【課題】ＡＴカット水晶振動子と同等かそれ以上の優れた周波数温度特性を有する弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１は、カット角がオイラー角（φ°，θ°，ψ°）による表示で（０±０．２５°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））となる水晶基板２と、水晶基板２上に設けられ、複数の電極指３１ａ、３１ｂを備えるＩＤＴ３（櫛歯電極）と、ＩＤＴ３を水晶基板２とは反対側から覆うように設けられ、ＳｉＯ_２を主成分として構成されたＳｉＯ_２膜６とを有し、ＳｉＯ_２膜６の規格化膜厚ｈｓ／λ（ただし、ｈｓは、ＳｉＯ_２膜６の平均厚さ［ｎｍ］であり、λは、弾性表面波の波長［ｎｍ］である）が、０．００４６〜０．０２３３である。 （もっと読む）

【課題】周波数ばらつきが少ない弾性境界波装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１〜第３の媒質１〜３がこの順序で積層されており、第１の媒質１と第２の媒質２との境界に電極５が配置されている弾性境界波装置の製造方法であって、第１の媒質１と第２の媒質２とが積層されており、第１，第２の媒質１，２の境界に電極５が配置されている積層体を用意し、該積層体段階で、第２の媒質２の膜厚を調整することにより周波数、または弾性表面波、擬似弾性境界波もしくは弾性境界波の音速を調整し、調整後に、第２の媒質と弾性境界波の音速及び／または材料が異なる第３の媒質３を形成する、弾性境界波装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】表面弾性波素子に電気信号を印加したり、表面弾性波素子から信号を検出したりする過程で漏れ電流が発生することを防止することができる表面弾性波素子、表面弾性波装置、及びこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】表面弾性波素子１０は、圧電物質からなる基板２０と、上記基板上に位置し互いに離間する複数の第１電極２２と、上記基板上に上記第１電極２２と離間して位置し互いに離間する複数の第２電極４０、及び上記複数の第１電極２２及び上記複数の第２電極４０のそれぞれに位置する酸化膜２４とを含んでなる。 （もっと読む）

【課題】コンタクト部における接触抵抗を低めることができるだけでなく、例えばフォトリソグラフィー法より製造するに際し、エッチング液による電極の腐食が生じ難い、弾性波装置及びその製造方法の提供。
【解決手段】圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３の電極指部分を含むように第１の積層金属膜１１が形成されており、第１の積層金属膜１１に重なり合う部分においてコンタクト部が形成されており、圧電基板２上に第２の積層金属膜が形成されており、第１の積層金属膜の最上部の金属膜がＴｉ膜であり、第２の積層金属膜１２の最下層の金属膜がＴｉ膜であり、コンタクト部ＣにおいてＴｉ膜同士が接触されている、弾性波装置１。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数の周波数特性を有すると共に、ＩＤＴ電極のメカニカルマイグレーションを抑制した弾性表面波装置及びその製造方法を提供する
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置１は、圧電基板７と、圧電基板７上に形成され、第１導電膜３１を有する第１のＩＤＴ電極９と、圧電基板７上に形成された第２のＩＤＴ電極１３であって、第１導電膜３１、第２導電膜３２及び第３導電膜３３を順次積層した第１の積層体を有する第２のＩＤＴ電極１３と、を備えるとともに、第２導電膜３２がＴｉからなり、第１導電膜３１及び第３導電膜３３が第２導電膜３２とは異なる材料で構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】無線機器の送信フィルタや受信フィルタを構成した場合であっても、阻止域における減衰量を十分な大きさとすることができ、良好な周波数特性を有する弾性境界波フィルタを提供する。
【解決手段】第１の媒質層１０１と、前記第１の媒質層１０１に積層された第２の媒質層１０９と、第１，第２の媒質層の境界に配置されており、電気音響変換器を構成している電極としてのＩＤＴ電極１０３〜１０５とを備え、上記電極の周期により決定される波長λと、通過帯域よりも高域側の阻止域下端の周波数との積である弾性境界波の音速が、第１，第２の媒質層１０１，１０９を伝播する遅い横波よりも小さくされており、かつ前記第１，第２の媒質層１０１，１０９を伝播する遅い横波の音速よりも弾性境界波の音速が低い、弾性境界波フィルタ１１。 （もっと読む）

【課題】周波数帯域特性の異なる複数の弾性表面波素子要素を有する弾性表面波素子であって、各弾性表面波素子要素毎に周波数調整が施された弾性表面波素子、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＡＷウェハ１Ａに形成された複数のデュアルＳＡＷ共振子１において、第１のＳＡＷ共振子要素１０のＩＤＴ電極１１は第１の接続配線１５に接続されている。第１の接続配線１５は、ＳＡＷウェハ１Ａの全てのＩＤＴ電極１１と接続されるとともに、その終端がＳＡＷウェハ１Ａの外周部分に設けられた共通端子としての第１の通電端子１９に接続されている。同様に、第２のＳＡＷ共振子要素２０のＩＤＴ電極２１は第２の接続配線２５に接続され、この第２の接続配線２５は、ＳＡＷウェハ１Ａの外周部分の上記第１の通電端子１９とは異なる領域に設けられた共通端子としての第２の通電端子２９に接続されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い弾性表面波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、弾性波素子１２および電極パッド１４が形成された圧電基板１０と、弾性波素子１２の弾性波が励振する機能領域上に形成された第１開口部２２および電極パッド１４上に形成された第２開口部２４を有する第１樹脂部２０と、第１樹脂部２０上に、第１開口部２２を覆い第２開口部２４上に第３開口部３４を有するように形成された第２樹脂部３０と、第２開口部２４内の電極パッド１４上に形成された金属層４０と、を具備し、第１樹脂部２０の第１開口部２２および第２開口部２４に接する面は逆テーパであることを特徴とする弾性波デバイスおよびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数の周波数帯に対応する弾性表面波装置において、その封止構造を小型化し、省スペース化を可能にする。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置１は、圧電基板７と、圧電基板７上に形成され、第1導電膜３１を有する第１のＩＤＴ電極９と、圧電基板７上に形成され、第１導電膜３１及び該第1導電膜３１と成膜のタイミングが異なる第２導電膜３２を有する第２のＩＤＴ電極１３と、圧電基板７上に形成され、第１導電膜３１、第２導電膜３２、並びに該第1導電膜３１及び該第２導電膜３２と成膜のタイミングが異なる第３導電膜３３を有し、第１のＩＤＴ電極９及び第２のＩＤＴ電極１３を別個に又は一括して取り囲む枠体と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】第１の電極と、第２の電極の上面の一部に積層されて第１の電極に電気的に接続される第２の電極とを有し、第１，第２の電極形成工程の間に、アルカリ現像液を用いたパターニングが行われる弾性波装置及びその製造方法において、第１，第２の電極間の接触抵抗を小さくする。
【解決手段】圧電基板１上にＩＤＴ電極２に電気的に接続される第１の電極２１が形成されており、第１の電極２１の少なくとも上面がアルカリに可溶な金属とアルカリに不溶な金属とからなる合金であって、アルカリに可溶な金属に対するアルカリに不溶な金属の含有率が５重量％以上、２０重量％以下である合金により形成されており、第１の電極２１の形成後に、アルカリ現像液によるパターニングが行われ、しかる後、第１の電極２１の上面の一部に積層されることにより第１の電極２１に電気的に接続される第２の電極２６Ａが形成される、弾性波装置及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 圧電部品の小型化、大容量化及び低価格化である。
【解決手段】 本発明は、圧電基板２，３，４の主面に櫛歯電極５，５ａ，５ｂと該櫛歯電極に隣接して配設された素子配線を有する配線電極６，６ａ，６ｂ及び該配線電極に接続された電極端子８を形成した少なくとも２個以上の圧電素子を各圧電素子間に中空部Ｃが形成されるように接合して積層し、貫通電極７，７ａが前記各圧電基板３，４を貫通して形成され、該貫通電極７，７ａが前記電極端子８に接続され、かつ、前記圧電基板２，３，４が、樹脂封止層１０により封止されていることを特徴とする圧電部品及びその製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】櫛型電極の周囲に空隙が無く、かつ誘電体層がその表面が平坦となる弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】弾性波デバイスの製造方法は、圧電基板１上に設けられた弾性波を励振する櫛型電極２と、櫛型電極２を覆うように設けられた誘電体層３を具備する弾性波デバイスの製造方法であって、圧電基板１に櫛型電極２を形成する工程と、櫛型電極１を覆うように、櫛型電極１の膜厚より厚い膜厚を有する誘電体層３を形成する工程と、誘電体層３を覆うようにエッチバック層４を形成する工程と、エッチバック層４と誘電体層３の一部をエッチングまたは研磨する工程とを有する。エッチングまたは研磨する工程において、エッチバック層４を削る速さと誘電体層３を削る速さが等しくなる条件で、エッチバック層が全て除去されるまでエッチングまたは研磨がなされる。 （もっと読む）

【課題】少ない工程で簡単に弾性波デバイスの周波数特性を調整する。
【解決手段】、弾性波デバイスは、圧電性を有する圧電基板２と、圧電基板２に設けられた複数の電極指を有するくし型電極３と、くし型電極３の少なくとも一部を覆うように設けられた少なくとも１層の調整媒質５とを備える。この弾性波デバイスは、電極指および電極指間のスペースが圧電基板２上で占める励起領域において、調整媒質５により他の部分より厚みが大きくなる領域の面積Ｔにより、周波数特性が調整されて形成される。 （もっと読む）

【課題】 圧電部品の小型化、高性能化及び低価格化である。
【解決手段】 本発明は、圧電基板２と、該圧電基板２の主面２ａに形成された櫛歯電極７と該櫛歯電極に隣接して配設された素子配線を有する配線電極８とからなる第１圧電素子と、前記圧電基板２に形成された端子電極９と、該端子電極９に接触するはんだ電極１１と、櫛歯電極７ａ及び配線電極８ａとを主面に有する複数の第２圧電素子４，５とからなり、該第２圧電素子４，５が前記第１圧電素子と前記第２圧電素子の主面とが対向して両主面間に中空部Ｃが形成されるように、感光性樹脂シートからなる樹脂封止層３により封止され、かつ、該樹脂封止層３を貫通して前記端子電極９とその上端部が接触する貫通電極６と、からなることを特徴とする圧電部品及びその製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減するとともに、チップサイズを小型にすることができる弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１上に弾性波の励振電極２ａおよび反射器２ｂを備え、その上を少なくとも一層の媒質で被覆された弾性波デバイスであって、媒質から露出し、励振電極２ａの一部と電気的に接続された端子電極３ａ及び３ｂを備え、端子電極３ａ及び３ｂは、その一部が、媒質を挟んで少なくとも反射器２ｂと重なる位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】レジストの現像に際しての電極材料の腐食が生じ難く、電気的接続の信頼性に優れた弾性波装置の製造方法を得る。
【解決手段】圧電基板１の上面に、複数の金属膜を積層してなる第１の積層導電膜からなる第１の電極３を形成する工程と、第１の電極３を形成した後に、レジスト層を形成し、現像液によりパターニングし、開口部４ａを有するレジストパターン層４を形成する工程とを備え、上記現像処理に先立ち、開口部４ａが形成される部分に露出することとなる第１の電極３の側面部分を覆うように絶縁膜６を形成し、絶縁膜６により第１の電極３の側面を保護して現像処理を行う、弾性波装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】バスバーの内側端縁が傾斜しているような交叉幅が重み付が施されていても、励振部に弾性波を良好に閉じ込めることができ、良好な共振特性を有する弾性波共振子を提供する。
【解決手段】第１のバスバー２１，２２が、それぞれ、複数本の第１の電極指２３または第２の電極指２４の端部からバスバー側に延ばされた複数本の第１の電極指延長部２３ａ及び第２の電極指延長部２４ａと、電極指延長部２３ａまたは２４ａを被覆し、電極指延長部２３ａ，２４ａの外側端よりも外側に延ばされている第１の金属膜２８，２９とを有し、金属膜２８，２９の内側端縁２８ａ，２９ａが第１，第２のバスバー２１，２２の内側端縁をそれぞれ構成しており、電極指延長部２３ａ，２４ａの平均密度をρ１、膜厚をＨ１、金属膜２８，２９の平均密度をρ２、膜厚をＨ２としたときに、ρ１×Ｈ１がρ２×Ｈ２よりも大きい、弾性波共振子。 （もっと読む）

【課題】 圧電部品の小型化及びその製造コストの低減である。
【解決手段】 本発明は、圧電基板２と、該圧電基板２の主面に形成された櫛歯電極３と、該櫛歯電極に隣接して配設された素子配線を有する配線電極とからなる圧電素子と、前記圧電基板２の主面に形成された開口部を有する感光性樹脂フィルムからなる外囲壁部４と、該外囲壁部の上端面に積層された感光性樹脂フィルムからなる天井部５と、からなり、前記外囲壁部４と前記天井部５との間に前記櫛歯電極３を囲む気密な中空部Ｃが形成され、かつ、前記外囲壁部４と前記天井部５とを貫通して配設され、かつ、前記配線電極と前記天井部５の裏面に配設された端子電極７とを電気的に接続する電極柱６とからなり、さらに、前記圧電基板２の主面には、ＳｉＯ₂層、絶縁層及び密着層（Ｃｒ）と電極層（Ｃｕ）とからなる再配線層が、順次形成されている圧電部品及びその製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】アポタイズ重み付けを適用した弾性波デバイスにおいて、櫛形電極部と先端ギャップ部との音速差を小さくすることによって、弾性波デバイスのロスを低減する。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１上に形成された櫛形電極１及び２と、櫛形電極１及び２を覆う誘電体膜１２とを備え、櫛形電極１及び２の交差幅が異なる部分を有する弾性波デバイスであって、櫛形電極１及び２の入力側の電極の先端と出力側の電極の先端とが対向した先端ギャップ３の音速を、隣接する櫛形電極１及び２が無い領域の音速より遅くしたものである。 （もっと読む）

【課題】フィルタ帯域の急峻化や、比帯域幅の異なる複数帯域のフィルタ、共振子を単一基板上に得ることで、小型で高性能な弾性境界波を用いた弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】単結晶基板４上に固体層５が積層されており、単結晶基板４と固体層５との境界に電極が配置されている弾性境界波装置であって、カット角が同じ単結晶基板４を用いて構成された複数の弾性境界波素子２，３が備えられており、弾性境界波素子２の伝搬方位は、弾性境界波素子３の伝搬方位と異なっている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）