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【課題】複数の導体層を積層した電極指を有するIDT電極において、導体層の破断や剥離等の発生を抑制し、耐久性を高めた弾性表面波素子及びそれを搭載した弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子1は、圧電基板10上に電極指11aを有するIDT電極11を備えている。電極指11aは、中間層12と、中間層12に比べて大きな熱膨張係数を有する電極層13が積層されてなる。電極指11aは、圧電基板10に近づく方向に広がる台形形状となる断面形状を有している。中間層12の側面1の成す角度αは、電極層13の側面との成す角度βと異なっている。 (もっと読む)


【課題】複合圧電基板において異種の材料の熱膨張率の違いに起因する熱応力による反りを抑制し、クラックやハガレの発生を抑制することができる複合圧電基板、及び該複合圧電基板から作製される弾性表面波素子の提供。
【解決手段】圧電基板2と剛体板3が、直接又は接着層4を介して接合された複合圧電基板1であって、前記圧電基板2の外周部の厚さは中央部よりも薄く、前記剛体板3の外周部の厚さは中央部よりも厚いものである複合圧電基板1。 (もっと読む)


【課題】圧電素子の周波数を調整した後、減圧雰囲気から常圧(大気状態)に戻されることによる、圧電素子の周波数変化を抑制する。または、アニール処理により、発生してしまうアウトガスが圧電素子に付着することによる、圧電素子の周波数変化を抑制することが可能な周波数精度の優れた弾性圧電波デバイスを提供する。
【解決手段】SAW素子1は接続端子としての金属パッド23により、収納室20内の基板5上に固定されるので、気圧の変化による金属パッド23の膨張または収縮によるSAW共振子10の共振周波数の変化を抑制し、共振周波数の精度の優れたSAW共振子10を提供することができる。また、接続端子としての金属パッド23は、アニール処理などによりアウトガスが発生しないので、アウトガスの付着などによる共振周波数の変化を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】LBO基板の水に対する潮解性を防止しつつ温度特性を限りなく小さくでき、周波数帯2〜3GHzでの良好な特性を持つ表面弾性波装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面弾性波装置1は、オイラー角(0°,35〜50°,90°)のLBO基板10と、LBO基板10の表面に設けられ、KH0.05〜0.10の酸化膜あるいは窒化膜からなる保護膜11と、保護膜11上に設けられ、KH0.04〜0.15の電極20と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】
長時間の遅延時間を有すSAWチャープフィルタをマルチストリップカプラで実現する。
【解決手段】
ダウンチャープ特性を有するSAWチャープフィルタの前後にチャープ信号を発生させる電気回路が接続されたSAWチャープZ変換器から構成されるOFDMシステムで、長遅延時間のLiNbO基板を使ったSAWチャープフィルタからなる。
【効果】以上のとおり、本発明の弾性表面波装置は、移動体通信分野の信号処理に適用できる弾性表面波を用いてコンボリューションを行うSAW分散型遅延線から構成されてなる1つのSAWチャープフィルタでSAWチャープZ変換を実現したOFDMシステムで、その工業的価値は極めて高い。 (もっと読む)


【課題】信号レベル検波方式を利用し、シンプル且つ小型な回路で、複数の素子部の応答の検波を容易に実現できる弾性表面波素子、センサ、センシングシステム、及び状態検知方法を提供すること。
【解決手段】測定用素子部19と参照用素子部21との間に、遅延線の構造を有する第1遅延部51を備えているので、測定用素子部19から出力される信号を参照用素子部21から出力される信号に対して遅延させることができる。つまり、測定用素子部19から出力される信号と参照用素子部21から出力される信号とを、時間的にずらすことができる。従って、測定用素子部19から出力される信号と参照用素子部21から出力される信号とを、無線によって送信した場合でも、その信号を受信した外部装置3では、両信号の時間的ずれにより、両信号を分離することができる。 (もっと読む)


本発明は、自然一方向性を有する音響表面波用変換器に関しており、
ここではインターデジタル電極構造体が圧電結晶基板に配置されており、この電極構造体は、集電電極および櫛歯からなるインターデジタル変換器によって形成されており、
これらの櫛歯のうちの少なくとも2つの櫛歯は、変換器セルを構成し、これらの変換器セルは、電位の波を励起する少なくとも1つの励起中心部と、電位の波反射する反射中心部とを有している。本発明の課題は、自然一方向性を有する変換器に対し、帯域の広い変換器の場合であっても挿入減衰が小さい材料、材料断面および伝搬方向を見つけることであり、またこの変換器の一方向特性にもかかわらず周波数位置が、基板上で電極構造体を配向する際の誤差によって影響を受けないかまたはわずかにしか影響を受けないようにすることである。本発明の重要な1特徴的構成によれば、上記の櫛歯は、向きRに対して垂直に配向されており、ここで向きRは、基板結晶の1回回転軸または3回回転軸に対して平行であり、またRに対して微分dv/dθ=0が成り立ち、ただしvは表面波の位相速度であり、θは櫛歯方向に対する垂直線と、上記の向きRとの角度偏差である。本発明の別の1特徴的構成によれば、上記の電極材料およびその層厚を選択して、各変換器セルにおける励起中心部と反射中心部との間の位相シフトΦsが、式sin2s)=(ωo2s2)(ωs2s1)/(ωs2s1)(ωo1o2s1s2)により、41.4°と48.6°との間か、-48.6°と-41.4°との間か、131.4°と138.6°との間か、または-138.6°と-131.4°との間にあるようにする。本発明による変換器は、機能の仕方が音響表面に基づくものであれば、例えばセンサ、識別素子(IDタグ)、共振器、フィルタ、遅延線路および発振器などに適用可能である。 (もっと読む)


【課題】表面弾性波素子に電気信号を印加したり、表面弾性波素子から信号を検出したりする過程で漏れ電流が発生することを防止することができる表面弾性波素子、表面弾性波装置、及びこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】表面弾性波素子10は、圧電物質からなる基板20と、上記基板上に位置し互いに離間する複数の第1電極22と、上記基板上に上記第1電極22と離間して位置し互いに離間する複数の第2電極40、及び上記複数の第1電極22及び上記複数の第2電極40のそれぞれに位置する酸化膜24とを含んでなる。 (もっと読む)


【課題】LBO基板からなる圧電基板上にIDTを形成したトランスバーサル型SAWフィルタにおいて周波数温度特性を向上させる。
【解決手段】カット面及びSAW伝搬方向がオイラー角(φ,θ,ψ)表示でφ=(27.15±8.35°)+90°×n、(但し、n=0〜3)又はφ=(62.85±8.35°)+90°×n、(但し、n=0〜3)、θ=90±7.5°、及びψ=90±12°であるLi247からなる圧電基板2上に、レイリーSAWを励振する一方向性の入力用及び出力用IDT3,4をSAW伝搬方向に沿って配置する。 (もっと読む)


【課題】 外形の占有面積の大きさが内蔵する弾性表面波素子とほぼ等しいまでに小型化が可能で、かつ、信頼性の高い表面実装可能な弾性表面波装置を提供すること、及びインピーダンス調整機能やより多機能な電気回路を複合することができる弾性表面波装置を提供すること。
【解決手段】
圧電基板1と、圧電基板上に配置される励振電極2と、前記圧電基板上に配置され、励振電極2に接続される配線電極3と、励振電極2の振動空間9を構成するとともに、外周縁が圧電基板1の直上領域内に位置するようにして前記圧電基板上に配置されるカバー体4と、カバー体4を覆う樹脂からなる絶縁性保護体6と、前記絶縁性保護体上に配置される外部電極7と、前記絶縁性保護体内に設けられ、配線電極3に接続されるインダクタ成分と、を備えた構成とする。 (もっと読む)


【課題】耐電力性(マイグレーション耐性)のさらなる向上を図るとともに温度変化による周波数変動を抑えた信頼性の高い弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】酸化亜鉛を主成分とする圧電体層4を有する基板2と、前記基板2上に形成された少なくとも一対の櫛歯型電極5a,5bからなるIDT6と、を有し、前記櫛歯型電極5a,5bは、Al−Ti合金からなる第1電極層16Aと、Al−Nd合金からなる第2電極層16Bとが前記圧電体層4上にこの順で積層されて構成されている。 (もっと読む)


【課題】スプリアス特性を抑制すること。
【解決手段】圧電基板と、圧電基板の表面上に形成され複数の電極指を有するIDTと、を具備し、圧電基板は、圧電基板表面の電極指の長手方向をy軸、圧電基板表面のy軸に垂直な方向をx軸、圧電基板の法線方向をz軸としたとき、x軸およびz軸方向の変位を成分とする第1表面波モードとy軸方向の変位を成分とする第2表面波モードとを有し、電極指の膜厚は、第1表面波モードの反共振点(SAWモードの反共振点1)の伝搬速度と第2表面波モードの反共振点(SH−SAWモードの反共振点1)の伝搬速度とが一致する膜厚hc/λである弾性表面波デバイスおよび弾性波フィルタである。 (もっと読む)


【課題】高周波領域において広帯域化を図ることができるSAWフィルタ装置を提供する。
【解決手段】所定の中心周波数とは異なる中心周波数で、帯域幅が所定帯域幅より狭い複数のSAWフィルタ12a、12bと、複数のSAWフィルタ12a、12bの入出力ラインに夫々設けられ、何れかのSAWフィルタを選択するために連動して切り替わる切替スイッチ3、4と、を備え、複数のSAWフィルタ12a、12bは、回転Yカット角を結晶Z軸より反時計方向に40°±20°の範囲に設定し、且つ、SAWの伝搬方向を結晶X軸に対して90°±3°に設定した水晶基板11と、この水晶基板11上に形成され、Al又はAlを主成分とする合金からなりSH波を励振するIDT13、14とを有し、励振するSAWの波長をλとしたとき、IDT13,14の膜厚が0.06λ以下となるようにした。 (もっと読む)


【課題】四硼酸リチウム圧電基板を用いた弾性表面波デバイスおいて、共振周波数より高周波側に生じる、バルク波に起因するスプリアスを抑圧すると共に、圧電基板の裏面を装置で吸引する際のエラーを低減する手段を得る。
【解決手段】四硼酸リチウム圧電基板の表面上に少なくとも1つのIDT電極を備えた弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板の裏面に、前記IDT電極によって励起される弾性表面波の伝搬方向に対し、傾斜角θ(0°<θ≦90°)を有する複数の溝を備え、前記溝は、エッチング工程により前記圧電基板の裏面の周縁部を残して形成され弾性表面波デバイスを構成する。 (もっと読む)


【課題】四硼酸リチウム圧電基板を用いた弾性表面波デバイスの共振周波数の高周波側に生じる、バルク波に起因するスプリアスを抑圧する手段を得る。
【解決手段】四硼酸リチウム圧電基板の表面上に少なくとも1つのIDT電極を備えた弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板の裏面に前記IDT電極によって励起される弾性表面波の伝搬方向に対し、傾斜角θを有する複数の溝を備え、前記溝は前記圧電基板の厚さHの29%より深くした弾性表面波デバイスを構成する。 (もっと読む)


【課題】使用温度範囲が広く、周波数温度特性が優れる高精度で小型の結合型SAW共振子を提供する。
【解決手段】結合型SAW共振子10は、オイラー角表示(φ,θ,ψ)で表されるSHカットの水晶基板100の主面上に、特定の方位に主IDT電極121、副IDT電極122と反射器123,124とを配設した2ポート型の第1共振子120と、主IDT電極131、副IDT電極132と反射器133,134と、を配設した2ポート型の第2共振子130とを近接して設け、且つSH波の伝搬方向に平行に並設し、第1共振子120を縦方向のLS0モードで動作させ、第2共振子130を縦方向のLA0モードで動作させ、IDT電極の線幅L1,L2を異ならせてLS0モードとLA0モードの基本周波数を略一致させたうえで、LS0モードとLA0モードとを弾性結合状態で動作させる。このことにより、温度特性カーブを平坦化することができる。 (もっと読む)


【課題】SH型弾性境界波を利用しており、煩雑な工法を採用することなく得ることができ、広帯域のフィルタや共振子に適した電気機械結合係数を得ることができる弾性境界波装置を得る。
【解決手段】ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2を用いており、該ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2上にIDT4が形成されており、IDT4を覆うように誘電体3が形成されており、ニオブ酸カリウム系単結晶基板2と誘電体3との境界を伝搬するSH型弾性境界波を利用しており、ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2のオイラー角(φ,θ,ψ)が、図2、図5、図8、図11、図14、図17、図20、図23、図26、図29、図32、図35、図38、図41、図44、図47、図50、図53または図56のそれぞれにおいて、電気機械結合係数Kが9%であることを示す線及び該線よりも電気機械結合係数Kが高い領域内のいずれかにある、弾性境界波装置1。 (もっと読む)


【課題】弾性境界波を利用しており、煩雑な工法を必要とせず、広帯域のフィルタや共振子に適した電気機械結合係数を得ることができる弾性境界波装置を得る。
【解決手段】ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2を用いており、該ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2上にIDT4が形成されており、IDT4を覆うように誘電体3が形成されており、ニオブ酸カリウム系単結晶基板2と誘電体3との境界を伝搬するP+SV型弾性境界波としてのストンリー波を利用しており、ニオブ酸カリウム系圧電単結晶基板2のオイラー角(φ,θ,ψ)が、図2、図5、図8、図11、図14、図17、図20、図23、図26、図29、図32、図35、図38、図41、図44、図47、図50、図53または図56のそれぞれにおいて、電気機械結合係数Kが9%であることを示す線及び該線よりも電気機械結合係数Kが高い領域内のいずれかにある、弾性境界波装置1。 (もっと読む)


【課題】 弾性表面波の横方向(伝搬方向に直交する方向)の漏洩波を抑制して挿入損失を向上させ、高品質な平衡型弾性表面波フィルタとしても機能する弾性表面波装置及び通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、圧電基板1上に、圧電基板1上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたIDT電極3〜5と、IDT電極3〜5の両側にそれぞれ配置され、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極6,7とを有する弾性表面波素子2が形成されており、反射器電極6,7は、弾性表面波の波長の半分以下の幅を有するバスバー電極11,12が反射器電極6,7の電極指13,14の形成領域の内部に伝搬方向に沿って形成されている。 (もっと読む)


【課題】 通過帯域内の微小リップルを抑制し、挿入損失が向上する弾性表面波装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子14は、中央のIDT電極3の両端の信号用電極指と、IDT電極2,4のIDT電極3側の端の信号用電極指との間の接地用電極指がn本であり、IDT電極間で隣接する電極指の極性がIDT電極3を中心に対称である。弾性表面波素子15は、中央のIDT電極6の一端の信号用電極指と、IDT電極5の一端側の端の信号用電極指との間の接地用電極指の本数がn−1本で、IDT電極6の他端の信号用電極指と、IDT電極7の他端側の端の信号用電極指との間の接地用電極指の本数がn+1本であり、IDT電極間で隣接する電極指の極性がIDT電極間の電極指間ギャップの中心C,Dに対称である。IDT電極の電極指ピッチがIDT電極6の中心の電極指間ギャップの中心Eに対称である。 (もっと読む)


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