【課題】本発明は、挿入損失や減衰特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、圧電材料からなる第１の媒質１０１と、第１の媒質１０１の上面に設けられた櫛型電極１０２と、櫛型電極１０２を覆う第２の媒質１０４とを備えた弾性境界波デバイスであって、櫛型電極１０２は、バスバー電極領域１０５とダミー電極領域１０６と交差領域１０７とを含む構成であって、少なくともバスバー電極領域１０５またはダミー電極領域１０６のいずれかの上部において、第２の媒質１０４が非形成状態である構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】高いＱ値を有するとともに、広い周波数範囲に対応することが可能な弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る弾性境界波装置は、ニオブ酸カリウムからなる圧電体層１０１と、圧電体層１０１上にすだれ状に形成される金電極１０３と、圧電体層１０１および金電極１０３上に形成される、二酸化ケイ素を含む誘電体層１０５と、を備え、金電極１０３の厚みをＨｍとし、金電極１０３によって圧電体層１０１と誘電体層１０５の界面に励振される弾性境界波２０の波長をＬとした場合に、Ｈｍ／Ｌを、０．０１５以上とする。 （もっと読む）

【課題】不要波による不要応答を抑制した弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】本発明の弾性境界波装置は、圧電材料層と、前記圧電材料層の上に配置された電極と、前記電極を覆うように前記圧電材料層の上に形成された第１誘電体層と、前記第１誘電体層の上に形成された第２誘電体層とを備え、前記第２誘電体層の音速は、前記第１誘電体層の音速よりも速く、前記第１誘電体層は、アルミナ、ダイヤモンドライクカーボン、炭化珪素及びダイヤモンドからなる群から選ばれるいずれか１種を主成分として含む材料から形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性表面波フィルタの共振点におけるロスの発生を抑制することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、直列共振器７Ａにおけるインターディジタルトランスデューサ電極１０の交差幅重み付け係数を並列共振器８Ａにおけるインターディジタルトランスデューサ電極１２の交差幅重み付け係数よりも小さくしたものである。
この構成により、並列共振器８Ａ、８Ｂにおける反共振点での高いＱ値を担保したまま、直列共振器７Ａ、７Ｂ、７Ｃにおける共振点でも高いＱ値を得ることができ、弾性表面波フィルタの通過特性におけるロスの発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】基板内部に弾性波のエネルギーを閉じ込めることにより、小型の素子を得る。
【解決手段】圧電基板１上にすだれ状電極３、誘電体薄膜４、更に誘電体薄膜５を付着さた基板であり、基板内部に弾性波のエネルギーを閉じ込めた基板を得ることができる。特に、薄膜４として、ＳｉＯ_２薄膜、薄膜５として、ＡｌＮ薄膜を用いることにより、大きな電気機械結合係数（ｋ^２）と周波数温度特性に優れた基板を電極３の膜厚、薄膜４、薄膜５の膜厚を最適の値とすることにより得ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】温度変化による伸縮が十分に抑えられる圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電基板１は、基材１１と、基材１１の一方の主面上に形成された膜１２とから主に構成されている。基材１１において、膜１２を形成する主面は、粗面化された主面１１ａである。この圧電基板１は、基材１１の線膨張係数よりも小さい線膨張係数を有する材料で構成された膜１２を、粗面化された主面１１ａ上に溶射法により形成することにより得られる。 （もっと読む）

【課題】耐電力特性を向上させつつ、動作周波数の高周波数化を図ることができる弾性表面波素子、および、この弾性表面波素子を備える信頼性に優れた電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子１は、ダイヤモンドで構成された硬質層３上に、ＺｎＯで構成された圧電体層４と、Ａｌで構成された櫛歯状電極５、６を備える電極層１０と、ＳｉＯ_２で構成された保護層９とがこの順に積層され、電極層１０の平均層厚をＴ_１、圧電体層４の平均層厚をＴ_２、保護層９の平均層厚をＴ_３、圧電体層４の３次モードの弾性表面波の波長をλ、（２π／λ）をｋとしたときに、下記（１）〜（３）のそれぞれの関係式を満たすことを特徴とする弾性表面波素子。
０．００１≦ｋＴ_１≦０．０２・・・・・・・（１）
１．３≦ｋＴ_２≦２．０・・・・・・・・・・（２）
０．５≦ｋＴ_３≦１．２・・・・・・・・・・（３） （もっと読む）

【課題】反射係数│κ₁₂│／ｋ₀が適度に小さく、電気機械結合係数Ｋ²が大きく、所望とする帯域幅を有し、かつ通過帯域低域側におけるスプリアスを抑制でき、挿入損失の増大を図り得る弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】圧電体２の上面２ａに複数本の溝２ｂが形成されており、該複数本の溝２ｂに金属が充填されてＩＤＴ電極４が形成されており、ＩＤＴ電極４及び圧電体２の上面２ａに誘電体３が形成されており、誘電体２と圧電体３との境界を伝搬するＳＨ型の弾性境界波を利用しており、弾性境界波の波長λとしたときに、ＩＤＴ電極４の厚みＨがＨ＞８２６１．７４４ρ^-1.376であり、かつ密度ρがρ＞３７４５ｋｇ／ｍ³であり、ＩＤＴ電極の厚みＨが溝２ｂの深さと異なっている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】 肩特性が急峻で、且つ、通過帯域近傍の高周波側に減衰極を設けた弾性表面波装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、ラダー型フィルタ回路を構成する第１の弾性表面波フィルタ１と、第１の弾性表面波フィルタ１の通過帯域よりも高い周波数に通過帯域を有する第２の弾性表面波フィルタ２と、を有し、第１の弾性表面波フィルタ１は、ラダー型フィルタ回路の直列腕に接続された、ＩＤＴ電極を含む少なくとも１つの直列腕弾性表面波共振子７ａ〜７ｄと、ラダー型フィルタ回路の並列腕に接続された、ＩＤＴ電極を含む並列腕弾性表面波共振子８ａ〜８ｃと、直列腕弾性表面波共振子７ａ〜７ｄに並列接続されているとともに第２の弾性表面波フィルタ２の通過帯域よりも高い周波数に共振周波数を有する、ＩＤＴ電極を含む弾性表面波共振子１５ａと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 高周波化を図った場合であっても、導体抵抗の増大を抑制でき、十分大きな電気機械結合係数Ｋ²を可能とする弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】 第１の媒質１１と、第２の媒質１２との間にＩＤＴ１３が配置されており、ＩＤＴ１３を厚み方向に２等分した面を境界面とし、該境界面から第１の媒質１１側の弾性境界波のエネルギーをＥ１、該境界面から第２の媒質１２側のエネルギーをＥ２とし、ＩＤＴ１３を構成したときの弾性境界波の音速と、ＩＤＴ１３を構成する最も密度の大きな導体層のみを用いてＩＤＴ１３を構成したときの弾性境界波の音速とが同一となるように、密度が最も大きい導体層単独でＩＤＴ１３を構成した条件において、前記境界面から第１の媒質１１側の弾性境界波のエネルギーをＥ１′、前記境界面から第２の媒質１２側のエネルギーをＥ２′としたときに、Ｅ１／Ｅ２＞Ｅ１′／Ｅ２′とされている、弾性境界波装置１０。 （もっと読む）

少なくとも１つの基材（１）と該基材上に配置され波動伝播に適した１つの層系（３）とを有する指向性バルク超音波連動素子を開示する。層系は、金属化層（３３）と第１誘電体層（３１）と第２誘電体層（３２）とを含む。音波の速度は、第１誘電体層（３１）中よりも第２誘電体層（３２）中で大きい。少なくとも１つの誘電体層はＴｅＯ_２を含む。 （もっと読む）

【課題】弾性境界波を利用しており、煩雑な工法を必要とせず、広帯域のフィルタや共振子に適した電気機械結合係数を得ることができる弾性境界波装置を得る。
【解決手段】ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板２を用いており、該ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板２上にＩＤＴ４が形成されており、ＩＤＴ４を覆うように誘電体３が形成されており、ニオブ酸カリウム系単結晶基板２と誘電体３との境界を伝搬するＰ＋ＳＶ型弾性境界波としてのストンリー波を利用しており、ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板２のオイラー角（φ，θ，ψ）が、図２、図５、図８、図１１、図１４、図１７、図２０、図２３、図２６、図２９、図３２、図３５、図３８、図４１、図４４、図４７、図５０、図５３または図５６のそれぞれにおいて、電気機械結合係数Ｋ^２が９％であることを示す線及び該線よりも電気機械結合係数Ｋ^２が高い領域内のいずれかにある、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】機能素子に加わる応力を低減させる。
【解決手段】一方の基板４０と他方の基板１０との間に形成された封止空間６０内に少なくとも機能素子５０の一部が配置された電子部品の製造方法であって、複数の上記一方の基板を備える第１基板と複数の上記他方の基板を備える第２基板とを貼り合わせる工程と、上記第１基板を上記一方の基板に個片化して上記封止空間を形成する工程と、上記封止空間内の環境を維持するための封止薄膜を上記一方の基板を覆って形成する工程と、上記第２基板を上記他方の基板に個片化する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】耐湿信頼性に優れ、コストが安価で生産能率の高い中空封止素子を提供する。
【解決手段】機械的可動部を有する機能部20と、内部電極70と、機能部20と内部電極70を取り囲むスペーサ層40とを絶縁性基板10上に形成し、それらの上にカバー層50を設置して、機能部20とカバー層50の間に空隙90を形成するとともに封止する中空封止素子において、機能部20および内部電極70の全表面を、水分を透過しない保護膜30で覆ったことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スプリアスを抑圧し、共振のＱ値の劣化や、挿入損失の劣化を抑え、優れた特性の弾性表面波共振子を得ることを目的とするものである。
【解決手段】櫛型電極１３は、中央部から外側に向かって徐々に交差長が短くなるようにアポダイズされており、最大交差長の幅（Ｈｔ）からなるトラックＡ領域１６と、一対のバスバー１２とトラックＡ領域１６の間に配置されるトラックＢ領域１７とから構成され、トラックＢ領域１７の少なくとも一部の領域において、交差電極１４と交差電極１４に弾性表面波の伝播方向に隣接するダミー電極１５とで形成されている間隙部に電極を形成することにより重み付けパターン１８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造工程における切断領域への異物の付着やウエハ反りを抑制すること。
【解決手段】本発明は、弾性波素子が形成された基板（１０）上に、弾性波素子の弾性波が振動する機能領域（４０）が第１非被覆部（５０）および個片化するための切断領域（４２）が第２非被覆部（５２）となるように第１封止部（２２）を形成する工程と、第１非被覆部（５０）および第２非被覆部（５２）に蓋をするように、第１封止部（２２）上に第２封止部（２４）を形成する工程と、第２非被覆部（５２）を分割するように基板（１０）および第２封止部（２４）を切断する工程と、を有する弾性波デバイスおよびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】製造工程の簡略化および製造工程における弾性波素子の破壊または劣化を抑制すること。
【解決手段】本発明は、ウエハを個片化するための切断領域（４２）に連続して形成された第１導電パターン（１８）と、メッキ電極を形成すべき電極領域（４４）に設けられ弾性波素子と接続された第２導電パターン（１４ａ）と、第１導電パターンと第２導電パターンとを接続する第３導電パターン（１４ｂ）と、を含む導電パターン（１４、１８）を、弾性波素子が形成された圧電基板からなるウエハ上に形成する工程と、第２導電パターン上に開口部を有するようにウエハ上に絶縁層を形成する工程と、第１導電パターンおよび第２導電パターンを介し電流を供給し第３導電パターン上に前記メッキ電極（２８）を形成する工程と、切断領域において、ウエハを切断し個片化する工程と、を具備することを特徴とする弾性波デバイスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】封止部と基板および配線との密着性を向上させ、高い信頼性を有する弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明に係る弾性波デバイスは、圧電性基板（１０）上に設けられた櫛型電極、反射器等からなる弾性表面波素子（１２）と、圧電性基板（１０）上に設けられ、弾性表面波素子（１２）と電気的に接続する配線（１４）と、弾性表面波素子（１２）の機能部分上に空洞部（２０）を有し、弾性表面波素子（１２）と配線（１４）とを覆うように設けられた封止部（２４）と、圧電性基板（１０）および配線（１４）と封止部（２４）との間に設けられた絶縁膜層（３０）と、を具備する弾性波デバイスである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性表面波共振器のスプリアスを抑えて、リップルの小さい優れた特性を有する弾性表面波フィルタ、およびアンテナ共用器を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の弾性表面波フィルタは、圧電基板上に形成された並列腕の弾性表面波共振器１２０１と直列腕の弾性表面波共振器１２０２とにより構成され、弾性表面波共振器の上部はＳｉＯ₂薄膜で覆われている。並列腕の弾性表面波共振器１２０１の共振周波数は、直列腕の弾性表面波共振器１２０２の共振周波数より低く設定されており、並列腕の弾性表面波共振器のメタライゼーションレシオが直列腕の弾性表面波共振器のメタライゼーションレシオよりも大きい構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】ほう酸リチウム単結晶基板を用いたＳＡＷ素子の特性劣化を最小に留め、かつ基板の耐湿信頼性を確保し得るように絶縁膜で基板表面を被覆する。
【解決手段】ＳＡＷ素子１０は、四ほう酸リチウム単結晶の圧電基板１１に電極膜１６を形成し、その上に形成したレジストパターン１７を用いて電極膜をエッチングしてＩＤＴ１２を形成し、露出した基板表面をオーバエッチングしかつ残存するレジスト材料を除去した後、ＩＤＴを含む基板上にＳiＯ_２の絶縁膜を形成する。オーバエッチングの深さｄを０．００５〜０．０３５μｍとし、絶縁膜の厚さｔをｔ＞ｄかつ３５０Å＜ｔ＜９００Åに設定する。更に絶縁膜の厚さｔを電極膜の厚さＴに関して０．１８Ｔ＜ｔ＜０．４２Ｔを満足するように設定する。 （もっと読む）