【課題】 平衡型端子を有する半導体デバイスに直接接続することができるアンテナ共用器を提供すること。
【解決手段】 送信フィルタ１０１に接続される送信端子Ｔｘおよび受信フィルタ１０３に接続される受信端子Ｒｘの内、一方の端子が平衡型端子であり、他方の端子が不平衡型端子である。送信フィルタ１０１および受信フィルタ１０３は、弾性表面波共振器または音響薄膜共振器を含む構成である。平衡型端子には、縦モード結合型の弾性表面波フィルタ７００が接続されている。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波チップとその周辺との電気的接続を効率よく、確実に行うことができる弾性表面波装置と、その製造方法をすること。
【解決手段】 圧電基板の一面にすだれ状電極３３が形成された弾性表面波チップ３１と、この弾性表面波チップを気密に収容するパッケージ４０とを備えた弾性表面波装置３０であって、前記弾性表面波チップが、前記すだれ状電極と一体の引出し電極３５と、前記引出し電極と接続される電極パッド３６とを有しており、前記電極パッド３６が、電極面となる第１の金属層５１と、第１の金属層５１の密着性を向上させるための第２の金属層５２とを備え、前記引出し電極が、前記電極パッドの前記第１の金属層の表面側に回り込むように配置されている構造。 （もっと読む）

【課題】 通過帯域外減衰特性の優れた弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】 下面に励振電極３，４とこれら励振電極３，４を取り囲む環状接地電極６とが形成された圧電基板17が、上面に環状接地電極６に対応した環状接地導体７が形成され、環状接地導体７の一部に対向する、内部接地導体層10および下面接地導体層11の少なくとも一方が形成された基体５に、圧電基板17の下面と基体５の上面とを対面させて環状接地電極６が環状接地導体７に接合されて実装されているとともに、第１励振電極３の接地端子は環状接地電極６を介して、環状接地導体７と内部接地導体層10および下面接地導体層11の少なくとも一方とを含む第１接地用導体に接続されており、第２励振電極４の接地端子２は第１接地用導体とは直流的に分離された内部接地導体層10および下面接地導体層11の少なくとも一方を含む第２接地用導体に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 送信側フィルタおよび受信側フィルタを同一の圧電基板上に作製した弾性表面波素子を用いた弾性表面波装置ではアイソレーション特性が悪かった。
【解決手段】 弾性表面波装置の弾性表面波素子１において、従来、圧電基板２の励振電極３形成面とは異なる他方主面の全面に、弾性表面波素子１の作製工程で発生する焦電破壊を防止するために設けていた導体層を、キャリア移動度の小さい半導体層22に代えることにより、送信側フィルタ領域12の入力パッドおよび受信側フィルタ領域13の出力パッドとの間に形成されていた寄生容量を低減することができる。これにより、アイソレーション特性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】 複数の周波数帯の電波を１つの受信機で受信することができ、小型、薄型化を実現することができる受信機を提供する。
【解決手段】 上記課題を解決するための受信機は、スーパーヘテロダイン方式を採用した受信機であって、局部発振器の構成を、圧電基板上に配置した一対の反射器と、前記一対の反射器の間に並列して設けられる櫛歯状電極から成る一対のＩＤＴとを有するＳＡＷ共振子と、前記ＳＡＷ共振子に配設された一対のＩＤＴに並列接続する増幅器とから成り、前記一対のＩＤＴのいずれか一方のＩＤＴを構成する一対の前記櫛歯状電極のそれぞれと、前記増幅器との間に設けた一対の切替回路と、入力した周波数選択信号に基づいて前記切替回路を同期して切り替え、前記一対の櫛歯状電極の一方を前記増幅器の入力側または出力側に接続し、前記一対の櫛歯状電極の他方を前記増幅器の出力側または入力側に接続する制御部とを有するものとしたことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、フィルタを有する音響素子に関しており、ここでこの素子は、変換器および反射から互いに独立して選択される素子構造を有している。これらの素子構造は、共通の１基板に配置されている。各素子構造は、層構造の組成が統一されており、また層厚が統一されている。ここで２つの素子構造は、組成および／または層厚が互いに異なる。
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【課題】 高電力の信号が入力されることによる発生した熱の放熱性に優れた弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】 圧電基板１上に、ＩＤＴ電極２と、ＩＤＴ電極２の弾性表面波の伝搬方向の両側に配された反射器９と、ＩＤＴ電極２および反射器９を取り囲み反射器９に接続された環状導体17とを形成した弾性表面波素子である。高電力の信号が入力されて発熱するＩＤＴ電極２からの放熱経路が、圧電基板１と圧電基板１を実装する配線基板とを接続する導体部に加えて反射器９を介して環状導体17に確保できるため放熱性に優れたものとなり、その結果、耐電力性に優れ、信頼性の高いものとなる。 （もっと読む）

【課題】高周波帯に用いられるＳＡＷデバイスにおいて、電極膜厚を厚くした時の膜厚ばらつきによる特性変動の抑圧を図る。
【解決手段】圧電基板１上にそれぞれ互いに間挿し合う複数本の電極指を有する一対のくし形電極により構成されたＩＤＴ２と、該ＩＤＴ２の両端に反射器３ａ、３ｂを配置し、前記ＩＤＴ２をマグネシウム、又はマグネシウムを３０ｗｔ％以上含有した合金からなる単層膜で形成し、ＩＤＴ２のＳＡＷの波長λで規格化した電極膜厚を４％λ以上とした時に、電極指の幅を０．３７５±０．０２５λに設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＳＨ型弾性表面波デバイスの挿入損失に関し、最適化電極膜厚を得る。
【解決手段】 オイラー角（０°，１１０°〜１５０°，９０°±２°）の水晶基板上にアルミニウムを主成分とする合金のＩＤＴ電極及びグレーティング反射器を複数個備えたＳＨ型弾性表面波デバイスであって、前記ＩＤＴ電極及びグレーティング反射器の実効膜厚Ｈ＝Ｈ_０・２Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）（Ｈ_０は規格化膜厚、Ｌはライン幅、Ｓはスペース幅）が３％λから４．５％λ（λは波長）の範囲にあるように設定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、焦電性による放電破壊を抑制防止する構造を実現するとともに、弾性表面波デバイスの特性をウエハ状態で高精度に測定検査することができる弾性表面波デバイスおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧電基板の電極を形成する面に酸素欠乏層を有する構成とすることにより、放電破壊を抑制しながらウエハ状態で特性検査を可能とする弾性表面波デバイスおよびその製造方法を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 チップに保護膜を設けても、ワイヤボンディングの信頼性を確保しつつチップの小型化を図ることができる弾性表面波装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１２と、基板１２上に形成されたＩＤＴ１４，１５と、ＩＤＴ１４，１５に接続されたパッド１３ａ，１４ａ，１４ｓ，１５ａ，１５ｓと、を有するＳＡＷチップ１１と、ランド２１ａ〜２５ａを有するパッケージ２０と、ＳＡＷチップ１１のパッド１３ａ，１４ａ，１４ｓ，１５ａ，１５ｓとパッケージ２０のランド２１ａ〜２５ａとを接続するボンディングワイヤ３０と、パッド１３ａ，１４ａ，１４ｓ，１５ａ，１５ｓとボンディングワイヤ３０との接続部分に塗布されて硬化した第１のシリコーン系樹脂４０と、第１のシリコーン系樹脂４０が硬化する際にＳＡＷチップ表面に形成された厚さ１００ｎｍ未満の第２のシリコーン系樹脂とを備える。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板１上にインターディジタルトランスデューサとなる電極２が形成されている弾性表面波素子において、耐電力性の向上を図る。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波素子においては、圧電基板１上の電極２が、下部Ｔｉ層３、Ｍｏ若しくはＷ又はこれらの金属の合金からなる中間金属層４、上部Ｔｉ層５、及びＡｌ若しくはＡｌ合金からなる上部導電層６を順次積層して構成される。ここで、下部Ｔｉ層３の厚さＡは、１０ｎｍ以上、３０ｎｍ以下であり、中間金属層４の厚さＢは、３５ｎｍ以上、６５ｎｍ以下であり、上部Ｔｉ層５の厚さＣは、１０ｎｍ以上、３０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 縦２重モード型の共振子型ＳＡＷフィルタにおいて、１／４波長電極を用いながら、電極指のもつ反射係数を相殺低減して、従来より通過帯域幅の広い共振子型ＳＡＷフィルタを提供する。
【解決手段】 共振子型ＳＡＷフィルタにおいて、入力側すだれ状電極および出力側すだれ状電極は、前記弾性表面波の波長をλとして電極幅Ｌがほぼλ／４で構成され、
かつ前記の入力側すだれ状電極および出力側すだれ状電極は、２種類の異なる区間Ａと区間Ｂとを交互に配置してなり、
前記区間Ａは、電極幅寸法Ｌと電極間寸法Ｓの和である電極周期長ＰをＰ＝Ｌ＋Ｓとした場合に、電極周期長ＰがＰＡかつすだれ状電極の対数ＭＡが１対であり、
前記区間Ｂは、前記電極周期長ＰがＰＢかつすだれ状電極の対数ＭＢが１対であり、かつ区間Ａと区間Ｂの電極指はいずれも給電導体に接続し、
さらに、前記制御用すだれ状電極はそれらの電極周期長ＰＣがＰＡと異ならしめて形成しかつすだれ状電極の対数ＭＣが全反射係数が１程度を成す範囲であることを特徴とする共振子型ＳＡＷフィルタ。 （もっと読む）

【課題】 送信側フィルタおよび受信側フィルタを同一の圧電基板上に作製した弾性表面波素子ではアイソレーション特性が悪かった。
【解決手段】 圧電基板２の一方主面にそれぞれ励振電極３と入力パッド部と出力パッド部とを具備する送信側フィルタ領域12および受信側フィルタ領域13が形成され、他方主面に導体層16が形成された弾性表面波素子１を、実装用基体上に一方主面を対面させて実装しており、導体層16は、多数の導体非形成部を点在させて形成されている弾性表面波装置である。従来、圧電基板２の励振電極３の形成面とは異なる他方主面全面に、弾性表面波素子作製工程で発生する焦電破壊を防止するために設けていた導体層16を、多数の導体非形成部を点在させて形成することにより、送信側フィルタ領域12の入力パッド部５および受信側フィルタ領域13の出力パッド部８間に形成されていた寄生容量を低減することができ、これにより、アイソレーション特性を改善することができる。 （もっと読む）

共振周波数や中心周波数の調整が容易であり、周波数温度特性が良好であり、比帯域幅が広くかつ反共振抵抗が高い弾性表面波装置を得る。
電気機械結合係数が１５％以上であるＬｉＴａＯ₃またはＬｉＮｂＯ₃からなる圧電性基板１と、圧電性基板１に形成されており、Ａｌよりも密度の大きい金属もしくは合金からなる金属層を主たる金属層とし、該主たる金属層に他の金属からなる金属層が積層されている積層膜により構成されている少なくとも１つの電極と、前記少なくとも１つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と略等しい膜厚とされている第１のＳｉＯ_２層２とを備え、前記電極の密度が、第１のＳｉＯ_２層２の密度の１．５倍以上であり、前記電極及び第１のＳｉＯ_２層２を被覆するように形成された第２のＳｉＯ_２層６と、前記第２のＳｉＯ_２層６上に形成された窒化ケイ素化合物層２２とをさらに備える弾性表面波装置。 （もっと読む）

フィルタ帯域の急峻化や、比帯域幅の異なる複数帯域のフィルタ、共振子を単一基板上に得ることで、小型で高性能な弾性境界波を用いた弾性境界波装置を提供する。
単結晶基板４上に固体層５が積層されており、単結晶基板４と固体層５との境界に電極が配置されている弾性境界波装置であって、カット角が同じ単結晶基板４を用いて構成された複数の弾性境界波素子２，３が備えられており、弾性境界波素子２の伝搬方位は、弾性境界波素子３の伝搬方位と異なっている、弾性境界波装置１。
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良好な共振特性やフィルタ特性を得ることができ、かつ挿入損失を低減することができる弾性境界波装置を提供する。 第１の媒質層としてのＬｉＮｂＯ_３基板２と、第２の媒質層としてのＳｉＯ_２膜３との境界に、インターデジタル電極４及び／または反射器５，６が配置されている弾性境界波装置において、インターデジタル電極４及び／または反射器５，６のデューティ比をｄとしたときに、０．５４＜ｄ＜０．８９とされている、弾性境界波装置。
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【課題】 高周波、大電力を扱う弾性表面波素子を効率よく製造することが可能な弾性表面波素子の製造方法及び該製造方法により容易かつ確実に製造することが可能な弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】 圧電基板２上にくし歯状電極３に対応するレジストパターンＲを形成し、圧電基板２上及びレジストパターンＲ上に、Ｔｉ又はＴｉを主成分とする合金からなる第１の電極層３１を形成し、さらに、第１の電極層３１上に、(ａ)Ｃｕ又はＣｕを２重量％以上含むＡｌ系金属材料からなる第２の電極層、又は、(ｂ)Ｃｕ又はＣｕを２重量％以上含むＡｌ系金属材料からなる電極層を含む複数層構造の第２の電極層３２を形成した後、リフトオフ工法により、レジストパターンＲとともに第１の電極層３１及び第２の電極層３２の不要部分を除去して、第１の電極層３１と第２の電極層３２を同時にパターニングする。 （もっと読む）