機械共振構造体、並びに関連する機器および方法が記載される。機械共振構造体は、温度変化を補償する補償構造を有する。
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【課題】表面弾性波素子に電気信号を印加したり、表面弾性波素子から信号を検出したりする過程で漏れ電流が発生することを防止することができる表面弾性波素子、表面弾性波装置、及びこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】表面弾性波素子１０は、圧電物質からなる基板２０と、上記基板上に位置し互いに離間する複数の第１電極２２と、上記基板上に上記第１電極２２と離間して位置し互いに離間する複数の第２電極４０、及び上記複数の第１電極２２及び上記複数の第２電極４０のそれぞれに位置する酸化膜２４とを含んでなる。 （もっと読む）

【課題】通過帯域高域側のフィルタ特性の急峻性が高く、かつＶＳＷＲ特性が良好なラダー型フィルタ及びそれを備えたデュプレクサを提供する。
【解決手段】ＩＤＴ電極３０を有する複数の直列腕共振子と、並列腕１３に設けられている並列腕共振子と、複数の直列腕共振子のうちの一部の直列腕共振子Ｓ２ａ、Ｓ２ｂ、Ｓ３ｃに並列に接続されているキャパシタＣ１、Ｃ２とを備えている。キャパシタＣ１、Ｃ２が並列に接続されている直列腕共振子Ｓ２ａ、Ｓ２ｂ、Ｓ３ｃのＩＤＴ電極３０には、弾性波伝搬方向において、交叉幅が極大となる極大点が複数形成されるように交叉幅重み付けが施されている。キャパシタが並列に接続されていない直列腕共振子Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ、Ｓ２ｃ、Ｓ３ａ、ｄ３ｂのＩＤＴ電極４０には、弾性波伝搬方向において、交叉幅が極大となる極大点がひとつのみ形成されるように交叉幅重み付けが施されている。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数の周波数特性を有すると共に、ＩＤＴ電極の電極指間の短絡等の問題を改善した弾性表面波装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置１は、圧電基板７と、圧電基板７上に形成され、第1膜厚を有する第1のＩＤＴ電極９と、圧電基板７上に形成され、第1膜厚より大きい第２膜厚を有する第２のＩＤＴ電極１３と、第１のＩＤＴ電極９及び第２のＩＤＴ電極１３のうち第1のＩＤＴ電極９のみを被覆する絶縁膜２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧電基板の一方主面に形成された電極パターンを損傷することなく、レーザ光を用いて圧電基板の他方主面にマーキングを行い、特性の低下を招くことなく、必要なマーキングが施された弾性波装置を確実に製造できるようにする。
【解決手段】
一方主面に電極パターンが形成された圧電基板の他方主面に、圧電基板に吸収される波長を有するレーザ光を照射してマ一キングを行う。
また、素子毎に個片化された圧電基板を複数個、一方主面がベース基板に対向するように、ベース基板上にフリップチップボンディングし、各圧電基板の他方主面を研磨し、個々の弾性波装置毎に分割した後、圧電基板に吸収される波長を有するレーザ光を照射してマ一キングを行う。
圧電基板として、マーキングに使用するレーザ光に対して透明な圧電単結晶材料（例えば、ＬｉＮｂＯ₃またはＬｉＴａＯ₃）からなるものを用いる。 （もっと読む）

【課題】高次モードのスプリアスを抑制する。
【解決手段】弾性波素子５は圧電体６と、圧電体６の上に配置されて弾性波を励振させる櫛歯電極７と、圧電体６の上に櫛歯電極７を覆うように設けられた誘電体層８を備える。この誘電体層８は、下から上に向けて横波が伝搬する速度が連続的に速くなる媒質からなる組成変化部分を含む。この構成により、誘電体層８内を伝搬する高次モードによるスプリアスをより高い周波数に移すことができ、高次モードによるスプリアスによる影響を低減できる。 （もっと読む）

【課題】コンタクト部における接触抵抗を低めることができるだけでなく、例えばフォトリソグラフィー法より製造するに際し、エッチング液による電極の腐食が生じ難い、弾性波装置及びその製造方法の提供。
【解決手段】圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３の電極指部分を含むように第１の積層金属膜１１が形成されており、第１の積層金属膜１１に重なり合う部分においてコンタクト部が形成されており、圧電基板２上に第２の積層金属膜が形成されており、第１の積層金属膜の最上部の金属膜がＴｉ膜であり、第２の積層金属膜１２の最下層の金属膜がＴｉ膜であり、コンタクト部ＣにおいてＴｉ膜同士が接触されている、弾性波装置１。 （もっと読む）

【課題】高周波化が可能であり、しかも耐候性及び電気特性に優れる弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子は、ダイヤモンド層と、ダイヤモンド層上に設けられた窒化アルミニウム層と、窒化アルミニウム層上に設けられた酸化シリコン層と、前記窒化アルミニウム層と前記酸化シリコン層との間に設けられ窒化アルミニウム層に電圧を印加する一対の電極と、を有している。窒化アルミニウム層の厚みＨ_１、酸化シリコン層の厚みＨ_２、及び弾性表面波の波長λを用いて定義される（ｘ、ｙ）が、以下の式、ｙ≦０．７５０×ｘ＋０．３２５、ｙ≦−０．３００×ｘ＋１．６９０、ｙ≧−０．５００×ｘ＋０．９５０、ｙ≧０．７００×ｘ−０．６１０（ただし、ｘ＝２πＨ_１／λ、ｙ＝２πＨ_２／λ）をともに満たす範囲Ａ１内である。 （もっと読む）

【課題】無線機器の送信フィルタや受信フィルタを構成した場合であっても、阻止域における減衰量を十分な大きさとすることができ、良好な周波数特性を有する弾性境界波フィルタを提供する。
【解決手段】第１の媒質層１０１と、前記第１の媒質層１０１に積層された第２の媒質層１０９と、第１，第２の媒質層の境界に配置されており、電気音響変換器を構成している電極としてのＩＤＴ電極１０３〜１０５とを備え、上記電極の周期により決定される波長λと、通過帯域よりも高域側の阻止域下端の周波数との積である弾性境界波の音速が、第１，第２の媒質層１０１，１０９を伝播する遅い横波よりも小さくされており、かつ前記第１，第２の媒質層１０１，１０９を伝播する遅い横波の音速よりも弾性境界波の音速が低い、弾性境界波フィルタ１１。 （もっと読む）

本発明は、音響波デバイスの分野に係わり、特に数百ＭＨｚから数ＧＨｚの高い周波数での作業が可能なトランスデューサの分野、とりわけ、少なくとも２基板と強誘電体層２とを含む界面音響波デバイス１に関するものである。強誘電体層は、第１電極３と第２電極４との間に配置され、かつ第１正偏向分域７と第２負偏向分域８とを含み、該第１と第２の分域は交互に配置されている。該音響波デバイスは、第１電極３と、強誘電体層２と、第２電極４とから成る集成体が、第１基板５と第２基板６との間に設けられていることを特徴とする。
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【課題】高周波数側の通過帯域外の減衰特性が高い弾性波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】弾性波フィルタ装置１は、入力側信号端子１５と出力側信号端子１６との間に接続されている縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０と、縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０に対して並列となるように、入力側信号端子１５と出力側信号端子１６との間で直列に接続されている第１及び第２のリアクタンス素子５０，６０とを備えている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０の複数のＩＤＴ電極３１〜３５のうちの一端が出力側信号端子１６に接続されたＩＤＴ電極３２，３４の他端が第１のアース電極８１に接続されている。複数のＩＤＴ電極３１〜３５のうちの一端が入力側信号端子１５に接続されたＩＤＴ電極３１，３３，３５の他端と、第１及び第２のリアクタンス素子５０，６０間の接続点５４とが第２のアース電極８２に共通に接続されている。 （もっと読む）

【課題】周波数帯域特性の異なる複数の弾性表面波素子要素を有する弾性表面波素子であって、各弾性表面波素子要素毎に周波数調整が施された弾性表面波素子、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＡＷウェハ１Ａに形成された複数のデュアルＳＡＷ共振子１において、第１のＳＡＷ共振子要素１０のＩＤＴ電極１１は第１の接続配線１５に接続されている。第１の接続配線１５は、ＳＡＷウェハ１Ａの全てのＩＤＴ電極１１と接続されるとともに、その終端がＳＡＷウェハ１Ａの外周部分に設けられた共通端子としての第１の通電端子１９に接続されている。同様に、第２のＳＡＷ共振子要素２０のＩＤＴ電極２１は第２の接続配線２５に接続され、この第２の接続配線２５は、ＳＡＷウェハ１Ａの外周部分の上記第１の通電端子１９とは異なる領域に設けられた共通端子としての第２の通電端子２９に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数の周波数帯に対応する弾性表面波装置において、その封止構造を小型化し、省スペース化を可能にする。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置１は、圧電基板７と、圧電基板７上に形成され、第1導電膜３１を有する第１のＩＤＴ電極９と、圧電基板７上に形成され、第１導電膜３１及び該第1導電膜３１と成膜のタイミングが異なる第２導電膜３２を有する第２のＩＤＴ電極１３と、圧電基板７上に形成され、第１導電膜３１、第２導電膜３２、並びに該第1導電膜３１及び該第２導電膜３２と成膜のタイミングが異なる第３導電膜３３を有し、第１のＩＤＴ電極９及び第２のＩＤＴ電極１３を別個に又は一括して取り囲む枠体と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】第１の電極と、第２の電極の上面の一部に積層されて第１の電極に電気的に接続される第２の電極とを有し、第１，第２の電極形成工程の間に、アルカリ現像液を用いたパターニングが行われる弾性波装置及びその製造方法において、第１，第２の電極間の接触抵抗を小さくする。
【解決手段】圧電基板１上にＩＤＴ電極２に電気的に接続される第１の電極２１が形成されており、第１の電極２１の少なくとも上面がアルカリに可溶な金属とアルカリに不溶な金属とからなる合金であって、アルカリに可溶な金属に対するアルカリに不溶な金属の含有率が５重量％以上、２０重量％以下である合金により形成されており、第１の電極２１の形成後に、アルカリ現像液によるパターニングが行われ、しかる後、第１の電極２１の上面の一部に積層されることにより第１の電極２１に電気的に接続される第２の電極２６Ａが形成される、弾性波装置及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】少ない工程で簡単に弾性波デバイスの周波数特性を調整する。
【解決手段】、弾性波デバイスは、圧電性を有する圧電基板２と、圧電基板２に設けられた複数の電極指を有するくし型電極３と、くし型電極３の少なくとも一部を覆うように設けられた少なくとも１層の調整媒質５とを備える。この弾性波デバイスは、電極指および電極指間のスペースが圧電基板２上で占める励起領域において、調整媒質５により他の部分より厚みが大きくなる領域の面積Ｔにより、周波数特性が調整されて形成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造を有し、かつ平衡信号端子間のバランスが高いバランス型弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】第１，第３及び第５のＩＤＴ３０，５０，７０の各一端は、不平衡信号端子１１に共通に接続されている。第１，第３及び第５のＩＤＴ３０，５０，７０の各他端は、アース電位に接続されている。第２及び第４のＩＤＴ４０，６０のそれぞれは、弾性波伝搬方向に沿って分割することにより設けられ、相互に直列に接続された第１及び第２の分割ＩＤＴ部４４，４５，６４，６５を有する。第１の分割ＩＤＴ部４４，６４の一端は、第１の平衡信号端子１２に共通接続されている。第２の分割ＩＤＴ部４，６５の一端は、第２の平衡信号端子１３に共通接続されている。第２及び第４のＩＤＴ４０，６０は、第１の平衡信号端子１２から取り出される信号と、第２の平衡信号端子１３から取り出される信号とが逆相となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】端子に静電気を帯びた部分が接触したとしても、ＩＤＴ電極の破壊が生じ難い、弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２と、第１の媒質層３と、第２の媒質層４とが積層されており、圧電基板２と第１の媒質層３との境界に電極構造５が形成されている三媒質構造の弾性境界波装置であって、第２の媒質層４上にＩＤＴ電極に電気的に接続されている複数の端子６〜１１が形成されており、複数の端子６〜１１が、第２の媒質層４に電気的に接続されており、第２の媒質層４が静電気を流し得る抵抗性材料からなる、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減するとともに、チップサイズを小型にすることができる弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１上に弾性波の励振電極２ａおよび反射器２ｂを備え、その上を少なくとも一層の媒質で被覆された弾性波デバイスであって、媒質から露出し、励振電極２ａの一部と電気的に接続された端子電極３ａ及び３ｂを備え、端子電極３ａ及び３ｂは、その一部が、媒質を挟んで少なくとも反射器２ｂと重なる位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子上の導体間の接続信頼性を向上させること。
【解決手段】本発明の弾性波素子は、圧電基板２１と、この圧電基板２１の上に配置された櫛歯電極２２及び第１、第２、第３の導体２３〜２５と、この圧電基板２１の上に第３導体２５を覆うように配置されたレジスト層４０と、このレジスト層４０の上に配置されて第１の導体と前記第２の導体とを電気的に接続する第４の導体２６とを備える構成である。上記構成の如く、本発明は、第３の導体２５と第４の導体２６との絶縁を取る手段として製造工程で用いるレジスト層４０を用いる。即ち、レジスト層４０は、製造工程において下方に広がるテーパ形状を形成するので、レジスト層４０において、ほぼ直角な角部がなくなる、若しくは、この角部が鈍角となる。 （もっと読む）

【課題】境界弾性波装置は、小型で温度安定性に優れている。しかし、Ｑ値を高く出来ない、また高コストな薄膜技術を必要とする。本発明の目的は、Ｑ値が優れ、低コストな境界弾性波装置を提供することにある。
【解決手段】θＹＸ−ＬＮ単結晶圧電基板の表面に、アルミニウムを主成分とする膜厚ｈｍ、電極指周期λの櫛形電極と短絡型反射器（厚さｈｒ）をパターニングし、その櫛形電極と反射器上に、膜厚がｈ1の酸化珪素膜と膜厚がｈ2の窒化アルミニウム膜６を形成した境界弾性波装置において、
２．５≦ｈｒ／λ≦８．５％、
とする。 （もっと読む）