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Fターム[5J097FF03]の内容

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Fターム[5J097FF03]に分類される特許

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【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】20°〜48°回転Y板X伝搬LiTaOからなる圧電基板2と、圧電基板2上に形成されており、タングステンからなり、かつ膜厚をH、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.0025〜0.06の範囲にあるIDT3と、IDT3を覆うように圧電基板2上に形成されており、かつ規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあるSiO膜とを備える表面波装置1。 (もっと読む)


【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】17°〜58°回転Y板X伝搬LiTaO3からなる圧電基板2と、圧電基板2上に形成されており、タンタルからなり、かつ膜厚をH、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.004〜0.055の範囲にあるIDT3と、IDT3を覆うように圧電基板2上に形成されており、かつ規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあるSiO2膜とを備える表面波装置1。 (もっと読む)


【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】オイラー角(0±2°,104〜141°,0±2°)のLiTaO3からなる圧電基板2と、圧電基板2上に形成されており、密度8700〜10300kg/m3、ヤング率1.8×1011〜4×1011N/m2あるいは横波音速が3170〜3290m/秒である、NiやMoなどで代表される金属もしくは該金属を主体とする合金または前記金属もしくは合金からなり、かつ膜厚をH、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚H/λが0.008〜0.06の範囲にあるIDT3と、IDT3を覆うように圧電基板2上に形成されており、かつ規格化膜厚Hs/λが0.10〜0.40の範囲にあるSiO2膜とを備える表面波装置1。 (もっと読む)


【課題】小型高機能化が可能な中空封止素子を提供する。
【解決手段】機械的可動部を有する機能部11と、機能部11に接続された内部電極12と、機能部11と内部電極12を囲繞するように基体外周部に形成された封止層13を有する2枚の基体10を、機能部11、内部電極12、封止層13が内側になるように両基体10を対向させて、両基体10の内部電極12相互を電気的に接続するとともに、封止層13を一体に接合して封止して、両基体10の内部に形成された中空部90に機能部11を配置したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】中心周波数近傍におけるディップを低減しつつ小型化を図れるようにする。
【解決手段】弾性表面波素子片52は、圧電基板12の弾性表面波の伝播方向に沿って形成した2つのIDT54、56が配置してある。IDT54、56の外側には、IDT54、56を挟んで反射器64a、64bを備えている。IDT54、56を構成する一対の櫛型電極58a、58bは、電極交差部30、32を形成している複数の電極指20a、20bの長手方向側方にグレーティング部50(50a、50b)を有する。グレーティング部50には、ボンディングワイヤ34を接合するワイヤボンディング部68が設けてある。 (もっと読む)


【課題】 周波数温度特性に優れた薄膜構造の高結合擬似弾性表面波基板および高周波帯の挿入損失を低下させる弾性表面波機能素子を提供する。
【解決手段】 LiNbO3基板上にSiO2膜の薄膜層を形成するとともに、前記LiNbO3基板の回転Y板のカット角度を−10度から+30度とし、前記薄膜層の膜厚寸法をH、前記弾性表面波の動作中心周波数の波長をλとしたときに、H/λの値を0.115から0.31とした。その結果、レーレー型の弾性表面波よりも早い速度の擬似弾性表面波に対する電気機械結合係数kを0.20以上にでき、かつ周波数温度特性を−30から+30ppm/℃の各範囲とすることができ、電気機械結合係数kが大きく、周波数温度特性の優れた機能素子を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】 小型化が可能で封止状態の判断が容易な弾性表面波装置およびその封止状態判断方法を提供する。
【解決手段】 圧電基板11の下面にIDT電極21a,21bとIDT電極用パッド電極22a,22b,22c,22dと帯状の導体からなるモニター用パターン23とモニター用パッド電極24a,24bとが形成されるとともに、IDT電極用パッド電極22a,22b,22c,22dとモニター用パターン23とモニター用パッド電極24a,24bとを露出する保護膜31が形成された弾性表面波素子10が実装用基体に実装され、IDT電極21a,21bおよびモニター用パターン23が封止部材により同じ封止空間に気密封止された弾性表面波装置である。モニター用パターン23の腐食による電気抵抗の変化によって封止状態を判断できるので、小型化が可能で封止状態の判断が容易な弾性表面波装置である。 (もっと読む)


【課題】複数の導体層を積層した電極指を有するIDT電極において、導体層の破断や剥離等の発生を抑制し、耐久性を高めた弾性表面波素子及びそれを搭載した弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子1は、圧電基板10上に電極指11aを有するIDT電極11を備えている。電極指11aは、中間層12と、中間層12に比べて大きな熱膨張係数を有する電極層13が積層されてなる。電極指11aは、圧電基板10に近づく方向に広がる台形形状となる断面形状を有している。中間層12の側面1の成す角度αは、電極層13の側面との成す角度βよりも大きく形成されている。 (もっと読む)


【課題】電気機械結合係数を精度良く制御することが可能な弾性波デバイスおよびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板(12)と、圧電基板上に設けられた第1誘電体(24)と、第1誘電体上に設けられた櫛型電極(14)および反射電極(16)と、櫛型電極および反射電極を構成する電極指と、を具備し、第1誘電体が隣り合う電極指の間で圧電基板の表面が露出するように分離されていて、第1誘電体の側面と櫛型電極および反射電極の電極指の側面とが同一面に形成されている弾性波デバイスである。 (もっと読む)


【目的】本発明は、圧電性基板または或いは圧電性薄膜基板表面上に、弾性表面波を励振または受信するすだれ状電極を有する弾性表面波機能素子において、グレーティング薄膜を用いたダウン方向分散型すだれ状電極とアップ方向分散型すだれ状電極を用いた、距離重み付け弾性表面波フィルタに関するもので、広帯域・低損失・超角型で位相特性に優れた弾性表面波機能素子が得らることを目的としている。
【構成】図7のように、圧電性基板1の表面にダウン方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極弾性表面波とアップ方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極を対向させた、距離重み付け弾性表面波フィルタが本特許の構成図である。 (もっと読む)


【課題】梯子型の弾性表面波(SAW)フィルタの耐熱性を向上させて耐電力性を向上させる。
【解決手段】複数のSAW共振子は、それぞれ1つのIDT及び2つの反射器を有している。各SAW共振子の間、SAW共振子と入力ボンディングパッドとの間、SAW共振子と出力ボンディングパッドとの間、及び各SAW共振子とアースボンディングパッドとの間が、接続パターン114で接続されて梯子型回路が構成されている。接続パターン114及びボンディングパッドの上側に基板よりも、熱伝導率の大きい誘電体膜116を蒸着して耐熱性を向上させている。 (もっと読む)


【課題】 本発明はSAW(Surface Acoustic Wave)フィルタ、BAW(bulk acoustic wave)フィルタ、MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)などの表面に空間を必要とする素子のウェハレベル小型化パッケジング技術に関する。こうした表面に空間を必要とする素子は、小型化及び設計自由度確保が不十分であった。更に、素子を小片化して組立てを行っていたため、工数が必要であった。
【解決手段】 本願発明の骨子は、次の通りである。実装用基板上に設けられた空間的可動部分を有する素子部材は、有機絶縁樹脂層が前記実装用基板との間に保持する空間部分に配置され、且つ前記有機絶縁樹脂層内に、多層配線部が少なくとも配置される。このような構造を採用することによって、空間の確保と配線部を出来るだけ小型化して配置する。 (もっと読む)


【課題】 通過帯域内でのリップル発生を低減させ、また通過帯域の平衡度を向上できる優れた特性の弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子31,32が複数段、縦続接続されており、初段の素子31の中央のIDT電極3は不平衡信号端子12に接続され、最終段の素子32の中央のIDT電極6は櫛歯状電極の一方が2分割されてそれぞれに平衡信号端子13,14が接続されており、素子31,32のIDT電極の段間側のバスバー電極に接続された接地用引き出し配線27,28と、素子31,32同士を縦続接続した全ての信号用引き出し配線20,21とが、絶縁体16〜19を介して交差して配設された交差配線部23〜26を形成しており、交差配線部23〜26はIDT電極2〜4及び5〜7のIDT電極3,6を中心に対称的に形成され、各交差配線部23〜26によって生じる抵抗が略同じである。 (もっと読む)


【課題】 通過帯域内の挿入損失が向上し、リップル発生を抑制することのできる、優れた特性の弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子31の3個のIDT電極2〜4の不平衡入力端子側12または不平衡出力端子12側のバスバー電極に接続された接地用引き出し配線27と、不平衡入力端子12または不平衡出力端子12と弾性表面波素子31とを接続した全ての信号用引き出し配線19,20とが、絶縁体15,16を介して交差して配設された交差配線部23,24をそれぞれ形成しており、交差配線部23、24は、3個のIDT電極2〜4において中央に配設されたIDT電極3を中心に対称的に形成されているとともに、各々の交差配線部23,24によって生じる抵抗が略同じである。 (もっと読む)


【課題】通過帯域の近傍における減衰量をさらに改善をする。
【解決手段】弾性表面波素子片は、圧電基板の弾性表面波の伝播方向に沿って複数のすだれ状電極からなるIDTが設けてある。少なくとも1つのIDT14は、弾性表面波の反射を生ずるシングル電極セル30と、弾性表面波の反射を生じないダブル電極セル32とを混在させて形成してある。また、シングル電極セル30における共振周波数f1と、反射を生じないダブル電極セルにおける共振周波数f2とが異ならせてある。 (もっと読む)


【課題】 挿入損失劣化を低減し、小型化を実現した弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 第1,第2の弾性表面波共振子18,19は、中心共通バスバー電極29の両側に、中心共通バスバー電極29により接続されて形成され、中心共通バスバー電極29に不平衡入(出)力端子22が接続されており、弾性表面波素子20,21と第1,第2の弾性表面波共振子18,19とは、隣接して伝搬方向に直交する方向に並んで配置され、互いのバスバー電極が絶縁体32,33を介して重なって配置されており、弾性表面波素子20,21の各中央のIDT電極のバスバー電極が平衡入(出)力端子23,24に接続され、弾性表面波素子20,21の各中央のIDT電極以外のもののバスバー電極が弾性表面波共振子18,19のIDT電極のバスバー電極に、絶縁体32,33を介して並列接続されている。 (もっと読む)


【課題】 挿入損失劣化を低減し、小型化を実現した弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、弾性波表面共振子Kが、弾性表面波の伝搬方向に延びて形成された中心共通バスバー電極25の両側に、中心共通バスバー電極25によって互いに接続された第1及び第2の弾性表面波共振子部20,21が、中心共通バスバー電極25に対して対称的に形成されるとともに、中心共通バスバー電極25に不平衡信号端子が接続されており、第1及び第2の弾性表面波素子20,21は、弾性表面波共振子Kの両側に伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、第1及び第2の弾性表面波共振子部18,19の各IDT電極2,3のバスバー電極に並列接続され、平衡信号端子に接続されている。 (もっと読む)


【課題】ストップバンドの上限モードで共振する弾性表面波素子の、電極指幅のばらつきに伴う周波数ばらつきを小さくできるようにする。
【解決手段】弾性表面波素子10は、水晶基板12のカット角がオイラー角表示で(0°,0°≦θ≦180°,0°<|ψ|<90°)となっている。水晶基板12の表面中央部には、IDT14が設けてある。IDT14は、一対の櫛型電極18(18a、18b)からなり、すだれ状に形成してある。IDT14を構成している櫛型電極18の電極指22(22a、22b)は、幅がLt、電極指22の形成ピッチがPtとなっていて、0.5≦(Lt/Pt)≦0.7となるように形成してある。IDT14は、一対の櫛型電極18a、18b間に信号圧が印加されると、水晶基板12をレイリー波からなる弾性表面波のストップバンドの上限モードで励振する。 (もっと読む)


【課題】水晶基板を用いた表面波デバイスであり、小型で、Q値が大きく、周波数エージング特性の優れたSH波型SAWデバイスを得る。
【解決手段】圧電基板と、該圧電基板上に形成されAlを主成分とする合金からなるIDT電極とを備え、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板は、回転Yカット水晶基板のカット角θを−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記IDT電極の波長で基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12としたSH波型弾性表面波デバイスにおいて、前記圧電基板はウエットエッチングにより形成されたエッチング痕を有しており、前記IDT電極が前記圧電基板の前記エッチング痕を有する表面に形成されているSH波型弾性表面波デバイス。 (もっと読む)


【課題】工程数増加や信頼性低下を伴わずに焦電破壊が確実に防止できる弾性表面波素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】弾性表面波素子Dの製造過程で、電極パターン形成領域に対応するマスク層11をマスクとして、イオンミリング法で主電極層9を除去することにより、IDT電極2,3や端子電極4,5等に対応する所定形状の電極パターンを形成するが、その際、下地層8は圧電基板1の上面全面に残存させておく。そして、主電極層9のうち端子電極形成領域を覆うマスク層11を除去して、そこに端子電極4,5を成膜し、さらに端子電極4,5にワイヤ13を接続するという一連の工程が終了した後、反応性イオンエッチング法によって、主電極層9に覆われずに露出している下地層8をマスク層11と共に除去する。 (もっと読む)


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