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Fターム[5J097EE01]の内容

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【課題】寄生容量を小さく、電気特性の安定性が高い電子装置およびその製造方法ならびに上記電子装置を含む弾性波装置を提供する。
【解決手段】電子装置は、誘電体からなる基板1と、基板1の上面に形成された配線部2とを備える。配線部2の下方またはその近傍に位置する基板1に、基板1の下面側から上面の近傍に至る段差部1Aが形成されている。 (もっと読む)


【課題】 電気特性の変化を抑制することが可能な電子装置を提供すること。
【解決手段】 電子素子22および電子素子22が第1主面21Aに搭載され、第1主面21Aと対向しており、かつ第1主面21Aに比して平面視での面積が大きい第2主面21Bを有する基板を有するチップ部品2と、チップ部品2が第1主面21Aを第1空間S1を介して対向させた状態で搭載される配線基板31と、基板21の第2主面21Bから配線基板31の表面にかけて設けられる樹脂層4とを備え、基板31と基板31の側方に位置する樹脂層4との間に、第1空間S1に通じる第2空間S2が設けられている電子装置1である。 (もっと読む)


【課題】動作温度範囲内(−40℃から+85℃)における周波数変動量を10ppm以内とすることのできる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】3次関数温度特性を備え前記3次関数温度特性における3次温度係数が−γでありγ>0である第1の共振子14と、第1の共振子14に接続され、3次関数温度特性を備え前記3次関数温度特性における3次温度係数がγでありγ>0である第2の共振子16とを備え、第1の共振子14と第2の共振子16との間における変曲点の差が19℃以下であり、0<|γ|≦|2.4γ|の関係を満たすことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】たとえば、球状基材を加熱しながらその熱を周囲に放出する程度を計測することによってガスの状態の計測を行なう用途において、球形基材の大きな熱容量による応答速度の低下、あるいは、加熱部分と温度計測を行なう弾性表面波の周回領域の位置的なずれによる計測精度の低下をもたらさない加熱配線付の球状弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】球形基材11を、弾性表面波の周回経路12によって分けられる2つの領域を周回経路以外の領域について切削した樽型形状とすることで、球形基材11の熱容量を相対的に小さくするとともに、上記切削によって生じた平面11a,11bに、加熱用の配線パターン15a,15bを形成することで、加熱領域と弾性表面波の伝搬領域(周回経路12)と3次元的に接近した加熱配線付の球状弾性表面波素子10を構成する。 (もっと読む)


【課題】球状弾性表面波素子を加熱しながらその熱を周囲に放出する程度を計測することによって、ガスの状態の計測を行う用途において、加熱部分と温度計測を行う弾性表面波の周回領域の位置的なズレによる計測精度の低下を抑制した球状弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】球状弾性表面波素子10は、樽型形状の圧電性結晶基材11と、この基材11の弾性表面波周回径路12上に形成されたすだれ状電極13および加熱用配線パターン14とを具備して構成される。 (もっと読む)


【課題】たとえば、球状基材を加熱しながらその熱を周囲に放出する程度を計測することによってガスの状態の計測を行なう用途において、熱の放出量を増やしたり、球形基材の大きな熱容量による応答速度の低下、あるいは、加熱部分と温度計測を行なう弾性表面波の周回領域の位置的なずれによる計測精度の低下をもたらさない加熱配線付の球状弾性表面波素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】球形基材11を、弾性表面波の周回経路12によって分けられる2つの領域を周回経路以外の領域について削除したリング形状とすることで、球形基材11の熱容量を相対的に小さくするとともに、上記削除によって生じた凹面11a,11bに、加熱用の配線パターン15a,15bを形成することで、加熱領域と弾性表面波の伝搬領域(周回経路12)と3次元的に接近した加熱配線付の球状弾性表面波素子10を構成する。 (もっと読む)


【課題】結晶球状体の表面に形成するすだれ状電極及び素子電極の処理工数を少なくし、球状弾性表面波素子を効率良く製造することにある。
【解決手段】結晶球状体11の表面上の素子電極21a,21b及びすだれ状電極22を形成しようとする北極部分13a、南極部分13b及び両極部分を接続する接続部分13cに、無電解析出反応に利用して金属膜15を一括して成膜する成膜工程と、北極部分13a、南極部分13bに成膜された金属膜15a,15bをそのまま素子電極21a,21bとして利用し、接続部分13cに成膜された金属膜15c上に対をなすすだれ状電極22a,22bを形成する電極形成工程とを含む球状弾性表面波素子の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】結晶球の周回経路の結晶方位に対応した膜厚の膜を正確に真空成膜する。
【解決手段】真空容器21内で蒸着材料22を加熱気化させる蒸着材料放射ステップ(22,31)と、弾性表面波4を周回させる圧電性結晶球2の周回経路5が前記気化された蒸着材料22の放射ビームの照射方向と対面するように、圧電性結晶球2を回転可能に支持する支持ステップ(32,35)と、周回経路の結晶方位に従って前記回転支持ステップによる圧電性結晶球2の回転速度を変更し、周回経路上に結晶方位に依存した膜厚分布で真空成膜する成膜制御ステップ(1,5,32,34,35)とを有する球状弾性表面波素子の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】圧電基板を研磨するときのクラックの発生を抑制すると共にハンドリング時のクラックの発生も抑制することのできる複合基板を提供する。
【解決手段】複合基板10は、弾性波を伝搬可能な圧電基板12と、この圧電基板12よりも熱膨張係数の小さな支持基板14とが有機接着層16を介して接着されたものである。圧電基板12の表面には外周縁よりも内側に全周にわたって溝18が形成されている。この溝18は、縦断面の形状が略V字であり、溝18の底部が支持基板14に達しているものの、溝18の縦断面の形状は開口部から底部に向かって徐々に細くなっているため、支持基板14はわずかに削られているに過ぎない。 (もっと読む)


【課題】圧電基板と支持基板とを接着層を介して貼り合わせたものにおいて、加熱により生じる不具合の発生をより抑制する。
【解決手段】本発明の弾性波デバイス30は、電極が形成されている圧電基板42と、支持基板44と、圧電基板42と支持基板44とを接着する接着層46と、を備え、圧電基板42側から支持基板44側に向かって凸形状となるよう圧電基板42には膨出部43が形成されている。弾性波デバイス30は、支持基板44に屈曲部48が形成されており、圧電基板42の表面41から支持基板44の屈曲部48に向かって外周が小さくなるよう形成され屈曲部48から裏面45に向かって外周の大きさが同じになるよう形成されている。 (もっと読む)


【課題】フィルタの損失を抑えた分波器を提供する。
【解決手段】分波器は、共通端子に接続される、通過帯域の異なる2以上のフィルタF1,F2を備え、フィルタF1、F2の少なくとも1つは、フィルタの入力端子および出力端子を繋ぐ線路に直列に接続された複数の直列共振器S1〜Snと、前記線路に並列に接続された並列共振器P1〜Pmを含み、直列共振器の少なくとも1つには、インダクタンスL1が並列接続されており、インダクタンスL1が並列接続された直列共振器S1は、直列に接続された複数の共振器S11〜S13に分轄されている。 (もっと読む)


【課題】電極パターンを形成するときに発生する圧電基板の反りを防ぐことができる弾性表面波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子10の製造方法は、(i)圧電基板12の一方主面12tに、圧電基板12よりも線膨張係数が小さい支持部材14を接合して複合基板11を形成する第1の工程と、(ii)複合基板11の支持部材14に、支持部材14と圧電基板12との接合界面12tとは反対側の表面14sから複数の溝14tを形成する第2の工程と、(iii)複合基板11の圧電基板12の他方主面12sに、IDT電極を含む電極パターン16を形成する第3の工程と、(iv)電極パターン16を形成した複合基板11を分割して個片化する第4の工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】圧電性単結晶基材上の所定の円環形状表面領域に励起され伝搬され周回中の弾性表面波の強度を等比級数的に減少させることが出来る球状弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】球状弾性表面波素子10は、三方晶系圧電性単結晶により形成され、Y結晶軸を含みZ結晶軸と直交する平面がZ結晶軸と交差する点Pを中心とした球面の一部で形成され上記平面が上記球面の一部と交差している最大径の外周線14を含み円環状に延出した表面領域16を含み、上記表面領域に上記表面領域の円環状延出方向に沿い励起された弾性表面波が上記外周線に沿い所定の周期で蛇行しながら周回する基材12と;上記基材の上記表面領域に上記表面領域の円環状延出方向に沿い弾性表面波を励起させる電気音響変換素子22と;を備え、電気音響変換素子の中心が上記表面領域において上記Y結晶軸との交点から上記外周線の延出方向に15度以内の範囲内にある、ことを特徴とする。 (もっと読む)


圧電共振器装置は5つの層を備える。第1層及び第5層は1つまたは複数の金属電極を含む。第2層及び第4層は圧電材料を含む。第3層は金属層を含む。第1層の第1領域において、第1層金属電極は、1つまたは複数の第1層金属電極の1つと第1層金属電極の無い空間とを含む1次元に沿った第1層周期的構造を含む。第5層の第2領域において、第5層金属電極は、1つまたは複数の第5層金属電極の1つと第5層金属電極の無い空間とを含む1次元に沿った第5層周期的構造を含む。第1層周期的構造及び第5層周期的構造は、1つまたは複数の第5層金属電極の1つが第1層金属電極の無い空間の下に中心が置かれ、1つまたは複数の第1層金属電極の1つが第5層金属電極の無い空間上に中心が置かれるように配列されるか、または1つまたは複数の第5層金属電極の1つが第1層金属電極の下に中心が置かれるように配列される。
(もっと読む)


【課題】 整合回路での弾性表面波の損失を抑制できる球状弾性表面波モジュールを提供すること。
【解決手段】 球状弾性表面波モジュールは、球面の周回帯の一部である円弧状帯12を定義可能な3次元基材13と、円弧状帯12上に設けられ、円弧状帯12に沿って弾性表面波14を励起する電気音響変換素子15とを有する球状弾性表面波素子11と、球状弾性表面波素子11に接続された整合回路20とを具備してなり、整合回路20での弾性表面波14の損失が減少するように、整合回路20の入力端での反射損失を増加させたことを特徴とする。 (もっと読む)


バルク音響共振器アセンブリおよびその共振器アセンブリを製造するための方法を提供する。共振器は、基板の第1の表面上にキャビティを含み、低音響損失材料のシートがキャビティに亘って懸吊される。低音響損失材料のシートは、低音響損失材料のシートの関連される基本周波数が、基板の第1の表面に平行する方向における低音響損失材料のシートの長さに応じるように構成される。トランスデューサは、低音響損失材料のシート上に電気機械層、および電気機械材料上に形成されたパターニングされた導電材料を含む。トランスデューサは、電気信号を導電パターンに付与すると、低音響損失材料において振動を誘発するように構成される。 (もっと読む)


【課題】製造効率を向上することができる弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】(a)互いに平行な一対の主面10a,10bを有する圧電基板10と、(b)圧電基板10の一方の主面10aに形成された、IDT電極20を含む素子パターンと、(c)圧電基板10の他方の主面10bに形成された、圧電基板10の線膨張係数より小さい線膨張係数を有する支持層16とを備える。IDT電極20による弾性表面波が伝搬する方向に見たとき、圧電基板10の他方の主面10bのうち、弾性表面波が伝搬する振動領域に対向する部分と該部分に隣接する部分との境界付近に段差12xが形成されるように、弾性表面波が伝搬する方向と平行に延在する溝12が形成されている。 (もっと読む)


【課題】ダムを利用してフィルター部における配置及び配線の自由度を向上させることにより小型化が可能なSAWデバイスを提供すること。
【解決手段】SAWデバイス1は、実装基板20と、導体バンプ14と、実装基板20にフリップチップ実装されたSAWチップ10と、SAWチップ10を被覆する封止樹脂30と、を含み、さらに、金属又は合金で構成され、封止樹脂30の流入を阻止するためのダム15が設けられている。SAWチップ10の圧電基板11には、直列に接続されたSAWフィルター40と50を含むフィルター部12が形成されている。SAWフィルター40、50は、縦結合1次−3次DMSフィルターとして構成され、SAWフィルター40のIDT43の櫛形電極43a及びIDT45の櫛形電極45aと、SAWフィルター50のIDT53の櫛形電極53b及びIDT55の櫛形電極55bとがダム15と配線接続されている。 (もっと読む)


【課題】 表面弾性波型振動センサの感度を、共振周波数以外の周波数領域で向上させ、かつ無線通信可能な距離を伸ばすこと。
【解決手段】 SAW電極3を備え、片持ち梁構造となる圧電材料躯体1の形状を、検知すべき所望の周波数に応じつつ、くさび型形状とすることにより、躯体の支持部2から先端部に行くに従って躯体の厚みが変化するために、片持ち梁構造の支点と重心の距離が、直方体形状の圧電材料を用いた場合に比較して変わることによる重り効果で、外部振動が加わった際のSAW電極3の振動の強度が増大し、センサの感度を向上させ、かつ無線通信可能な距離を伸ばすことができる。 (もっと読む)


【課題】従来の平坦な弾性表面波コンボルバ素子に比べ、遥かに長い全面電極の長さを設定出来、より高い性能を発揮できる、弾性表面波コンボルバ素子を提供することである。
【解決手段】弾性表面波コンボルバ素子10は:弾性表面波ASWが励起可能であり、球面の一部により円環状に規定され励起された弾性表面波が周回可能な少なくとも1つの弾性表面波周回路12aを含む弾性表面波周回基体12と;弾性表面波周回路に弾性表面波周回路に沿った相互に正反対の方向に伝搬する2つの弾性表面波を励起させる弾性表面波励起手段14と;そして、弾性表面波周回路に配置され、弾性表面波周回路を相互に正反対の方向に伝搬した2つの弾性表面波が重畳され畳み込み積分出力を生じさせる全面電極16と;を備えている、ことを特徴としている。 (もっと読む)


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