覆うように設けられた蓋体７と、この蓋体７の上に設けられたメッキ金属からなる蓋体補強層１４と、側壁５の外側面を覆うように設けられたメッキ金属からなると共に蓋体補強層１４と電気的に接続された側壁補強層１５とを備えることを特徴とする。この弾性波素子１は、上記側壁補強層１５がメッキ金属から構成されるので、弾性波素子１の外部から側壁を介して湿気が侵入することを抑制する。 （もっと読む）

圧電共振器装置は５つの層を備える。第１層及び第５層は１つまたは複数の金属電極を含む。第２層及び第４層は圧電材料を含む。第３層は金属層を含む。第１層の第１領域において、第１層金属電極は、１つまたは複数の第１層金属電極の１つと第１層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第１層周期的構造を含む。第５層の第２領域において、第５層金属電極は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つと第５層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第５層周期的構造を含む。第１層周期的構造及び第５層周期的構造は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の無い空間の下に中心が置かれ、１つまたは複数の第１層金属電極の１つが第５層金属電極の無い空間上に中心が置かれるように配列されるか、または１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の下に中心が置かれるように配列される。
（もっと読む）

【課題】はんだバンプを用いて実装する際に中空空間の内部へのフラックスの流入を抑制し、中空空間の液密性が高い弾性波装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る弾性波装置は、基板１１と、基板１１の一方の主面１１ａに形成されている振動部１４と、振動部１４の電極１２と電気的に接続されているパッド１３と、振動部１４の周囲を囲むように設けられ、幅が１０μｍ〜１００μｍであり、感光性ポリイミドを主成分とする支持層２０と、振動部１４を覆うように支持層２０の上に設けられ、振動部１４の周囲に中空空間１９を形成する、合成ゴムと樹脂とを少なくとも含むシート状のカバー層２２と、フラックス耐性を有する樹脂からなる保護層２４と、保護層２４、カバー層２２及び支持層２０を貫通し、パッド１３に接続されるビア導体１６と、ビア導体１６の保護層２４側の端部に設けられ、はんだバンプからなる外部電極１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】はんだバンプを用いて実装する際に中空空間の内部へのフラックスの流入を抑制し、中空空間の液密性が高い弾性波装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る弾性波装置は、基板１１と、基板１１の一方の主面１１ａに形成されている振動部１４と、振動部１４の電極１２と電気的に接続されているパッド１３と、振動部１４の周囲を囲むように設けられる支持層２０と、振動部１４を覆うように設けられ、振動部１４の周囲に中空空間１９を形成しており、合成ゴムと樹脂とを少なくとも含み、前記合成ゴムの全体に対する重量比が１０ｗｔ％〜２５ｗｔ％である、シート状のカバー層２２と、フラックス耐性を有する樹脂からなる保護層２４と、保護層２４、カバー層２２及び支持層２０を貫通し、パッド１３に接続されるビア導体１６と、ビア導体１６の保護層２４側の端部に設けられ、はんだバンプからなる外部電極１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】通過特性においてリップルの小さい弾性表面波共振子及びこれを用いた弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、圧電基板１１と、この圧電基板の表面に設けた複数個の電極指で構成されるＩＤＴ１３と、前記ＩＤＴの両端部に近接して設けた反射器１４とを備え、前記ＩＤＴは両端部において電極指ピッチを徐々に小さくしたグラデーション領域１２５０を有する構成からなる。 （もっと読む）

【課題】周波数を有効かつ十分に可変制御し得るＳＡＷ素子及びＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷ素子１は、水晶からなる圧電基板２の主面に、ＳＡＷを励振するためのＩＤＴ３とヒータ電極５ａ，５ｂとを設け、該ヒータ電極をＩＤＴに対してＳＡＷ伝搬方向と直交する向きの両側に配置した。ＳＡＷ素子の動作温度範囲は、圧電基板の周波数温度特性が２次曲線又は３次曲線で表される場合に、その極値を含まないように設定し、該２次曲線又は３次曲線が温度の上昇に関して常に負方向に変化するようにする。 （もっと読む）