【課題】バンプ形成時の応力による圧電基板のクラックが生じ難く、かつ電極層の圧電基板からの剥離も生じ難い、弾性表面波装置を得る。
【解決手段】バンプ１３を介して実装基板にフリップチップボンディング方式で実装される弾性表面波装置であって、圧電基板２の第１の主面上にＩＤＴ電極３〜５を含む第１の電極層１１が形成されており、第１の電極層１１に電気的に接続されるように、第２の電極層１２が形成されており、第２の電極層１２上にバンプ１３が接合され、第２の電極層１２のバンプ１３が接合される部分を接合領域としたときに、接合領域において第２の電極層１２と圧電基板２との間に、バンプ１３よりも硬度が高い誘電体からなる誘電体層８が設けられている、弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】弾性波装置が好適に封止された電子部品を提供する。
【解決手段】電子部品は、実装面５３ａを有する実装基板５３と、実装面５３ａに実装されたＳＡＷ装置と、樹脂６１を含んで構成され、ＳＡＷ装置を覆うとともにＳＡＷ装置と実装面５３ａとの間に充填された封止部５９と、を有する。ＳＡＷ装置は、素子基板３と、素子基板３の第１主面３ａに設けられた励振電極と、励振電極を覆うカバー９と、を有する。また、ＳＡＷ装置は、カバー９の天面９ａ、９ｂを実装面５３ａに対向させて実装面５３ａに実装されている。そして、封止部５９には、カバー９と実装面５３ａとの間において、ガスが閉じ込められた複数の気孔６５Ａ，６５Ｂが分布している。 （もっと読む）

【課題】優れた信頼性を有する弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置１は、圧電基板１０と、ＩＤＴ電極２０と、パッド部２６ａ、２６ｂと、接続部２７ａ、２７ｂとを備えている。ＩＤＴ電極２０は、圧電基板１０の上に配されている。ＩＤＴ電極２０は、複数の電極指２２ａ、２２ｂ及びバスバー２３ａ、２３ｂを有し、互いに間挿し合う一対のくし歯状電極２１ａ、２１ｂからなる。接続部２７ａ、２７ｂは、ＩＤＴ電極２０とパッド部２６ａ、２６ｂとを接続している。パッド部２６ａ、２６ｂの少なくとも表層はＰｕｒｅＡｌまたはＰｕｒｅＡｕからなる。接続部の表層は、ＰｕｒｅＡｌまたはＰｕｒｅＡｕ以外の構成材料により構成されている。 （もっと読む）

【課題】不平衡入力−不平衡出力型のフィルタおよび不平衡入力−平衡出力型のフィルタのいずれにも対応可能なパッケージ構造を有し、挿入損失が小さい表面弾性波装置を提供する。
【解決手段】表面弾性波装置は、不平衡入力−不平衡出力型の受信フィルタおよび不平衡入力−平衡出力型の受信フィルタのいずれにも対応可能な構造を有する。不平衡入力−不平衡出力型の受信フィルタを構成する表面弾性波フィルタチップ３０Ａは、不平衡出力端子として機能するパッド３７ｆと、表面弾性波フィルタ部と接続されないパッド３７ｅとを有する。配線基板の裏面には、パッド３７ｆと接続され、受信端子として機能する単一の電極と、第２のパッド３７ｅと接続され、グラウンド端子として機能する電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】配線パターンの立体交差部分で発生する寄生容量を小さくすることができ、製造が容易である弾性波デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】弾性波デバイスは、（ａ）圧電基板１２と、（ｂ）圧電基板１２の主面１２ａに形成されたＩＤＴと、（ｃ）ＩＤＴに接続された配線パターンとを備える。配線パターンは、（ｉ）圧電基板１２の主面１２ａに形成された主要部１４ａ，１６ｃと、（ii）主要部１６ｃに接続され、かつ主要部の一部分である被交差部分１４ａとの間に空間１５を設けて被交差部分１４ａを跨ぐ交差部１６ａ，１６ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】小型の弾性表面波装置を提供することを目的とする。
【解決手段】弾性表面波装置１は、圧電基板１０と、圧電基板１０上に形成されている弾性表面波素子３０と、圧電基板１０上に形成されているバンプパッド１１と、を備えた弾性表面波装置であって、弾性表面波素子３０は、圧電基板１０上に形成されているくし型電極部３２、３３、３４と、圧電基板１０上であって、くし型電極部３２、３３、３４の、弾性表面波の進行方向の両側に形成されている一対のリフレクタ３１、３５と、を備え、一対のリフレクタ３１、３５のうち少なくとも１つのリフレクタ３１は、くし型電極部と対向していない側の交叉幅が、くし歯電極部と対向している側の交叉幅より小さくなるように重み付けがなされており、バンプパッド１１は、重み付けがなければリフレクタが形成されている領域に近接して形成されている。 （もっと読む）

【課題】良好なバランス性を有するバランス型の弾性波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】弾性波フィルタ装置１では、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０の最も第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０側に位置しているＩＤＴ電極２３と、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０の最も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０側に位置しているＩＤＴ電極３１とが同位相の信号を出力するように構成されている。ＩＤＴ電極２３と、第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第１の配線１６の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分と、ＩＤＴ電極３１と、第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第２の配線１７の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分とが共通化されている。 （もっと読む）

【課題】 外乱ノイズの影響を抑制できる小型の弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】 圧電基板２の主面に四角形状の環状電極３が形成され、不平衡ＩＤＴ電極６および平衡ＩＤＴ電極７が、各々一方のバスバー４，５が環状電極３の対向する一対の辺の各々と一体形成されて配置され、不平衡入出力部８に接続された不平衡側接続パッド10と、平衡入出力部11，12の各々に接続された平衡側接続パッド15，16と、平衡ＩＤＴ電極７および不平衡ＩＤＴ電極６の弾性表面波伝播部17〜20の各々を接続する接続電極21，22とが配置されており、不平衡側接続パッド10と平衡側接続パッド15，16との間隔は等しく、不平衡ＩＤＴ電極６、平衡ＩＤＴ電極７、接続電極21，22および引出電極９，13，14の構成は、不平衡ＩＤＴ電極６および平衡ＩＤＴ電極７の弾性表面波伝播方向に直交して不平衡側接続パッド10の中心を通る線を対称軸として対称である弾性表面波素子１である。 （もっと読む）

【課題】基板と保護カバーとの間に剥離が生じにくく信頼性に優れた弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波を伝搬させる基板３と、基板３の主面上に配置された励振電極と、基板３の主面上に立設され、励振電極と電気的に接続される複数個の第１の柱状導体１５と、基板３の主面上に立設され、電気的に浮き状態とされている第２の柱状導体１６と、励振電極の振動空間１７を構成するとともに、第１の柱状導体１５の側面および第２の柱状導体１６の側面を覆う保護カバー９と、を有する構造にする。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴ電極を覆うように絶縁体を圧電基板上に形成する弾性波素子において、メッキ液による内部電極の断線を抑制すること。
【解決手段】本発明の弾性波素子１は、内部電極４と側壁５との間に設けられかつ側壁５の外側に突出すると共に内部電極４よりもメッキ液溶解性の低い材質からなる腐食防止層１５を備える。この腐食防止層１５により、たとえ側壁５と内部電極４との間に隙間が生じ、側壁５と内部電極４との境界部分に電極下地層９が十分に付着しなくとも、内部電極４と側壁５との間の腐食防止層１５により、電解メッキ処理工程における内部電極４の腐食を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】はんだボール電極の形成の際、マスク及びその位置決めを不要にする圧電部品の製造方法及びこれにより製造される圧電部品を提供する。
【解決手段】集合圧電基板と、該集合圧電基板の主面に形成された振動部と、該振動部に接続される配線電極とを有する圧電素子と、該圧電素子の表面に形成された絶縁層と、前記圧電素子の電極部を除く前記圧電基板の主面上に形成された絶縁保護層と、前記圧電素子の上面を囲むように設けた中空構造部を有し、かつ、前記配線電極に接続する端子電極及び該端子電極上に形成された、はんだボール電極を有する圧電部品の製造方法において、前記中空構造部の形成の際に、該中空構造部の任意の位置に凹状の仕切り部を形成して、該仕切り部に、はんだペーストを塗布した後、スキージングにより平坦化し、加熱溶解することにより前記端子電極上に、はんだボール電極を形成し、個々の圧電部品への切断時に前記仕切り部を除去する。 （もっと読む）

【課題】レジストの開口部の形状異常を抑制すること。
【解決手段】圧電基板１０と、前記圧電基板１０上に形成された櫛型電極１２と、前記圧電基板１０上に形成され前記櫛型電極１２と接続する金属パターン２０と、前記圧電基板１０および前記金属パターン２０上に形成され、開口部４０を有するレジスト４０と、を具備し、前記開口部４０端下の前記金属パターン２０は、第１金属層１６と、前記第１金属層１６上に形成され前記第１金属層１６より光反射率の小さい最上層の第２金属層１８と、を含む弾性波デバイス。 （もっと読む）

【課題】小型化、低コスト化および高精度化が可能なキャパシタを用い、分波器のアイソレーション特性を向上させること。
【解決手段】共通端子Ａｎｔと送信端子Ｔｘとの間に接続された送信フィルタ１０と、共通端子Ａｎｔと受信端子Ｒｘとの間に接続された受信フィルタ２０と、共通端子、送信端子および受信端子のうち２つの端子間に、送信フィルタまたは受信フィルタと並列に接続された容量４０と、絶縁層５１と、各々が絶縁層の一面に形成された共通端子、送信端子および受信端子であるフットパッド５６と、絶縁層の一面とは反対の面に形成された配線６０と、を備えるパッケージと、を具備し、容量は、フットパッドのうち少なくとも一つのフットパッドと、少なくとも一つのフットパッドの相対する２つの辺とそれぞれ重なる２つの配線と、により各々形成され、各々が並列に接続された２つの容量形成部６４を備える。 （もっと読む）

【課題】端子に静電気を帯びた部分が接触したとしても、ＩＤＴ電極の破壊が生じ難い、弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２と、第１の媒質層３と、第２の媒質層４とが積層されており、圧電基板２と第１の媒質層３との境界に電極構造５が形成されている三媒質構造の弾性境界波装置であって、第２の媒質層４上にＩＤＴ電極に電気的に接続されている複数の端子６〜１１が形成されており、複数の端子６〜１１が、第２の媒質層４に電気的に接続されており、第２の媒質層４が静電気を流し得る抵抗性材料からなる、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子上の導体間の接続信頼性を向上させること。
【解決手段】本発明の弾性波素子は、圧電基板２１と、この圧電基板２１の上に配置された櫛歯電極２２及び第１、第２、第３の導体２３〜２５と、この圧電基板２１の上に第３導体２５を覆うように配置されたレジスト層４０と、このレジスト層４０の上に配置されて第１の導体と前記第２の導体とを電気的に接続する第４の導体２６とを備える構成である。上記構成の如く、本発明は、第３の導体２５と第４の導体２６との絶縁を取る手段として製造工程で用いるレジスト層４０を用いる。即ち、レジスト層４０は、製造工程において下方に広がるテーパ形状を形成するので、レジスト層４０において、ほぼ直角な角部がなくなる、若しくは、この角部が鈍角となる。 （もっと読む）

【課題】電気的接続に用いる電極膜の膜応力を低減して、電極膜剥がれが発生しない信頼性に優れた弾性表面波フィルタを提供する。
【解決手段】圧電基板１上に、励振電極層と、該励振電極層に接続された電極パッド２層と、該電極パッド層上に形成された中間電極７層とを備えた弾性表面波装置であって、前記中間電極層は、下部層３と、不純物含有層５を有したバリア層４と、半田接合用の上部層６とが順次形成されていることを特徴とする弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】生産性に優れる球状弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】本発明の第１の態様に係る球状弾性表面波素子１００は、球状の基体１１１と、基体１１１の表面を周回する弾性表面波を励起するとともに周回した当該弾性表面波を受信する一対の櫛形電極１１２と、基体１１１の中心を通る光学軸の両極点近傍に形成され、一対の櫛形電極１１２の各々に接続された第１及び第２の入出力用電極１１４と、第１の入出力電極１１４上に形成された外部端子１１５と、第２の入出力電極１１４に対向して非接触で形成された外部電極１１６とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波の励起に用いられる圧電ウエハ及びそれを用いた弾性波デバイスの製造方法に関し、製造過程における特性バラツキの少ない圧電ウエハ及びそれを用いた弾性波デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による圧電ウエハ８は、オリエンテーション・フラット７を除く外周部分にベベリング９が形成された圧電単結晶からなる圧電基板３において、オリエンテーション・フラット７の上端部分にテーパー面１０を設けるとともに、このテーパー面１０における圧電基板３の上面との境界線１１とテーパー面１０における圧電基板３の側面との境界線１２を平行とした。 （もっと読む）

【課題】平衡型端子を有する弾性表面波フィルタに関して、バランス特性が劣化するという課題があった。
【解決手段】圧電基板１０１と、圧電基板上に形成された複数のＩＤＴ電極１０２〜１０４とを備えた弾性表面波フィルタ素子であって、複数のＩＤＴ電極の内、少なくとも一つのＩＤＴ電極１０２は平衡型端子に接続され、他のＩＤＴ電極１０３、１０４は不平衡型端子に接続され、少なくとも一つのＩＤＴ電極１０２に接続された第１、第２の配線電極１０７、１０９は、他のＩＤＴ電極に接続された第３の回路基板上配線電極１１６と異なる平面上に配置されており、ＩＤＴ電極と異なる平面上に設けられた、第３の回路基板上配線電極１１６は、ＩＤＴ電極１０３、１０４の電極指とバンプ又はビアを介して実質的に直接に接続された構成である。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子を速やかにセンサーホルダに装着し、薬液や気体中の成分の分析を速やかに行える弾性表面波装置を得る。
【解決手段】球状の圧電体基材の球面における周回領域で、前記圧電体基材の中心を通る結晶のＺ軸に垂直な平面で前記圧電体基材の中心を通る平面との交線に添った前記周回領域の部分に一対の櫛型電極を有し、前記櫛型電極が前記周回領域に弾性表面波を発生させて周回させ、前記圧電体基材の球面に前記櫛型電極に接続する素子電極を有する球状弾性表面波素子を備え、前記素子電極に接した導体バンプを備え、前記圧電体基材の球面における前記結晶のＺ軸から垂直に測った距離が前記圧電体基材の球の半径の３割から８割の範囲の１つの円環状の領域に接して前記導体バンプを設置し、前記導体バンプをセンサーホルダの基板電極に接させる。 （もっと読む）