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Fターム[5J097DD01]の内容

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【課題】櫛型電極を構成する金属が絶縁膜中に拡散することを抑制し、信頼性の高い弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板10と、圧電基板10上に設けられた櫛型電極12と、圧電基板10上であって、櫛型電極12の電極指間に設けられた第1絶縁膜16と、第1絶縁膜16の側面を覆うように、櫛型電極12と第1絶縁膜16との間に設けられた第1拡散防止膜18と、櫛型電極12の上面および側面と第1絶縁膜16の上面とに設けられた絶縁性の第2拡散防止膜20と、第2拡散防止膜20上に設けられた第2絶縁層22と、を具備する弾性波デバイスである。 (もっと読む)


【課題】ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法を提供する。
【解決手段】すだれ状電極26は、ギャップ34、36によってトンネル効果を抑制又は排除するために十分に拡張されたエッジギャップ長を、電極の端部と対向するバスバー16,18との間に含む。結果として、長手方向に延びるエッジ領域54,56内での音響波の波速度がトランスデューサ中央領域46での波速度より遅く、対向するギャップ領域38,40での波速度がトランスデューサ中央領域での速度より速くなり、トランスデューサ26の開口部では本質的に均一な伝搬モードが生じる。高結合基板上のSAWトランスデューサ又はSAW共振器では、アポディゼーションを必要とせずにトランスデューサ領域でエネルギーを誘導する。等価結合係数が大きくなり損失が減少する。 (もっと読む)


【課題】入力側及び出力側のIDT電極をテーパー型に構成した弾性波フィルタにおいて、弾性波の回折損及び圧電基板の大きさを小さく抑えつつ、広い通過周波数帯域を持つ弾性波フィルタを提供すること。
【解決手段】電極指15及び反射電極16の幅寸法及び間隔寸法が一方側のバスバー14から他方側のバスバー14に向かうにつれて広がるように形成されたテーパー型の入力側IDT電極12及び出力側IDT電極13のフィルタ部30を弾性波の伝搬方向に沿って圧電基板11上に2つ配置して、電極12、13の夫々における他方側のバスバー14、14同士を入力ポート21(出力ポート22)に夫々接続すると共に、第1フィルタ部31の他方側のバスバー14に近接する領域のトラックTr2と、第2フィルタ部32の一方側のバスバー14に近接する領域のトラックTr3と、が等しくなるようにする。 (もっと読む)


【課題】耐電力性の向上。
【解決手段】本発明のアンテナ共用器は、入力端子と、この入力端子に入力側を接続した送信側フィルタと、この送信側フィルタの出力側に入力側を接続した受信側フィルタと、この受信側フィルタの出力側に接続した出力端子と、前記送信側フィルタと前記受信側フィルタとの間に接続したアンテナ端子とを備え、前記送信側フィルタは、ラダー型弾性波フィルタで構成されると共に、前記送信側フィルタにおいて、前記アンテナ端子側の最外腕は直列腕共振器であり、この直列腕共振器は複数の共振器が直列接続された構成であり、前記アンテナ端子側の最外腕における前記複数の共振器は、ほぼ同等の容量であると共に、前記受信側フィルタにおいて、前記入力端子側初段には直列腕共振器が接続されたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】入力側IDT電極及び出力側IDT電極をテーパー型に構成した弾性波フィルタにおいて、通過周波数帯域において減衰特性の良好な平坦性を得ること。
【解決手段】複数の電極指15及び反射電極26の幅寸法及び間隔寸法がバスバー14の一方側から他方側に向かうにつれて広がるように形成された入力側IDT電極12及び出力側IDT電極13を備えた弾性波フィルタにおいて、反射電極26の少なくとも1つとして、順方向に弾性波が反射するように重み付けられた第1の領域28と、順方向に弾性波が反射しないように重み付けが間引かれた第2の領域29と、をその長さ方向に配置した補助反射電極30を配置する。 (もっと読む)


【課題】導波型音響波共振装置及び該装置の製造方法の提供。
【解決手段】少なく共2つのフィルタ(F、・・・、F)を含む導波型音響波共振装置で、各フィルタが少なく共2つの音響波共振器(R11−R12、・・・、RN1−RN2)を含み、各フィルタが、中心周波数(f、・・・、f)を中心とする有用な周波数帯域(BF、・・・、BF)によって特徴づけられ、各共振器が、周期(∧ij)の周期的構造を有する少なく共一組の相互噛合型上部電極と圧電材料の層とを含み、各共振器が結合係数及び共振周波数によって特徴づけられる、導波型音響波共振装置において、共振器の少なく共1つが差別化層(CDfi)を含んで、相互噛合型電極の周期と併せて前記共振器の結合係数変更を可能とし有用な帯域及び中心周波数が、決定された有用な帯域幅を有する様に構成される共振器の共振周波数及び結合係数によって決定される導波型音響波共振装置。 (もっと読む)


【課題】犠牲層を設けてエッチング除去することなく、メンブレン構造を構成できる複合基板の製造方法の提供を図る。
【解決手段】複合基板の製造方法は、パターン形成工程(S11〜S13)とイオン注入工程(S14)と接合工程(S15)と剥離工程(S16)とを含む。パターン形成工程は、支持基板3の主面に支持部2をパターン形成する。支持部2は支持基板3の主面から突出する。イオン注入工程(S14)は圧電基板1の平坦面にイオンを注入する。接合工程(S14)は、圧電基板1の平坦面に支持基板3を支持部2で接合する。剥離工程(S15)は、圧電基板1の平坦面から一定距離の内部でマイクロキャビティを成長させて、支持部2に接合する圧電基板1から圧電薄膜4を剥離する。 (もっと読む)


【課題】同一圧電基板上に、複数の弾性波フィルタを精度よく形成し、かつ特性の改善が可能な弾性波デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電基板2上に第1金属膜4を形成する工程と、第1金属膜4をドライエッチングすることにより、圧電基板2上に第1金属膜4から第1IDT8を形成する工程と、第1IDT8上にレジスト10を形成する工程と、レジスト10上、及び圧電基板2上に、第1金属膜4とは膜厚及び材料の少なくとも一方が異なる第2金属膜12を形成する工程と、第2金属膜12をドライエッチングすることにより、圧電基板2上に、第2金属膜12から第2IDT16を形成する工程と、を有する弾性波デバイスの製造方法。 (もっと読む)


【課題】平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波デバイスにおいて、挿入損失を低減する。
【解決手段】本弾性表面波デバイス100Aは、それぞれが3つ以上の奇数個のIDTを含む弾性表面波フィルタである第1フィルタ20A及び第2フィルタ40Aと、不平衡信号が入力される不平衡端子10と、不平衡信号と同位相の信号が出力される第1平衡端子12と、不平衡信号と逆位相の信号が出力される第2平衡端子14と、を有する。第1フィルタ20及び第2フィルタ40のそれぞれにおいて、中央に位置する第1中央IDT22A及び第2中央IDT42Aは、一方の電極が不平衡端子10に共通に接続されている。また、第1中央IDT22Aの電極指の本数は奇数であり、第2中央IDT42Aの電極指の本数は偶数である。本構成によれば、通過帯域内のノッチを抑制し、挿入損失を低減することができる。 (もっと読む)


【課題】電気機械結合係数Kを高め、かつ電極指一本あたりの反射係数を効果的に高め得る弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】水晶基板2上にIDT電極3が形成されており、IDT電極3を覆うように水晶基板2上にc軸配向のZnO膜6が形成されており、IDT電極3のメタライゼーション比が0.25〜0.45の範囲にある、弾性表面波装置。 (もっと読む)


本発明は、自然一方向性を有する音響表面波用変換器に関しており、
ここではインターデジタル電極構造体が圧電結晶基板に配置されており、この電極構造体は、集電電極および櫛歯からなるインターデジタル変換器によって形成されており、
これらの櫛歯のうちの少なくとも2つの櫛歯は、変換器セルを構成し、これらの変換器セルは、電位の波を励起する少なくとも1つの励起中心部と、電位の波反射する反射中心部とを有している。本発明の課題は、自然一方向性を有する変換器に対し、帯域の広い変換器の場合であっても挿入減衰が小さい材料、材料断面および伝搬方向を見つけることであり、またこの変換器の一方向特性にもかかわらず周波数位置が、基板上で電極構造体を配向する際の誤差によって影響を受けないかまたはわずかにしか影響を受けないようにすることである。本発明の重要な1特徴的構成によれば、上記の櫛歯は、向きRに対して垂直に配向されており、ここで向きRは、基板結晶の1回回転軸または3回回転軸に対して平行であり、またRに対して微分dv/dθ=0が成り立ち、ただしvは表面波の位相速度であり、θは櫛歯方向に対する垂直線と、上記の向きRとの角度偏差である。本発明の別の1特徴的構成によれば、上記の電極材料およびその層厚を選択して、各変換器セルにおける励起中心部と反射中心部との間の位相シフトΦsが、式sin2s)=(ωo2s2)(ωs2s1)/(ωs2s1)(ωo1o2s1s2)により、41.4°と48.6°との間か、-48.6°と-41.4°との間か、131.4°と138.6°との間か、または-138.6°と-131.4°との間にあるようにする。本発明による変換器は、機能の仕方が音響表面に基づくものであれば、例えばセンサ、識別素子(IDタグ)、共振器、フィルタ、遅延線路および発振器などに適用可能である。 (もっと読む)


【課題】 小型化が可能、または、設計の自由度を向上させることが可能なフィルタおよびアンテナ分波器を提供すること。
【解決手段】インダクタが並列に接続されていない第1の共振子と、該第1の共振子より励起効率を低減させた第2の共振子S31と、該第2の共振子と並列に接続されるインダクタL31と、を具備し、前記第2の共振子と前記インダクタとにより、一つの共振点と前記共振点の低域側および高域側にそれぞれ第1の反共振点および第2の反共振点とが形成され、前記第2の共振子の励振効率を前記第1の共振子より低減させることにより、前記第2の共振子の励起効率が前記第1の共振子と同じ場合の第1の反共振点と第2の反共振点との周波数の範囲内で任意に前記第1の反共振点および前記第2の反共振点を設定するフィルタ。 (もっと読む)


【課題】基板の平面上に電極を形成した平面型の弾性表面波素子において、従来よりも弾性表面波のエネルギを有効に活用できるようにする。
【解決手段】基板2の平面上に、弾性表面波の発生もしくは受信が可能なIDT3と、反射器4とが形成された弾性表面波素子において、IDT3の構成を、曲線による閉じられた周形状の複数の電極11が同心状に所定間隔で配置された構成とする。また、反射器4の構成を、第1電極3と同じ周形状の複数の電極12がIDT3に対して同心状に所定間隔で配置された構成とする。これによれば、IDT3、反射器4を閉じられた周形状として、端部が存在しない形状としているので、回折現象の発生を抑制でき、従来よりも弾性表面波のエネルギを有効に活用できる。 (もっと読む)


【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、優れた信頼性を有する圧電デバイスの製造方法および圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電振動片2を収納したパッケージ3を実装用基板4上にスペーサ51〜54を介して実装するとともに、スペーサ51〜54によってパッケージ3と実装用基板4との間に形成された間隙に収まるように、圧電振動片2を駆動する機能を有する電子部品6を実装用基板4上に実装した圧電デバイス1の製造方法であって、実装用基板4となるべき基板4A上にスペーサ51〜54を形成する工程と、基板4A上およびスペーサ51〜54上にこれらの間を跨るように配線パターン42を形成する工程と、配線パターン42に電気的に接続されるように、基板4A上に電子部品6を実装する工程と、スペーサ51〜54上にパッケージ3を実装する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】通過帯域内リップルを抑圧することができ、かつ特性ばらつきが少ないトランスバーサル型弾性表面波フィルタ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ウエハ上に、入力側IDT電極5及び出力側IDT電極6を形成し、ウレタン樹脂からなる主剤と、ポリイミド樹脂からなる副剤とを含む二液型のウレタン系熱硬化型ダンピング剤を付与し、加熱により硬化し、ダンピング材26,27を形成し、ウエハを切断して個々の弾性表面波フィルタ素子を得た後に、各弾性表面波フィルタ素子をパッケージに収納し、さらにダンピング材26,27の硬化温度よりも高い温度で加熱処理する、トランスバーサル型弾性表面波フィルタ装置の製造方法。 (もっと読む)


【課題】通過帯域高域側のフィルタ特性の急峻性が高く、かつVSWR特性が良好なラダー型フィルタ及びそれを備えたデュプレクサを提供する。
【解決手段】IDT電極30を有する複数の直列腕共振子と、並列腕13に設けられている並列腕共振子と、複数の直列腕共振子のうちの一部の直列腕共振子S2a、S2b、S3cに並列に接続されているキャパシタC1、C2とを備えている。キャパシタC1、C2が並列に接続されている直列腕共振子S2a、S2b、S3cのIDT電極30には、弾性波伝搬方向において、交叉幅が極大となる極大点が複数形成されるように交叉幅重み付けが施されている。キャパシタが並列に接続されていない直列腕共振子S1a、S1b、S2c、S3a、d3bのIDT電極40には、弾性波伝搬方向において、交叉幅が極大となる極大点がひとつのみ形成されるように交叉幅重み付けが施されている。 (もっと読む)


【課題】従来の平坦な弾性表面波コンボルバ素子に比べ、遥かに長い全面電極の長さを設定出来、より高い性能を発揮できる、弾性表面波コンボルバ素子を提供することである。
【解決手段】弾性表面波コンボルバ素子10は:弾性表面波ASWが励起可能であり、球面の一部により円環状に規定され励起された弾性表面波が周回可能な少なくとも1つの弾性表面波周回路12aを含む弾性表面波周回基体12と;弾性表面波周回路に弾性表面波周回路に沿った相互に正反対の方向に伝搬する2つの弾性表面波を励起させる弾性表面波励起手段14と;そして、弾性表面波周回路に配置され、弾性表面波周回路を相互に正反対の方向に伝搬した2つの弾性表面波が重畳され畳み込み積分出力を生じさせる全面電極16と;を備えている、ことを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】SAW共振片、SAW共振子、及びこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板14上において、一対のSAW素子18(19)と、前記一対のSAW素子18(19)の出力側にそれぞれ接続した一対の出力端子32(33)と、前記一対のSAW素子18(19)のそれぞれ入力側に共通に接続した入力端子28と、を形成したSAW共振片12であって、前記一対のSAW素子18(19)は、入力側を互いに対向させ、SAW素子18、19の中心位置が前記圧電基板14のSAWの伝播方向の中心線で線対称となる位置に配置し、前記一対の出力端子32(33)は、前記線対称となる位置に形成し、前記入力端子28は、前記線対称の中心線16上に形成してなる。 (もっと読む)


【課題】 異なる複数の周波数特性を有すると共に、IDT電極の電極指間の短絡等の問題を改善した弾性表面波装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置1は、圧電基板7と、圧電基板7上に形成され、第1膜厚を有する第1のIDT電極9と、圧電基板7上に形成され、第1膜厚より大きい第2膜厚を有する第2のIDT電極13と、第1のIDT電極9及び第2のIDT電極13のうち第1のIDT電極9のみを被覆する絶縁膜20と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】Q値が向上したSAW共振子及びこのSAW共振子を備えたSAW発振器の提供。
【解決手段】SAW共振子1は、水晶基板10と、水晶基板10の主面11に設けられた、隣り合う2つのIDT電極20,21と、2つのIDT電極20,21の両側に設けられた反射器30,31とを備え、2つのIDT電極20,21間のギャップをDとし、IDT電極20,21の電極指20a,21a,21a,21bのピッチをLtとし、反射器30,31の電極指30a,31aのピッチをLrとしたときに、(1):n×(Lt/2)<D<0.045×Lt+n×(Lt/2)(但し、nは0以上の整数)、(2):−0.02667×D+0.9992≦Lt/Lr≦−0.00667×D+0.9996、の2つの関係式を満たすことを特徴とする。 (もっと読む)


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