本発明は、音響波デバイスの分野に係わり、特に数百ＭＨｚから数ＧＨｚの高い周波数での作業が可能なトランスデューサの分野、とりわけ、少なくとも２基板と強誘電体層２とを含む界面音響波デバイス１に関するものである。強誘電体層は、第１電極３と第２電極４との間に配置され、かつ第１正偏向分域７と第２負偏向分域８とを含み、該第１と第２の分域は交互に配置されている。該音響波デバイスは、第１電極３と、強誘電体層２と、第２電極４とから成る集成体が、第１基板５と第２基板６との間に設けられていることを特徴とする。
（もっと読む）

【課題】周波数が精緻に調整されて、且つ、製造歩留りを向上させることが可能な弾性表面波素子、弾性表面波素子用ウェハ、その弾性表面波素子を用いた弾性表面波デバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＡＷウェハ１Ａ上に設けられた複数のＳＡＷ共振子１のＩＤＴ電極１０のうち、複数の一次側電極指１１からなる交差指電極は、接続配線１５ａを介して一方の反射器１３Ｂに接続され、その反射器１３Ｂから引き出された接続配線１５が、ＳＡＷ共振子１の短辺側の二辺のうちの一辺側に隣接するＳＡＷ共振子１の反射器１３Ａに接続されている。また、ＩＤＴ電極１０のうち、複数の二次側電極指１２からなる交差指電極は、接続配線１５ｂを介して他方の反射器１３Ａに接続され、その反射器１３Ａから引き出された接続配線１５が、ＳＡＷ共振子１の短辺側の二辺のうちの他方の辺側に隣接するＳＡＷ共振子１の反射器１３Ｂに接続されている。 （もっと読む）

【課題】通過帯域の挿入損失を低減することができ、トラップ減衰量を改善することができ、複数のトラップ帯域を形成可能である弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】（ａ）入力端子と、（ｂ）出力端子と、（ｃ）グランド端子と、（ｄ）入力端子と出力端子との間に直列に接続されるインダクタンス素子２０，２１，２２と、（ｅ）インダクタンス素子２０，２１，２２とグランド端子との間に接続され、並列接続された少なくとも２つの第１及び第２の並列共振子１１，１２；１３，１４；１５，１６；１７，１８を含む、少なくとも１つの基本素子回路１０ｐ，１０ｑ，１０ｒ，１０ｓとを備える。基本素子回路１０ｐ，１０ｑ，１０ｒ，１０ｓの第１の並列共振子１１，１３，１５，１７の共振周波数と第２の並列共振子１２，１４，１６，１８の共振周波数とが異なる。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数の周波数帯に対応する弾性表面波装置において、その封止構造を小型化し、省スペース化を可能にする。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置１は、圧電基板７と、圧電基板７上に形成され、第1導電膜３１を有する第１のＩＤＴ電極９と、圧電基板７上に形成され、第１導電膜３１及び該第1導電膜３１と成膜のタイミングが異なる第２導電膜３２を有する第２のＩＤＴ電極１３と、圧電基板７上に形成され、第１導電膜３１、第２導電膜３２、並びに該第1導電膜３１及び該第２導電膜３２と成膜のタイミングが異なる第３導電膜３３を有し、第１のＩＤＴ電極９及び第２のＩＤＴ電極１３を別個に又は一括して取り囲む枠体と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】第１の電極と、第２の電極の上面の一部に積層されて第１の電極に電気的に接続される第２の電極とを有し、第１，第２の電極形成工程の間に、アルカリ現像液を用いたパターニングが行われる弾性波装置及びその製造方法において、第１，第２の電極間の接触抵抗を小さくする。
【解決手段】圧電基板１上にＩＤＴ電極２に電気的に接続される第１の電極２１が形成されており、第１の電極２１の少なくとも上面がアルカリに可溶な金属とアルカリに不溶な金属とからなる合金であって、アルカリに可溶な金属に対するアルカリに不溶な金属の含有率が５重量％以上、２０重量％以下である合金により形成されており、第１の電極２１の形成後に、アルカリ現像液によるパターニングが行われ、しかる後、第１の電極２１の上面の一部に積層されることにより第１の電極２１に電気的に接続される第２の電極２６Ａが形成される、弾性波装置及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】共振器型一方向性電極により入力側電極及び出力側電極を構成したＳＡＷフィルタにおいて、通過帯域の端部まで群遅延時間特性を良好にすること。
【解決手段】入力側電極に通過帯域の中心周波数の周波数信号を入力した時点から当該周波数信号に対応する信号が出力側電極から出力されるまでの遅延時間をＴ（μｓ）、弾性表面波の伝播速度をＶ（ｍ／ｓ）とすると、Ｔ×Ｖで表される入力電極から出力電極までの弾性表面波の伝播距離Ｄ（ｍｍ）を、入力電極におけるシールド電極とは反対側の端部から出力電極におけるシールド電極とは反対側の端部までの寸法Ｌ（ｍｍ）で規格化したＤ／Ｌを０．５２＜Ｄ／Ｌ＜０．６５に設定する。 （もっと読む）

【課題】櫛型電極の周囲に空隙が無く、かつ誘電体層がその表面が平坦となる弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】弾性波デバイスの製造方法は、圧電基板１上に設けられた弾性波を励振する櫛型電極２と、櫛型電極２を覆うように設けられた誘電体層３を具備する弾性波デバイスの製造方法であって、圧電基板１に櫛型電極２を形成する工程と、櫛型電極１を覆うように、櫛型電極１の膜厚より厚い膜厚を有する誘電体層３を形成する工程と、誘電体層３を覆うようにエッチバック層４を形成する工程と、エッチバック層４と誘電体層３の一部をエッチングまたは研磨する工程とを有する。エッチングまたは研磨する工程において、エッチバック層４を削る速さと誘電体層３を削る速さが等しくなる条件で、エッチバック層が全て除去されるまでエッチングまたは研磨がなされる。 （もっと読む）

【課題】少ない工程で簡単に弾性波デバイスの周波数特性を調整する。
【解決手段】、弾性波デバイスは、圧電性を有する圧電基板２と、圧電基板２に設けられた複数の電極指を有するくし型電極３と、くし型電極３の少なくとも一部を覆うように設けられた少なくとも１層の調整媒質５とを備える。この弾性波デバイスは、電極指および電極指間のスペースが圧電基板２上で占める励起領域において、調整媒質５により他の部分より厚みが大きくなる領域の面積Ｔにより、周波数特性が調整されて形成される。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子上の導体間の接続信頼性を向上させること。
【解決手段】本発明の弾性波素子は、圧電基板２１と、この圧電基板２１の上に配置された櫛歯電極２２及び第１、第２、第３の導体２３〜２５と、この圧電基板２１の上に第３導体２５を覆うように配置されたレジスト層４０と、このレジスト層４０の上に配置されて第１の導体と前記第２の導体とを電気的に接続する第４の導体２６とを備える構成である。上記構成の如く、本発明は、第３の導体２５と第４の導体２６との絶縁を取る手段として製造工程で用いるレジスト層４０を用いる。即ち、レジスト層４０は、製造工程において下方に広がるテーパ形状を形成するので、レジスト層４０において、ほぼ直角な角部がなくなる、若しくは、この角部が鈍角となる。 （もっと読む）

【課題】低周波表面音響波デバイスを製造するために必要とされるのと同一の製造機器により且つ同一の材料を以て製造され得る高周波表面音響波デバイスを実現する。
【解決手段】圧電基板１０と、圧電基板１０の表面上に形成され、その表面音響波の音響波速度は5,000ｍ／秒より大きいという高音響波速度層１１と、入力変換部１２と、出力変換部１３とを備え、入力変換部１２および出力変換部１３は高音響波速度層１１の表面上または該表面下に対として形成される。更に、高音響波速度層１１は、好適には酸化アルミニウムで作成されると共に、電子ビーム蒸着プロセスにより圧電基板１０の表面上に形成される。その厚みは好適には、2μm〜20μmである。 （もっと読む）

【課題】バスバーの内側端縁が傾斜しているような交叉幅が重み付が施されていても、励振部に弾性波を良好に閉じ込めることができ、良好な共振特性を有する弾性波共振子を提供する。
【解決手段】第１のバスバー２１，２２が、それぞれ、複数本の第１の電極指２３または第２の電極指２４の端部からバスバー側に延ばされた複数本の第１の電極指延長部２３ａ及び第２の電極指延長部２４ａと、電極指延長部２３ａまたは２４ａを被覆し、電極指延長部２３ａ，２４ａの外側端よりも外側に延ばされている第１の金属膜２８，２９とを有し、金属膜２８，２９の内側端縁２８ａ，２９ａが第１，第２のバスバー２１，２２の内側端縁をそれぞれ構成しており、電極指延長部２３ａ，２４ａの平均密度をρ１、膜厚をＨ１、金属膜２８，２９の平均密度をρ２、膜厚をＨ２としたときに、ρ１×Ｈ１がρ２×Ｈ２よりも大きい、弾性波共振子。 （もっと読む）

【課題】圧電基板上に設けた入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方の電極指に重み付けを行ったトランスバーサル型フィルタにおいて、この重み付けを行ったＩＤＴ電極の端面から出力される弾性波の回折を抑えて、広帯域幅、高平坦性及び高選択性のトランスバーサル型フィルタを提供すること。
【解決手段】入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方の電極において、弾性波の伝搬方向に対して中央部には電極指の開口長を連続的に変化させるアポタイズ方式により重み付けを行ったアポタイズ領域を形成し、その両側に開口長を浮き電極により１／ｎ化してｎ個のトラックを形成するドッグレッグ方式により重み付けを行ったドッグレッグ領域を形成する。そして、このドッグレッグ領域の各トラック内を更にアポタイズ方式により電極指の重み付けを行う。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波デバイスの中心周波数を容易に調整することができると共にばらつきの低減が可能な弾性表面波デバイスの中心周波数調整方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波デバイスが形成された基板上に均等な間隔で測定点を設ける第１ステップと、測定点の周波数を測定して周波数調整領域を決定する第２ステップと、周波数調整領域を露出する開口部を有するマスクを用いて、当該周波数調整領域の周波数を調整する第３ステップと、所望の周波数特性が得られるまで第２ステップと第３ステップとを繰り返す第４ステップとから、概略構成されている弾性表面波デバイスの中心周波数調整方法。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴの抵抗を低減させ、挿入損失を改善することが可能な弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板２と、圧電基板２上に設けられたＩＤＴ３と、ＩＤＴ３を形成する互いに対向した複数の櫛型電極４及び１０の各々と電気的に接続され、複数の櫛型電極４及び１０を形成する複数の電極指６及び１２の少なくとも一部を覆うように、ＩＤＴ３の上に設けられた複数のブリッジ１６及び２０と、を具備する弾性表面波デバイスである。ＩＤＴの抵抗を低減させ、挿入損失を改善することが可能な弾性表面波デバイスを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】安価な材料で、比較的薄い膜厚で微細な電極が形成できる弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板上にすだれ状電極５〜７が形成された弾性表面波装置において、前記すだれ状電極５〜７を形成する電極材料の主成分が銅であり、かつ前記圧電基板が略１５°回転Ｙ軸カット−Ｘ方向伝搬ＬｉＮｂＯ₃基板であり、かつ弾性表面波の伝搬モードがラブ波モードであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 半導体部材の傾きを防止し、半導体部材および基板の接続端子の短絡を防止する電子部品を提供する。
【解決手段】 半導体部材２の基板３と対向する面と、基板３の半導体部材２と対向する面との間隔を保持するために、半導体部材２と基板３との間にそれぞれ離間した複数のスペーサ８を設ける。このスペーサ８は、半導体部材２を複数箇所で支持するように設けられる。具体的には、複数のスペーサは、前記半導体部材の平面視において、それぞれを直線で結んだ場合に前記半導体部材の重心を含む少なくとも３つの仮想点を含むように、それぞれ配置される。 （もっと読む）

【課題】圧電単結晶の伝搬基板を用いた弾性表面波素子の周波数の温度係数を低減することである。
【解決手段】弾性表面波素子は、支持基板１、圧電単結晶基板３Ａ、支持基板１と圧電単結晶からなる伝搬基板３とを接着する厚さ０．１μｍ〜１．０μｍの有機接着剤層２、および伝搬基板３Ａ上に設けられた弾性表面波フィルタを備える。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子が境界波素子である場合に、バルク放射による損失を抑制する。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明の弾性波素子６は、圧電基板７と、この圧電基板７の上に設けられた櫛歯電極８と、圧電基板７の上にこの櫛歯電極８を覆うように設けられた第１誘電体層９と、この第１誘電体層９の上に設けられた第２誘電体層１０を備え、この第２誘電体層１０を伝搬するバルク波のうち横波の速度Ｖｓは櫛歯電極８において励振される弾性波の速度Ｖより速く、かつ、櫛歯電極８において励振される弾性波の速度Ｖは、圧電基板７を伝搬するバルク波のうち最も遅い横波の速度Ｖｂより遅く、かつ、圧電基板７における回転Ｙ板のカット角が１５度以上２５度以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は弾性波基板における不要応答発生を抑制することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は圧電基板１上面に設けられた第１の誘電体層２と、第１の誘電体層２上面に設けられた第２の誘電体層４の膜厚を適切に与えることにより主要波として用いるＳＨ波のエネルギーを圧電基板１と第１の誘電体層２の境界に閉じ込めつつ、不要波として検出されるストンリー波と同様の変位分布を有するＳＶ波の変位を第２の誘電体層４の上面に分布させることにより、第２の誘電体層４の上面に設けられた吸音層５を用いて不要波を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】温度変化による特性の変化を抑制する温度補償用膜が形成されており、製造工程の煩雑さをさほど招くことなく温度補償用膜を容易に形成でき、かつ小型化を図ることが可能な弾性波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】対向し合う第１，第２の主面１ａ，１ｂを有する圧電ウェーハ１を用意すう工程と、圧電ウェーハ１の第１の主面１ａのＩＤＴ電極４を形成する工程と、第２の主面１ｂ上にＳＯＧ法により温度補償用膜を形成する工程と、圧電ウェーハを複数の圧電基板に分割する工程とを備える、弾性波素子の製造方法。 （もっと読む）