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Fターム[5J097FF03]の内容

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Fターム[5J097FF03]に分類される特許

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【課題】IDTの抵抗を低減させ、挿入損失を改善することが可能な弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板2と、圧電基板2上に設けられたIDT3と、IDT3を形成する互いに対向した複数の櫛型電極4及び10の各々と電気的に接続され、複数の櫛型電極4及び10を形成する複数の電極指6及び12の少なくとも一部を覆うように、IDT3の上に設けられた複数のブリッジ16及び20と、を具備する弾性表面波デバイスである。IDTの抵抗を低減させ、挿入損失を改善することが可能な弾性表面波デバイスを提供することができる。 (もっと読む)


【課題】安価な材料で、比較的薄い膜厚で微細な電極が形成できる弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板上にすだれ状電極5〜7が形成された弾性表面波装置において、前記すだれ状電極5〜7を形成する電極材料の主成分が銅であり、かつ前記圧電基板が略15°回転Y軸カット−X方向伝搬LiNbO3基板であり、かつ弾性表面波の伝搬モードがラブ波モードであることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は弾性波基板における不要応答発生を抑制することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は圧電基板1上面に設けられた第1の誘電体層2と、第1の誘電体層2上面に設けられた第2の誘電体層4の膜厚を適切に与えることにより主要波として用いるSH波のエネルギーを圧電基板1と第1の誘電体層2の境界に閉じ込めつつ、不要波として検出されるストンリー波と同様の変位分布を有するSV波の変位を第2の誘電体層4の上面に分布させることにより、第2の誘電体層4の上面に設けられた吸音層5を用いて不要波を抑制することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】温度変化による特性の変化を抑制する温度補償用膜が形成されており、製造工程の煩雑さをさほど招くことなく温度補償用膜を容易に形成でき、かつ小型化を図ることが可能な弾性波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】対向し合う第1,第2の主面1a,1bを有する圧電ウェーハ1を用意すう工程と、圧電ウェーハ1の第1の主面1aのIDT電極4を形成する工程と、第2の主面1b上にSOG法により温度補償用膜を形成する工程と、圧電ウェーハを複数の圧電基板に分割する工程とを備える、弾性波素子の製造方法。 (もっと読む)


【課題】SAWの端面反射防止、耐湿性の双方に良好な特性を示し、且つ生産性が高く安価に提供することのできるSAWデバイスを提供する。
【解決手段】実装基板20に対して、IDT電極16を形成したSAW素子片12をフリップチップ実装し、これを封止樹脂34で被覆したSAWデバイス10であって、圧電基板14におけるSAWの伝搬方向と平行に、IDT電極16を挟み込むように対を成し、封止樹脂34がSAWと直交する方向からIDT電極16側へ浸入することを防ぐ阻止壁18を設け、封止樹脂34は、圧電基板14においてIDT電極16と実装基板20との間に気密空間Sを形成しつつIDT電極16から励起されたSAWが直接到達する箇所を覆う第1の樹脂30と、少なくとも第1の樹脂30の外表面と実装基板14の上面とを被覆する第2の樹脂32とから成り、第2の樹脂32よりも第1の樹脂30の硬度を低くしたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】配線の耐湿性を向上させることにより、信頼性を高めることが可能な弾性表面波デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板2と、前記圧電基板2上に設けられたIDT6と、前記圧電基板2上に設けられ、前記IDT6に接続され、前記IDT6と同じ金属からなる配線電極12と、少なくとも前記配線電極12が露出するように、前記圧電基板2上に設けられた無機絶縁層20と、前記無機絶縁層20から露出した前記配線電極12と前記無機絶縁層20との境界の上に、前記配線電極12の側面12aを覆うように設けられた絶縁樹脂層22と、前記配線電極12及び前記絶縁樹脂層22の上に設けられた金属層14及び18と、を具備する弾性表面波デバイス。 (もっと読む)


【課題】本発明は、弾性境界波デバイスを小型化することを目的とする。
【解決手段】本発明は、圧電基板4と、圧電基板4上に設けられた第1の絶縁層7と、第1の絶縁層7上に設けられた第2の絶縁層8と、圧電基板4と第1の絶縁層7の境界面に設けられた複数の櫛形電極5、6を備えた弾性境界波デバイスにおいて、第1の絶縁層7と第2の絶縁層8との間に複数の櫛形電極5、6の内で所定の櫛形電極6と対峙する部分に対向電極11を設けたのである。 (もっと読む)


【課題】電気的抵抗の増大を招くことなく、表面波の閉じ込め効率を高めることができ、それによって損失を小さくすることが可能とされている弾性表面波装置を得る。
【解決手段】圧電基板2上にIDT電極3が形成されており、IDT電極3の第1,第2のバスバー6,7が、第1の層12と、第1の層12上に形成された第2の層13とを有し、第2の層が金属膜からなり、第1の層12では、複数本の金属ストリップ14と、複数本の金属ストリップ15とが交互に配置されており、複数本の金属ストリップ14,15間に絶縁膜16が形成されている、弾性表面波装置。 (もっと読む)


【課題】耐電力性(マイグレーション耐性)のさらなる向上を図るとともに温度変化による周波数変動を抑えた信頼性の高い弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】酸化亜鉛を主成分とする圧電体層4を有する基板2と、前記基板2上に形成された少なくとも一対の櫛歯型電極5a,5bからなるIDT6と、を有し、前記櫛歯型電極5a,5bは、Al−Ti合金からなる第1電極層16Aと、Al−Nd合金からなる第2電極層16Bとが前記圧電体層4上にこの順で積層されて構成されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、弾性境界波デバイスにおける電気特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、圧電基板1と、この圧電基板1の主面に設けられた櫛形電極3と、圧電基板1の主面上において櫛形電極3を覆うとともに、横波の伝播速度が圧電基板1より遅い第1の絶縁層2とを備えた弾性境界波デバイスにおいて、櫛形電極3と圧電基板1の間に横波の伝播速度が第1の絶縁層2の横波の伝播速度より遅い材料からなる第2の絶縁層5を設けたのである。 (もっと読む)


【課題】LiNbO基板を用いた弾性表面波装置であって、IDTの反射係数が大きいだけでなく、電気機械結合係数kが大きく、かつ該電気機械結合係数kが大きい範囲を実現するLiNbO基板のオイラー角範囲が拡げられる、弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】LiNbO基板2の上面2aに複数本の溝2bが形成されており、複数本の溝2bに充填された金属材料からなる複数本の電極指を有するIDT3が設けられており、該金属材料がTaもしくはMoまたはこれらの金属の少なくとも1種を主体とする合金からなる、弾性表面波装置1。 (もっと読む)


【課題】バンプ接合可能で、かつ量産性に優れた弾性境界波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板2と、圧電基板2上に設けられた弾性波素子4と、圧電基板2上に設けられ、弾性波素子4と電気的に接続された端子10と、端子10上に設けられた第1バンプ12と、圧電基板2上及び弾性波素子4上に設けられ、第1バンプ12の側面を覆い、第1バンプ12と接している領域の上面が露出している絶縁膜6と、絶縁膜6上に設けられ、絶縁膜6の第1バンプ12と接している領域の側面を覆う吸音膜8と、第1バンプ12上に設けられた第2バンプ14と、を具備する弾性境界波デバイス。 (もっと読む)


【課題】小型化可能かつ性能の高い弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板2と、圧電基板2上に設けられたIDT22、24、26、28と、圧電基板2上に設けられた第1配線8、第2配線10及び第3配線12であって、少なくとも一つがIDTを構成する櫛型電極に接続され、第1配線8と第3配線12との間に第2配線10が位置している、第1配線8、第2配線10及び第3配線12と、圧電基板2の上、第1配線8の第2配線側10の領域の上、第2配線10の上、及び第3配線12の第2配線10側の領域の上に設けられた絶縁層14と、第1配線8の絶縁層14が設けられていない領域と、第3配線12の絶縁層14が設けられていない領域とを通じて、第1配線8及び第3配線12と接続されるように、第1配線8の上、第3配線12の上、及び絶縁層14の上に設けられた第4配線16と、を具備する弾性波デバイス。 (もっと読む)


【課題】本発明は、挿入損失や減衰特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、圧電材料からなる第1の媒質101と、第1の媒質101の上面に設けられた櫛型電極102と、櫛型電極102を覆う第2の媒質104とを備えた弾性境界波デバイスであって、櫛型電極102は、バスバー電極領域105とダミー電極領域106と交差領域107とを含む構成であって、少なくともバスバー電極領域105またはダミー電極領域106のいずれかの上部において、第2の媒質104が非形成状態である構成としたものである。 (もっと読む)


【課題】電気的接続に用いる電極膜の膜応力を低減して、電極膜剥がれが発生しない信頼性に優れた弾性表面波フィルタを提供する。
【解決手段】圧電基板1上に、励振電極層と、該励振電極層に接続された電極パッド2層と、該電極パッド層上に形成された中間電極7層とを備えた弾性表面波装置であって、前記中間電極層は、下部層3と、不純物含有層5を有したバリア層4と、半田接合用の上部層6とが順次形成されていることを特徴とする弾性表面波装置。 (もっと読む)


【課題】共振周波数の温度特性と反共振周波数の温度特性との差を小さくすることができる弾性波素子を実現する。
【解決手段】圧電基板5と、圧電基板5上に形成された櫛形電極2と、櫛形電極2を覆うように圧電基板5上に形成された誘電体層21とを備えた弾性波素子であって、圧電基板5上に形成された誘電体層21の厚さは、櫛形電極2の厚さと櫛形電極2上に形成された誘電体層21の厚さとの和より大きいことを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】弾性表面波素子における挿入損失及び耐電力を向上させ、フィルタ特性に優れた高性能かつ高品質の弾性表面波素子、電子デバイス及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子は、圧電材料及び対をなす櫛歯型電極10a,10b及び櫛歯型電極11a,11bからなるIDT10,11を有する単位フィルタ1−A,1−Bを、同一の圧電基板26上に形成して、複数並列接続した弾性表面波素子1であって、櫛歯型電極10a,10b,11a,11bの電極指2a,2bの長さは全て等しく、単位フィルタ1−A,1−Bの弾性表面波の波長をλ(但し、λ=V/f V:弾性表面波速度(m/s)、f:動作周波数(GHz))としたとき、IDT10,11の電極膜厚が10〜400nmの範囲内、かつ電極指2a,2bの交差長が5〜50λの範囲内で構成されている。 (もっと読む)


【課題】安価な材料で、又比較的薄い膜厚で微細な電極が形成できる弾性表面波装置、及びそれを用いた通信用フィルタを提供する。
【解決手段】圧電基板上にすだれ状電極10が形成された弾性表面波装置において、前記すだれ状電極10を形成する電極材料の主成分が銅であり、且つ圧電基板がLiNbO3基板で、その表面波伝搬モードがラブ波モードである弾性表面波装置。 (もっと読む)


【課題】本発明は、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波の励起に用いられる圧電ウエハ及びそれを用いた弾性波デバイスの製造方法に関し、製造過程における特性バラツキの少ない圧電ウエハ及びそれを用いた弾性波デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による圧電ウエハ8は、オリエンテーション・フラット7を除く外周部分にベベリング9が形成された圧電単結晶からなる圧電基板3において、オリエンテーション・フラット7の上端部分にテーパー面10を設けるとともに、このテーパー面10における圧電基板3の上面との境界線11とテーパー面10における圧電基板3の側面との境界線12を平行とした。 (もっと読む)


【課題】不要波による不要応答を抑制した弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】本発明の弾性境界波装置は、圧電材料層と、前記圧電材料層の上に配置された電極と、前記電極を覆うように前記圧電材料層の上に形成された第1誘電体層と、前記第1誘電体層の上に形成された第2誘電体層とを備え、前記第2誘電体層の音速は、前記第1誘電体層の音速よりも速く、前記第1誘電体層は、アルミナ、ダイヤモンドライクカーボン、炭化珪素及びダイヤモンドからなる群から選ばれるいずれか1種を主成分として含む材料から形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


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