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Fターム[5J097FF01]の内容

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【課題】周波数の温度係数および/または導波路特性に関して改良された、導波路層およびこれに隣接する外套層を有するマイクロ音響デバイスを提供する。
【解決手段】第1の音響波速度VLをもつ導波路層WLと、該導波路層に直接隣接し、第2の音響波速度VM1を有する第1の外套層M1とを有しており、導波路で音響波を励起するために電極E1を備えており、波速度について式VL<VM1が成り立っており、導波路層は異常熱機械挙動をもつ成分を含むガラスであり、導波路層WLは二酸化ゲルマニウム、カルコゲナイドガラス、またはメタリン酸亜鉛を成分として有している。 (もっと読む)


【課題】挿入損失が少なく、効率の高い弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波の逆速度面が凹となる圧電基板12と、この圧電基板の表面に設けられた一対の櫛形電極15を有する弾性波共振器13とを備え、前記一対の櫛形電極は、対向する一対の共通電極16と、前記それぞれの共通電極から他方の共通電極側に交互に延出された複数の電極指17とを有し、前記電極指が交差する領域を交差領域とし、前記電極指の先端と対向する櫛形電極との間のギャップ19を結ぶ領域をギャップ領域としたとき、前記交差領域における圧電基板の表面の高さよりも圧電基板の表面の高さが低くなるように前記ギャップ領域に段差25を設けたものである。 (もっと読む)


【課題】Q値を向上させ、弾性表面波共振子の小型化を可能とする。
【解決手段】水晶基板上に弾性表面波を励振する電極指を有するIDTが設けられた弾性表面波共振子において、IDTは、中央部に配置された第1領域と、第1領域の両側に配置された第2領域および第3領域とを備え、第1領域では周波数が一定であり、第2領域および第3領域ではIDTの端部に近づくに従い周波数が順次低くなる部分を含み、第1領域における周波数をFa、第2領域における端部の周波数をFbM、第3領域における端部の周波数をFcN、としたとき、0.9815<FbM/Fa<0.9953、かつ、0.9815<FcN/Fa<0.9953、である。 (もっと読む)


【課題】製造の容易さを有し、かつ通過周波数帯域での損失が小さいワンチップ漏洩表面弾性波分波器を提供する。
【解決手段】直列腕共振器102−7、102−8、102−9と並列腕共振器103−5,103−6から成る梯子型バンドパスフィルタ107−1、および多重モード型共振器104−1、104−2,104−3、104−4から成る多重モード結合型バンドパスフィルタ107−2から構成される分波器101−1において、直列腕共振器102−7、102−8、102−9のメタライゼーションレシオを多重モード型共振器104−1、104−2,104−3、104−4のメタライゼーションレシオまたは並列腕共振器103−5,103−6のメタライゼーションレシオより大きい値に設定する。 (もっと読む)


【課題】低コストで、電気機械結合係数が向上された弾性表面波デバイス用圧電基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】タンタル酸リチウム単結晶又はニオブ酸リチウム単結晶からなる弾性表面波デバイス用圧電基板であって、該弾性表面波デバイス用圧電基板は、引き上げ法により得られたコングルエント組成のタンタル酸リチウム単結晶又はニオブ酸リチウム単結晶からなる基板の表層に、リチウムが拡散されたものであり、該リチウムが拡散された表層の厚さは、弾性表面波の波長で規格化した値で3〜15波長の範囲である弾性表面波デバイス用圧電基板。 (もっと読む)


【課題】弾性波センサのセンシングの正確性を向上させる。
【解決手段】第2のIDT電極5が励振する弾性波が圧電基板2と誘電体膜7との境界を伝搬する境界波となる弾性境界波素子でリファレンス部を構成するにより、弾性波センサ1に対し検出対象物質を含む可能性のある物質(呼気、検査液等)を接触させる際、リファレンス部を構成する第2のIDT電極5に検出対象物質等が付着することを防止する。これにより、この付着物による特性変化が抑制されるため、第2のIDT電極5で構成するリファレンス部のセンシングの正確性を向上させることができる。その結果、弾性波センサ1のセンシングの正確性が向上する。 (もっと読む)


【課題】弾性表面波デバイス用のキャップ基板であるパッケージ材料に穴を形成する際に、目的とする径長さ通りの穴径を有する穴を正確に形成することができ、さらに放熱性にも優れるパッケージ材料、またそれから製造されるウエハレベルパッケージ弾性表面波デバイス接合ウエハ、及びそれから切断されることによって得られ、電気特性と信頼性を確保したまま小型化及び低背化でき、さらにはモジュール搭載が可能であるウエハレベルパッケージ弾性表面波デバイス並びにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、圧電性が消失された単結晶圧電基板2に穴3が形成され、かつ基板外部よりLiが拡散されたものであることを特徴とする弾性表面波デバイス用ウエハレベルパッケージ材料1。 (もっと読む)


【課題】発振器における小型化の推進、生産性の向上を図ることが可能で、周波数可変幅のばらつきを抑制できるSAW素子、このSAW素子を備えた発振器及び電子機器の提供。
【解決手段】SAW素子1は、水晶基板10と、水晶基板10の主面11に形成されたIDT電極20と、水晶基板10の主面11に形成され、IDT電極20と隣り合う反射器30,31と、水晶基板10の主面11に形成されると共に、一端がIDT電極20と接続されたスパイラルインダクター40と、を備え、スパイラルインダクター40は、水晶基板10に必要な周波数可変感度を得るための定数を有していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】主振動とは発振周波数が異なる副振動の発生を抑える圧電振動子の提供。
【解決手段】厚みすべり振動を主振動とする水晶片10の両面に夫々励振電極21,22が形成された水晶振動子1において、前記励振電極21における副振動が発生する部位に、孔部25を形成すると共に水晶片10における孔部25に対応する領域に凹部11を形成する。あるいは水晶片10における副振動が発生する部位に凸部を設ける。凹部11または凸部は水晶振動子の中心に対して対称に設けることが好ましい。これにより、副振動が減衰し、かつ副振動の発振周波数が高周波側に移動する。 (もっと読む)


【課題】信頼性の高い弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、絶縁性基板11と、弾性波を励振する振動部22を有し、振動部22が絶縁性基板11と対向し、かつ振動部22が空隙51に露出するように、絶縁性基板11の上面に実装された弾性波デバイスチップ20と、振動部22を囲むように設けられ、絶縁性基板11と弾性波デバイスチップ20とを接合する接合部と、を具備し、接合部は、半田32と、半田32より高い融点を有しかつ絶縁性基板11の上面のコプラナリティより大きな厚さを有する金属層42と、を積層して形成されている弾性波デバイスである。 (もっと読む)


【課題】電気的抵抗損失が少なく、電極膜厚を厚くしても大きな電気機械結合係数kを得ることを可能とするSH波を利用した弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】上面と下面とを有し、上面に溝が形成されている水晶基板2と、前記溝内に充填されている金属層3aを有し、該金属層3aがアルミニウムよりも密度の重い金属からなるIDT電極4とを備え、SH波を利用している弾性表面波装置1。 (もっと読む)


【課題】良好な周波数温度特性を実現するとともに、周波数のバラつきを抑制可能な弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】弾性表面波共振子は、オイラー角(−1.5°≦φ≦1.5°,117°≦θ≦142°,42.79°≦|ψ|≦49.57°)の水晶基板と、前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を含み、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するIDTと、を備え、平面視で、前記電極指の間の位置に、前記水晶基板の窪である電極指間溝を配置し、前記電極指間溝の間に配置されている前記水晶基板の凸部のライン占有率をηg、前記凸部上に配置されている前記電極指のライン占有率をηeとし、前記IDTの実効ライン占有率ηeffを前記ライン占有率ηgと前記ライン占有率ηeとの相加平均とした場合、下記式の関係を満たす。


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【課題】温度特性の改善効果が高く、比較的低コストで製造可能であり、圧電基板と支持基板との組み合わせも1組に限定されない複合基板を提供する。
【解決手段】複合基板10は、圧電基板12と支持基板14とを接着層16を介して接着されている。接着層16は、アルコキシシリルを含む置換基を有する1,3,5−トリアジン−2,4−ジチオールのアルカリ金属塩(例えば6−トリエトキシシリルプロピルアミノ−1,3,5−トリアジン−2,4−ジチオールのモノナトリウム塩)を主成分とする分子接着剤を硬化したものである。 (もっと読む)


【課題】弾性波デバイスの開発及び製造の費用を削減すると共に、その設計自由度を高める技術を提供すること。
【解決手段】SAW共振子11〜16と信号路2とが同一基板上に形成される弾性波デバイスを用いたフィルタ回路において、SAW共振子11〜16により決定される通過域の中心周波数の仕様は限られているが、一方で信号路2の設計により決定される阻止域の性能については要求される仕様が多様である。そこで、その形成において、高コストである精度の高いフォトマスクが必要でありまた材質や膜厚などの条件が制限されるSAW共振子11〜16と、SAW共振子に比べてパターン形成における制限が緩やかな信号路2とを別々の工程により形成する。 (もっと読む)


【課題】球状弾性表面波素子を加熱しながらその熱を周囲に放出する程度を計測することによって、ガスの状態の計測を行う用途において、加熱部分と温度計測を行う弾性表面波の周回領域の位置的なズレによる計測精度の低下を抑制した球状弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】球状弾性表面波素子10は、樽型形状の圧電性結晶基材11と、この基材11の弾性表面波周回径路12上に形成されたすだれ状電極13および加熱用配線パターン14とを具備して構成される。 (もっと読む)


【課題】表面ラフネスの増大や構造破壊を防止しつつ、共振周波数を上昇させることができるようにした圧電振動デバイス及びその製造方法、共振周波数の調整方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子10を有する圧電振動デバイスの製造方法であって、前記弾性表波素子10の表面上に波の速度を高める機能膜4を形成する工程、を含む。また、前記機能膜4のヤング率は、励振電極2及び圧電体1の各ヤング率よりも大きく、且つ、前記機能膜4の密度は、前記励振電極2及び前記圧電体1の各密度よりも低い。これにより、質量付加効果による周波数低下の影響を抑えながら、弾性率上昇による周波数上昇を発現させ、弾性表面波素子の共振周波数を上昇させることができる。 (もっと読む)


【課題】動作温度範囲で優れた周波数温度特性と高いQ値とを同時に実現するSAWデバイスを提供する。
【解決手段】SAWデバイス11は、オイラー角(−1.5°≦φ≦1.5°,117°≦θ≦142°,42.79°≦|ψ|≦49.57°)の水晶基板12の主面に、ストップバンド上端モードのSAWを励振するIDT13と、その両側に配置した一対の反射器14と、IDTの電極指15a,15b間に凹設した電極指間溝17と、反射器の導体ストリップ14a間に凹設した導体ストリップ間溝18とを有し、SAWの波長λと電極指間溝の深さGとが0.01λ≦Gを満足し、IDTのライン占有率ηと電極指間溝の深さGとが所定の関係式を満足し、IDTのライン占有率ηと反射器のライン占有率ηrとがη<ηrの関係にある。 (もっと読む)


【課題】 高周波を直接発振させることができると共に、ATカット振動子並みの周波数精度が得られ、発振器を構成した場合において位相雑音やジッタ特性が良好な弾性波素子を提供することである。
【解決手段】 基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角(0±2°、35〜40°、0±2°)によってカット形成された水晶基板12と、この水晶基板12の表面に板波を励振させる少なくとも1つの櫛形励振電極13と、裏面に周波数の調整を行う周波数調整膜14とを備え、位相速度が4500〜6000m/sの範囲にある板波の温度特性が25℃付近に変曲点を持つ略3次温度特性になるように櫛形励振電極13と周波数調整膜14の膜厚を調整した。 (もっと読む)


【課題】複合圧電基板において異種の材料の熱膨張率の違いに起因する熱応力による反りを抑制し、クラックやハガレの発生を抑制することができる複合圧電基板、及び該複合圧電基板から作製される弾性表面波素子の提供。
【解決手段】圧電基板2と剛体板3が、直接又は接着層4を介して接合された複合圧電基板1であって、前記圧電基板2の外周部の厚さは中央部よりも薄く、前記剛体板3の外周部の厚さは中央部よりも厚いものである複合圧電基板1。 (もっと読む)


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