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【課題】円弧状帯を定義可能な三次元基材に電気音響変換素子を設け、電気音響変換素子から励起される弾性表面波を円弧状帯に設けられた反射器で反射して弾性表面波の伝搬経路を制限するとともに、温度係数が0でない場合に、センサの感度に対する温度変化の影響を補償することが可能な球面弾性表面波センサを提供する。
【解決手段】
円弧状帯を定義可能な三次元基材と、その円弧状帯上に位置しそれに沿って弾性表面波を励起する電気音響変換素子と、円弧状帯に沿って反射する反射器と、少なくとも一部が円弧状帯の電気音響変換素子と反射器間に存在し周囲の環境変化に反応する感応膜とを備えたセンサヘッドと、高周波発生部と、高周波信号を計測する検出・出力部とを備える球面弾性表面波センサを提供する。 (もっと読む)


【課題】
従来の弾性表面波素子では、一方の櫛形電極により発生された弾性表面波は基材の平坦な表面上を他方の櫛形電極に向かい伝搬する間に上記表面上で弾性表面波の伝搬方向と直交する方向に拡散し弱まってしまう。この為に弾性表面波の伝搬損失を小さくすることが出来なかった。
【解決手段】
球面の周回帯の一部である円弧状帯を定義可能な3次元基材と、前記3次元基材の前記円弧状帯上に位置し、前記円弧状帯に沿って弾性表面波を励起する電気音響変換素子と、前記弾性表面波を前記円弧状帯に沿って反射する反射器を有する弾性表面波素子を提供する。 (もっと読む)


【課題】 温度変化による静電気の発生が少なく、電荷が発生しても速やかに自己中和できるタンタル酸リチウム単結晶を圧電基板として用いた弾性表面波フィルタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 銅、マンガン、コバルト、ニッケル、イットリウムから選ばれる一種の添加元素を、0.01wt%以上1.00wt%以下の割合で含有し、表面電荷を自己中和し除去する自己電荷中和特性を有するタンタル酸リチウム単結晶から作製された圧電基板を有する。 (もっと読む)


【課題】 表面弾性波素子及び実装基板間を封止している封止樹脂が表面弾性波素子の励振部に至るまで流入するのを防止できる表面弾性波装置を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる表面弾性波装置1は、表面弾性波素子2がバンプ4を実装基板3に介して接続され、表面弾性波素子2の外周縁を封止樹脂5で封止した構成を有し、表面弾性波素子2の励振部6と実装基板3との間には振動空間7が確保されたものであって、表面弾性波素子2には、バンプ4及び励振部6を取り囲んだ外側樹脂流入防止堰9と、励振部6を取り囲んだ内側樹脂流入防止堰10とが設けられており、外側樹脂流入防止堰9の高さh1はバンプ4の高さh2と実装基板3に形成された電極ランド8の高さh3との合算高さh4より低く設定され、かつ、内側樹脂流入防止堰10の高さh5はバンプ4の高さh2より低く設定されていることを特徴とする。
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【目的】本発明は、圧電性基板或いは圧電性薄膜基板表面上に、弾性表面波を励振または受信するすだれ状電極を有する弾性表面波機能素子において、グレーティング薄膜を用いたダウン方向分散型すだれ状電極とアップ方向分散型すだれ状電極を用いた、分散型すだれ状電極を分割し、一方向性が得られる長さに分割し、これを並列に配置することにより、電極上を伝搬することによる伝搬損失を軽減することにより、広帯域・低損失・超角型で位相特性に優れた弾性表面波機能素子が得らることを目的としている。
【構成】図2のように、圧電性基板1の表面にダウン方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極弾性表面波とアップ方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極を一方向性が得られる長さで分割し、これらを対向させたフィルタ、及び距離重み付けを行うことにより、シャープなカットオフ特性をもつ弾性表面波フィルタが本特許の構成図である。 (もっと読む)


【課題】SH型弾性境界波を利用しており、煩雑な工法を採用することなく得ることができ、広帯域のフィルタや共振子に適した電気機械結合係数を得ることができる弾性境界波装置を得る。
【解決手段】ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2を用いており、該ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2上にIDT4が形成されており、IDT4を覆うように誘電体3が形成されており、ニオブ酸カリウム系単結晶基板2と誘電体3との境界を伝搬するSH型弾性境界波を利用しており、ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2のオイラー角(φ,θ,ψ)が、図2、図5、図8、図11、図14、図17、図20、図23、図26、図29、図32、図35、図38、図41、図44、図47、図50、図53または図56のそれぞれにおいて、電気機械結合係数Kが9%であることを示す線及び該線よりも電気機械結合係数Kが高い領域内のいずれかにある、弾性境界波装置1。 (もっと読む)


【課題】弾性境界波を利用しており、煩雑な工法を必要とせず、広帯域のフィルタや共振子に適した電気機械結合係数を得ることができる弾性境界波装置を得る。
【解決手段】ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2を用いており、該ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2上にIDT4が形成されており、IDT4を覆うように誘電体3が形成されており、ニオブ酸カリウム系単結晶基板2と誘電体3との境界を伝搬するP+SV型弾性境界波としてのストンリー波を利用しており、ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2のオイラー角(φ,θ,ψ)が、図2、図5、図8、図11、図14、図17、図20、図23、図26、図29、図32、図35、図38、図41、図44、図47、図50、図53または図56のそれぞれにおいて、電気機械結合係数Kが9%であることを示す線及び該線よりも電気機械結合係数Kが高い領域内のいずれかにある、弾性境界波装置1。 (もっと読む)


【課題】 弾性表面波の横方向(伝搬方向に直交する方向)の漏洩波を抑制して挿入損失を向上させ、高品質な平衡型弾性表面波フィルタとしても機能する弾性表面波装置及び通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、圧電基板1上に、圧電基板1上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたIDT電極3〜5と、IDT電極3〜5の両側にそれぞれ配置され、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極6,7とを有する弾性表面波素子2が形成されており、反射器電極6,7は、弾性表面波の波長の半分以下の幅を有するバスバー電極11,12が反射器電極6,7の電極指13,14の形成領域の内部に伝搬方向に沿って形成されている。 (もっと読む)


【課題】ほう酸リチウム単結晶基板を用いたSAW素子の特性劣化を最小に留め、かつ基板の耐湿信頼性を確保し得るように絶縁膜で基板表面を被覆する。
【解決手段】SAW素子10は、四ほう酸リチウム単結晶の圧電基板11に電極膜16を形成し、その上に形成したレジストパターン17を用いて電極膜をエッチングしてIDT12を形成し、露出した基板表面をオーバエッチングしかつ残存するレジスト材料を除去した後、IDTを含む基板上にSiOの絶縁膜を形成する。オーバエッチングの深さdを0.005〜0.035μmとし、絶縁膜の厚さtをt>dかつ350Å<t<900Åに設定する。更に絶縁膜の厚さtを電極膜の厚さTに関して0.18T<t<0.42Tを満足するように設定する。 (もっと読む)


【課題】従来の弾性表面波フィルタでは電極指対数を数百対程度に増やすと逆に特性が劣化するという問題があった。
【解決手段】弾性表面波フィルタ10は、ランガサイト単結晶基板18上に入力側斜め電極指11,12と、出力側斜め電極指13,14と、を有している。入力側斜め電極指11,12は、それぞれの幅がλ/4の正電極指及び負電極指をλ/4のエッジ間隔をおいて交互に配置したシングル電極指であり、出力側斜め電極指13,14は、それぞれの電極指の幅がλ/8の正電極指及び負電極指を二本づつエッジ間隔がλ/8となるように交互にすだれ状に配置した斜め電極指を形成するダブル電極指である。さらに、入出力の電極指構造の違いにより生じる平均音速の違いをそれぞれの電極指のピッチを変化させて補正する。 (もっと読む)


【目的】本発明は、圧電性基板または或いは圧電性薄膜基板表面上に、弾性表面波を励振または受信するすだれ状電極を有する弾性表面波機能素子において、グレーティング薄膜を用いたダウン方向分散型すだれ状電極とアップ方向分散型すだれ状電極を用いた、距離重み付け弾性表面波フィルタに関するもので、広帯域・低損失・超角型で位相特性に優れた弾性表面波機能素子が得らることを目的としている。
【構成】図7のように、圧電性基板1の表面にダウン方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極弾性表面波とアップ方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極を対向させた、距離重み付け弾性表面波フィルタが本特許の構成図である。 (もっと読む)


【課題】スペクトラム拡散通信方式によりデータ信号及びクロック信号を伝送する信号伝送装置において、信号の高速伝送におけるジッタの発生を抑制又は低減させる。
【解決手段】スペクトラム拡散したデータ信号及びクロック信号を伝送する信号伝送装置は、送信部1と受信部と2の間を接続するデータ信号伝送路3及びクロック信号伝送路4と、該クロック信号伝送路に設けられた共振子型のSAWフィルタ5とを備える。SAWフィルタは、体積抵抗率10〜1013Ω・cmのリチウムタンタレート又はリチウムナイオベートからなる圧電基板と、該圧電基板の表面に形成されたIDTとを有する。これにより、伝送路の前段及び後段に配置されるIC等の動作を安定させ、更に伝送路の前段又は後段のIC等から発生した静電気を中和する機能をも備える。 (もっと読む)


【課題】良好な周波数温度特性と広い周波数帯域を有し、簡素な構成で小型化を実現するラム波型高周波共振子を用いた変調器を提供する。
【解決手段】変調器1は、水晶基板20の主面に、一組の櫛歯状のIDT電極30と該IDT電極のラム波の進行方向両側に配設される反射器40,50とを有するラム波型高周波共振子10と、IDT電極30と接続される第1発振回路80、第2発振回路81と、入力端子96から入力されるデジタル変調信号に対応して第1発振回路80、第2発振回路81からの出力信号を選択出力する切替回路90と、が備えられ、選択された出力信号を出力端子95から出力する。 (もっと読む)


【課題】SAW装置内にて固体表面における表面音響波の音響速度を制御することにより、中心周波数を制御する装置を提供する。
【解決手段】装置100は、表面音響波(「SAW」)装置102、直流バイアス電圧源104、基板106、電極108、圧電層110、電極112、入力変換器114及び出力変換器116を備えている。直流バイアス電圧源104により、電極108と電極112との間に直流バイアス電圧を印加し、表面音響波の音響速度を制御する電界を圧電層110内に形成することにより、SAW装置102の中心周波数を制御する。 (もっと読む)


【課題】 通過帯域内の挿入損失が向上し、リップル発生を抑制することのできる、優れた特性の弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子31の3個のIDT電極2〜4の不平衡入力端子側12または不平衡出力端子12側のバスバー電極に接続された接地用引き出し配線27と、不平衡入力端子12または不平衡出力端子12と弾性表面波素子31とを接続した全ての信号用引き出し配線19,20とが、絶縁体15,16を介して交差して配設された交差配線部23,24をそれぞれ形成しており、交差配線部23、24は、3個のIDT電極2〜4において中央に配設されたIDT電極3を中心に対称的に形成されているとともに、各々の交差配線部23,24によって生じる抵抗が略同じである。 (もっと読む)


【課題】 通過帯域内でのリップル発生を低減させ、また通過帯域の平衡度を向上できる優れた特性の弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子31,32が複数段、縦続接続されており、初段の素子31の中央のIDT電極3は不平衡信号端子12に接続され、最終段の素子32の中央のIDT電極6は櫛歯状電極の一方が2分割されてそれぞれに平衡信号端子13,14が接続されており、素子31,32のIDT電極の段間側のバスバー電極に接続された接地用引き出し配線27,28と、素子31,32同士を縦続接続した全ての信号用引き出し配線20,21とが、絶縁体16〜19を介して交差して配設された交差配線部23〜26を形成しており、交差配線部23〜26はIDT電極2〜4及び5〜7のIDT電極3,6を中心に対称的に形成され、各交差配線部23〜26によって生じる抵抗が略同じである。 (もっと読む)


【課題】特性劣化が少なく、小型化が可能なランタンガリウム珪酸塩結晶基板を用いた弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【解決手段】直交系結晶軸(x,y,z)をオイラー角(φ,θ,ψ)によって座標変換を行った後の座標系を(x1,x2,x3)とすると、x3軸に垂直な結晶切断面が基板表面となり、x1軸が弾性表面波の伝搬方向となるランガサイト基板10が得られる。弾性表面波フィルタ100には、このようなランガサイト基板10上に斜め電極指を構成する入力側すだれ状電極12,14と、同様に斜め電極指を構成する出力側すだれ状電極16,18と、が位相速度の伝搬方向であるx1軸に対してパワーフロー角(PFA)傾けた群速度の伝搬方向に沿って配置されている。 (もっと読む)


【課題】基板に対して垂直な側面を有する電極を形成して、弾性表面波の反射を大きくする。
【解決手段】LBOウエハ36の表面に電極用金属膜38を形成する成膜工程と、金属膜38の上にフォトレジスト膜40を形成するレジスト膜形成工程図と、レジスト膜40を露光、現像して所定の形状にパターニングするマスク形成工程と、パターニングしたレジスト膜40をマスクにして金属膜38の露出部に、予め定めたガスのプラズマを照射して金属膜38を除去し、LBOウエハ36を露出させるとともに、露出させたLBOウエハの表層部を除去するエッチング工程と、LBOウエハの露出部を水洗し、LBOウエハ36に生じたプラズマによるダメージ層46を除去する洗浄工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】バルク波に基づくスプリアスを低減できるようにする。
【解決手段】弾性表面波素子片10は、圧電基板12にすだれ状電極からなるIDT14、16を有する。圧電基板12は、オイラー角を(φ,θ,ψ)としたときに、カット角が(45°,90°,80°〜100°)(ただし、ψ=90°を除く)または(135°,90°,80°〜100°)(ただし、ψ=90°を除く)である四ホウ酸リチウムからなっている。すだれ状電極からなるIDT14、16は、IDT14によって圧電基板12に励振されたバルク波の群速度方向と異なる方向に沿って配置してある、 (もっと読む)


【課題】入力信号とバイアス電圧を電気的に分離するフィルタを接続することなく、表面弾性波を励振することができる表面弾性波デバイスおよび該表面弾性波デバイスを有する集積回路を提供することにある。
【解決手段】トランスバーサルフィルタ10は、サファイア基板11と、GaNからなる伝搬層12と、GaNと比較して広いバンドギャップを持つAlGaNからなるバリア層13と、バリア層13の表面に形成された一対の櫛形電極16a、16bとを有する。更に、一対の櫛形電極16a、16b間にゲート電極16を形成した。 (もっと読む)


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