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弾性表面波素子とその回路網 (15,777) | 電極の形態サイズ (1,722) | 励振電極 (623)

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本発明は、音響波デバイスの分野に係わり、特に数百MHzから数GHzの高い周波数での作業が可能なトランスデューサの分野、とりわけ、少なくとも2基板と強誘電体層2とを含む界面音響波デバイス1に関するものである。強誘電体層は、第1電極3と第2電極4との間に配置され、かつ第1正偏向分域7と第2負偏向分域8とを含み、該第1と第2の分域は交互に配置されている。該音響波デバイスは、第1電極3と、強誘電体層2と、第2電極4とから成る集成体が、第1基板5と第2基板6との間に設けられていることを特徴とする。
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【課題】浮いた部分を有する電子部品中の圧電体膜を効率よく形成することができる電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電体20の平坦な表面20aからイオンを注入して、圧電体20内において表面20aから所定の深さの領域にイオン注入層22を形成する。圧電体20の表面20aの一部の上に犠牲層30を形成した後、圧電体20の表面20a及び犠牲層30に絶縁体34を形成して圧電構造体10sを形成する。圧電体20を加熱して圧電体20をイオン注入層22で分離して、圧電体20から分離された圧電体膜24と絶縁体34とが接合された圧電体膜構造体10tを形成する。圧電体膜構造体10tの圧電体膜24のイオン注入層22に沿って形成された分割面24aのうち少なくとも犠牲層30に対向する部分に電極を含む素子パターン16を形成した後、圧電体膜構造体10tから犠牲層30を除去する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構造を有し、かつ平衡信号端子間のバランスが高いバランス型弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】第1,第3及び第5のIDT30,50,70の各一端は、不平衡信号端子11に共通に接続されている。第1,第3及び第5のIDT30,50,70の各他端は、アース電位に接続されている。第2及び第4のIDT40,60のそれぞれは、弾性波伝搬方向に沿って分割することにより設けられ、相互に直列に接続された第1及び第2の分割IDT部44,45,64,65を有する。第1の分割IDT部44,64の一端は、第1の平衡信号端子12に共通接続されている。第2の分割IDT部4,65の一端は、第2の平衡信号端子13に共通接続されている。第2及び第4のIDT40,60は、第1の平衡信号端子12から取り出される信号と、第2の平衡信号端子13から取り出される信号とが逆相となるように形成されている。 (もっと読む)


【課題】大量生産に適し常に安定して良好な弾性表面波伝搬性能を発揮可能な弾性表面波素子、及びこのような弾性表面波素子を用いた環境差異検出装置を提供することである。
【解決手段】この発明の弾性表面波素子は:弾性表面波が伝搬可能な曲面が連続した少なくとも円環状の曲面の一部を含む表面を有する3次元基体12と;上記表面に弾性表面波を励起し上記表面に沿い弾性表面波を伝搬させるとともに伝搬する弾性表面波を受信可能な電気音響変換素子14と;を備え、3次元基体が水晶であり、3次元基体の表面において電気音響変換素子は、これらの結晶の結晶面と前記表面との交線に沿い弾性表面波を伝搬させ、前記交線は前記表面の最大外周線である、ことを特徴とし、環境差異検出装置は、弾性表面波素子の複数の伝搬表面帯の電気音響変換素子の弾性表面波受信信号を比較し夫々が接する空間部分の環境の差異を検出する。 (もっと読む)


【課題】IDTの抵抗を低減させ、挿入損失を改善することが可能な弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板2と、圧電基板2上に設けられたIDT3と、IDT3を形成する互いに対向した複数の櫛型電極4及び10の各々と電気的に接続され、複数の櫛型電極4及び10を形成する複数の電極指6及び12の少なくとも一部を覆うように、IDT3の上に設けられた複数のブリッジ16及び20と、を具備する弾性表面波デバイスである。IDTの抵抗を低減させ、挿入損失を改善することが可能な弾性表面波デバイスを提供することができる。 (もっと読む)


【課題】安価な材料で、比較的薄い膜厚で微細な電極が形成できる弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板上にすだれ状電極5〜7が形成された弾性表面波装置において、前記すだれ状電極5〜7を形成する電極材料の主成分が銅であり、かつ前記圧電基板が略15°回転Y軸カット−X方向伝搬LiNbO3基板であり、かつ弾性表面波の伝搬モードがラブ波モードであることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】アイソレーション特性が良好で小型のデュプレクサを提供する。
【解決手段】ラダー型フィルタからなる高域側フィルタ4と低域側フィルタ3とを共通の圧電基板11上に設けたデュプレクサは、これらのフィルタの一方側に含まれる第1の弾性波共振子31aと、他方側のフィルタに含まれる第2の弾性波共振子42cと、これらの共振子31a、42cの間に設けられ、第1の弾性波共振子31aのグレーティング反射器より漏洩した弾性波を反射する第1の追加グレーティング反射器86aと、を備え、第1の弾性波共振子31aにおける第2の弾性波共振子42cの反対側には、追加グレーティング反射器が設けられていない。 (もっと読む)


【課題】アンテナ端子側からの信号の入力に対しても耐電力性を有し、安定した特性を有するアンテナ共用器を提供する。
【解決手段】アンテナ共用器は、入力端子1と、この入力端子に入力側を接続した送信側フィルタ2と、この送信側フィルタ2の出力側に入力側を接続した受信側フィルタ4と、この受信側フィルタ4の出力側に接続した出力端子5と、前記送信側フィルタ2と前記受信側フィルタ4との間に接続したアンテナ端子6とを備え、前記送信側フィルタ2は、ラダー型弾性波フィルタで構成されると共に前記アンテナ端子側の最外腕は直列腕共振器であり、この直列腕共振器は複数の共振器が直列接続された構成であり、前記アンテナ端子側の最外腕における前記複数の共振器は同一構造の共振器である。 (もっと読む)


【課題】圧電性単結晶の基材を使用しても基材の円環状表面領域を周回する弾性表面波を指数関数的に減衰出来て周回速度も一定に保て、従来に比べ球状弾性表面波素子を利用した装置の動作精度をさらに向上出来る球状弾性表面波素子を提供することである。
【解決手段】球状弾性表面波素子11は、圧電性単結晶基材13の球面の一部で形成され最大径の外周線を含み円環状に延出している表面領域に弾性表面波を励起し上記表面領域の延出方向に周回させる電気音響変換素子15の中心が、上記基材の上記表面領域において上記基材のZ軸と直交する平面と上記球面との交線と異なる位置に配置されるか、又は上記交線上にあって弾性表面波の音速が最も高い位置に配置されることで、上記表面領域を多重周回する弾性表面波の強度の減衰が指数関数的な減衰と一致することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】平衡度に優れた弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】圧電基板2と、前記圧電基板2上に設けられ、一つの不平衡端子12に接続された第1IDT8と、前記圧電基板2上に設けられ、二つの平衡端子14及び16に接続された第2IDT6及び10と、を具備した弾性波フィルタであって、前記第1IDT8と前記第2IDT6及び10とは、同一の弾性波の伝搬方向に沿って配置され、前記第2IDT6及び10を形成する互いに相対した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極が、互いに位相が反転した二組の櫛型電極となるように偶数個に分割され、分割された前記一方の櫛型電極のうち、同位相の櫛型電極は、前記二つの平衡端子14及び16のうち、同一の前記平衡端子に接続されている弾性波フィルタ。 (もっと読む)


【課題】圧電性単結晶の基材を使用しても、従来に比べ球状弾性表面波素子を利用した装置の動作精度をさらに向上出来る球状弾性表面波素子を提供することである。
【解決手段】球状弾性表面波素子11は:圧電性単結晶基材13の球面の一部で形成され最大径の外周線を含み円環状に延出している表面領域12に電気音響変換素子15により弾性表面波14が励起され上記表面領域の延出方向に沿い周回させる。弾性表面波は、上記表面領域の延出方向に伝搬する間に所定の経路に沿い蛇行し、そして、電気音響変換素子のすだれ状電極の複数の電極枝15−1,15−2は、上記表面領域の上記所定の経路上ですだれ状電極が対応する位置における弾性表面波の音速の所望の中心周波数に一致する周期に配列されている。 (もっと読む)


【課題】電気的抵抗の増大を招くことなく、表面波の閉じ込め効率を高めることができ、それによって損失を小さくすることが可能とされている弾性表面波装置を得る。
【解決手段】圧電基板2上にIDT電極3が形成されており、IDT電極3の第1,第2のバスバー6,7が、第1の層12と、第1の層12上に形成された第2の層13とを有し、第2の層が金属膜からなり、第1の層12では、複数本の金属ストリップ14と、複数本の金属ストリップ15とが交互に配置されており、複数本の金属ストリップ14,15間に絶縁膜16が形成されている、弾性表面波装置。 (もっと読む)


【課題】耐電力性(マイグレーション耐性)のさらなる向上を図るとともに温度変化による周波数変動を抑えた信頼性の高い弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】酸化亜鉛を主成分とする圧電体層4を有する基板2と、前記基板2上に形成された少なくとも一対の櫛歯型電極5a,5bからなるIDT6と、を有し、前記櫛歯型電極5a,5bは、Al−Ti合金からなる第1電極層16Aと、Al−Nd合金からなる第2電極層16Bとが前記圧電体層4上にこの順で積層されて構成されている。 (もっと読む)


【課題】 通過帯域近傍の帯域外減衰量と、通過帯域外のより高周波側(6GHz付近)における帯域外減衰量とを両立させて向上させることができる弾性表面波装置、及び通信装置を得ること。
【解決手段】 弾性表面波装置30は、第1の基準電位貫通導体19は並列弾性表面波共振子15〜17の側の環状電極18の直下に形成されるとともに、第2の基準電位貫通導体20は直列弾性表面波共振子11〜14の側の環状電極18の直下に形成されており、複数の並列弾性表面波共振子15〜17のうち一端に位置する並列弾性表面波共振子15の基準電位電極が、環状電極18における第2の基準電位貫通導体20の部位に接続されており、複数の並列弾性表面波共振子15〜17のうち他端に位置する並列弾性表面波共振子17の基準電位電極が、第3の基準電位貫通導体21及び環状電極18における第2の基準電位貫通導体20の部位に接続されている。 (もっと読む)


【課題】低損失かつ小型化可能な弾性波フィルタを提供すること。
【解決手段】
本発明は、多重モードフィルタ14及び16が接続され、第1不平衡入力ノードIn10と2つの第1平衡出力ノードOut10及びOut12とが設けられ、第1多重モードフィルタ10及び12が第1平衡出力ノードに接続された第1弾性波フィルタ100と、多重モードフィルタ24及び26が接続され、第2不平衡入力ノードIn20と2つの第2平衡出力ノードOut20及びOut22とが設けられ、第1多重モードフィルタとは異なる開口長を有した第2多重モードフィルタ20及び22が第2平衡出力ノードに接続され、第1弾性波フィルタとは通過周波数帯域が異なる第2弾性波フィルタ200と、を具備し、第1平衡出力ノードOut10及びOut12と、第2平衡出力ノードOut20及びOut22とは各々共通化されている、弾性波フィルタである。 (もっと読む)


本発明は、圧電材料でできている非常に小さなアンテナに対するものである。圧電材料を介して伝搬する無線シグナルの波長は、その高い誘電率および無線シグナル間の共振のため、短くなり、種々の周波数におけるその力学的な波のモードにより、送受信モードにおいて高振幅シグナルを生じる。 (もっと読む)


【課題】弾性表面波素子における挿入損失及び耐電力を向上させ、フィルタ特性に優れた高性能かつ高品質の弾性表面波素子、電子デバイス及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子は、圧電材料及び対をなす櫛歯型電極10a,10b及び櫛歯型電極11a,11bからなるIDT10,11を有する単位フィルタ1−A,1−Bを、同一の圧電基板26上に形成して、複数並列接続した弾性表面波素子1であって、櫛歯型電極10a,10b,11a,11bの電極指2a,2bの長さは全て等しく、単位フィルタ1−A,1−Bの弾性表面波の波長をλ(但し、λ=V/f V:弾性表面波速度(m/s)、f:動作周波数(GHz))としたとき、IDT10,11の電極膜厚が10〜400nmの範囲内、かつ電極指2a,2bの交差長が5〜50λの範囲内で構成されている。 (もっと読む)


【課題】アンテナ端子側からの信号の入力に対しても耐電力性を有し、安定した特性を有するアンテナ共用器の提供。
【解決手段】入力端子1に入力側を接続した送信側フィルタ2と、この送信側フィルタ2に接続した移相回路3と、この移相回路3に接続した受信側フィルタ4と、この受信側フィルタ4に接続した出力端子5と、前記送信側フィルタ2と移相回路3との間に接続したアンテナ端子6とを備え、前記送信側フィルタ2はラダー型弾性表面波フィルタであり、前記アンテナ端子6側の最外腕は直列腕SAW共振器であり、送信側フィルタ2において、送信信号の出力側からの反射波に対する耐電力性が、入力端子側からの電力印加に対する耐電力性と同等以上である構成。 (もっと読む)


【課題】本発明は、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波の励起に用いられる圧電ウエハ及びそれを用いた弾性波デバイスの製造方法に関し、製造過程における特性バラツキの少ない圧電ウエハ及びそれを用いた弾性波デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による圧電ウエハ8は、オリエンテーション・フラット7を除く外周部分にベベリング9が形成された圧電単結晶からなる圧電基板3において、オリエンテーション・フラット7の上端部分にテーパー面10を設けるとともに、このテーパー面10における圧電基板3の上面との境界線11とテーパー面10における圧電基板3の側面との境界線12を平行とした。 (もっと読む)


【課題】不要波による不要応答を抑制した弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】本発明の弾性境界波装置は、圧電材料層と、前記圧電材料層の上に配置された電極と、前記電極を覆うように前記圧電材料層の上に形成された第1誘電体層と、前記第1誘電体層の上に形成された第2誘電体層とを備え、前記第2誘電体層の音速は、前記第1誘電体層の音速よりも速く、前記第1誘電体層は、アルミナ、ダイヤモンドライクカーボン、炭化珪素及びダイヤモンドからなる群から選ばれるいずれか1種を主成分として含む材料から形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


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