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Fターム[5J097GG04]の内容

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Fターム[5J097GG04]に分類される特許

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【課題】 不要な弾性表面波を確実に吸収するとともに、小型化に寄与する。
【解決手段】 弾性表面波素子1は、圧電性基板2上に形成された入力電極部3、出力電極部4、及び遮蔽用電極部5と、中空部6を残して圧電性基板2を覆うとともにその一部が吸収部7,8として機能するモールド樹脂層9とを備えている。ここで、中空部6には、入力電極部3、出力電極部4、及び遮蔽用電極部5と、弾性表面波の伝搬領域とが収容されている。吸収部7(8)は、不要な弾性表面波を吸収する機能と、樹脂モールドとしての機能とがともに十分果たされるように、その弾性表面波の伝搬方向に沿った幅が、所定値以上となるように形成される。 (もっと読む)


本発明は,音響波の横方向放射による損失を低下させた電気音響変換器を提供する。そのために変換器は,中央励起領域(ZAB)と,中央励起領域(ZAB)の両側に隣接する内縁領域(IRB)と,内縁領域(IRB)に隣接する外縁領域(ARB)と,外縁領域(ARB)に隣接するバスバー領域(SB)とを備える。これら領域内における縦方向速度は,ピストンモードによる励起プロファイルが得られるよう設定されている。 (もっと読む)


【課題】ラダー型弾性波フィルタのQ値劣化を抑制する。
【解決手段】本発明のラダー型弾性波フィルタは、直列共振器と並列共振器とを梯子状に接続したラダー型弾性波フィルタであって、信号経路とグランドとの間に接続されると共に、前記ラダー型弾性波フィルタの通過帯域の2倍以上3倍以下の周波数に減衰極を形成する第1並列共振器及びこれに直列接続されたインダクタと、信号経路とグランドとの間に接続されると共に、前記第1並列共振器より容量の小さい第2並列共振器19とを備え、前記第2並列共振器19は互いに音響結合される複数の入出力IDT電極対25、26、27を有すると共に、前記複数の入出力IDT電極対25、26、27は直列接続された構成である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、櫛型電極の本数が多く容量を大きくした場合においても、スプリアスが抑制された広帯域の弾性表面波共振器を提供する。
【解決手段】本発明の弾性表面波共振器は、圧電基板10と、圧電基板10上に設けられた櫛型電極11を有する第1の弾性表面波共振器20と、圧電基板10上に設けられた櫛型電極12を有する第2の弾性表面波共振器30とを備え、第1の弾性表面波共振器20および第2の弾性表面波共振器30は、アポダイズが施された構成であって、かつ、並列に接続されており、また、第1の弾性表面波共振器における櫛型電極の本数と第2の弾性表面波共振器における櫛型電極の本数とは異なる構成とした。 (もっと読む)


【課題】弾性表面波デバイスや境界波デバイスに用いられる弾性波デバイスにおいて、ブレークダウンモードの発生を抑制出来る弾性波デバイスの提供。
【解決手段】弾性波デバイス1は、圧電体2と、圧電体2の上に設けられ、銅を含むIDT電極3とを備え、圧電体2の材料はストイキオメトリ組成のタンタル酸リチウム系またはニオブ酸リチウム系である。これにより、コングルエント組成の圧電体と比較して上記空隙が減少する。その結果、圧電体の結晶欠陥が減少する。従って、弾性波デバイスを製造するプロセス中の熱工程や高い電力の入力によって、IDT電極を構成する銅が溶融し圧電体の結晶の中へ拡散するのを抑制し、ブレークダウンモードによる弾性波デバイスの破壊を防止する。 (もっと読む)


【課題】銅(Cu)と同レベルの電気機械結合係数k2及び反射率が得られる、アルミニウム(Al)電極を備えた弾性波素子を実現する。また、弾性波素子の製造プロセスを簡略化する。
【解決手段】圧電基板11と、圧電基板11上に配され、アルミニウムもしくはアルミニウムを主成分とする合金を含むIDT電極12と、IDT電極12の電極間または電極間の上部に配され、アルミニウムよりも音速が遅い音速調整部材14と、IDT電極12及び音速調整部材14を被覆する絶縁膜13とを備えている。 (もっと読む)


【課題】熱処理や耐湿試験後も複合圧電チップの圧電体部にワレ・カケや剥離が生じず、弾性表面波素子としての電気的特性が安定に保たれる信頼性に優れた複合圧電チップ及びその製造方法の提供。
【解決手段】圧電基板1と支持基板2とを貼り合わせた複合圧電基板3を細分化した複合圧電チップ4であって、該複合圧電チップ4は、前記複合圧電基板3を該複合圧電基板3の圧電体部の厚みよりも深く切り込みを入れた後に細分化したものであり、該複合圧電チップ4の圧電体部側面の面粗さ(Ra)が、0.15μm以下のものである。 (もっと読む)


【課題】弾性波素子上に気密性に優れた空洞部を有し、かつ外部電極の構造が単純で製造が容易な弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板10に設けられた弾性表面波素子12と、圧電基板10上に設けられ、弾性表面波素子12に電気的に接続する複数の電極部14と、弾性表面波素子12上に空洞部16を有し空洞部16の側面および上面を覆うように圧電基板10上に設けられた金属キャップ18と、金属キャップ18を覆うように圧電基板10上に設けられた樹脂封止部22と、金属キャップ18の外側において樹脂封止部22を貫通して複数の電極部14それぞれの上面に設けられた、金属キャップ18と同じ金属で単一の金属からなる金属ポスト24と、を具備する弾性波デバイスである。 (もっと読む)


【課題】ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法を提供する。
【解決手段】すだれ状電極26は、ギャップ34、36によってトンネル効果を抑制又は排除するために十分に拡張されたエッジギャップ長を、電極の端部と対向するバスバー16,18との間に含む。結果として、長手方向に延びるエッジ領域54,56内での音響波の波速度がトランスデューサ中央領域46での波速度より遅く、対向するギャップ領域38,40での波速度がトランスデューサ中央領域での速度より速くなり、トランスデューサ26の開口部では本質的に均一な伝搬モードが生じる。高結合基板上のSAWトランスデューサ又はSAW共振器では、アポディゼーションを必要とせずにトランスデューサ領域でエネルギーを誘導する。等価結合係数が大きくなり損失が減少する。 (もっと読む)


【課題】広帯域・低損失・超角型で、位相特性に優れた弾性表面波機能素子を実現する。
【解決手段】圧電性基板1または/或いは圧電性薄膜基板表面上に、弾性表面波を励振または受信するすだれ状電極を有する弾性表面波機能素子において、伝搬方向に向かって徐々に電極幅及び周期が短くなる正負の電極を交互に配置した、ダウン方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極、あるいは伝搬方向に向かって徐々に電極幅及び周期が長くなる正負の電極を交互に配置した、アップ方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極を構成し、これらを相互に組み合わせることにより、その方向性を向かい合わせ、周波数の変化に対して遅延時間が変化しない非分散型遅延線及びフィルター、又は周波数の増加ともに遅延時間が長く/短かくなるアップ/ダウン型分散型遅延線及びフィルターを実現する。 (もっと読む)


【課題】圧電素子の周波数を調整した後、減圧雰囲気から常圧(大気状態)に戻されることによる、圧電素子の周波数変化を抑制する。または、アニール処理により、発生してしまうアウトガスが圧電素子に付着することによる、圧電素子の周波数変化を抑制することが可能な周波数精度の優れた弾性圧電波デバイスを提供する。
【解決手段】SAW素子1は接続端子としての金属パッド23により、収納室20内の基板5上に固定されるので、気圧の変化による金属パッド23の膨張または収縮によるSAW共振子10の共振周波数の変化を抑制し、共振周波数の精度の優れたSAW共振子10を提供することができる。また、接続端子としての金属パッド23は、アニール処理などによりアウトガスが発生しないので、アウトガスの付着などによる共振周波数の変化を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】長期信頼性に優れ、温度特性改善効果が高い弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、圧電基板2と、該圧電基板2に接着層4を介して貼り合わされた支持基板3と、前記圧電基板2の接着面と反対側の面に形成された弾性表面波を励振する櫛形電極5とを備え、前記接着層4のガラス転移点Tgが200℃以下である弾性表面波素子1。 (もっと読む)


【課題】増幅度を高めるためにバイアス電圧を高めたとしても半導体において生じた熱を速やかに放散することができ、従って半導体による増幅作用を安定にかつ確実に利用することができる弾性波装置を得る。
【解決手段】圧電基板2と、前記圧電基板2の上に形成されている誘電体層14と、前記圧電基板2と前記誘電体層14との間の境界に形成されているIDT電極3,4と、前記誘電体層14に接するように設けられた半導体層9とを備え、前記圧電基板2と前記誘電体層14との間の境界を伝搬する弾性境界波を利用した弾性境界波装置であって、前記半導体層9は、前記弾性境界波によって発生する電界と、前記半導体層9中のキャリアとが結合するように設けられており、前記半導体層中のキャリアの移動速度が、前記弾性境界波の伝搬速度よりも高い、弾性境界波装置1。 (もっと読む)


【課題】本発明は、弾性波フィルタ装置及びこれを用いたデュプレクサ及び電子機器の帯域高域部分の挿入損失劣化を低減させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の弾性波フィルタ装置10は、第1の弾性波フィルタ15と第2の弾性波フィルタ16とを備え、第1の弾性波フィルタ15は、第1の縦結合型弾性波フィルタ15aと第2の縦結合型弾性波フィルタ15eとを備え、第1の不平衡信号入力部15b及び第2の不平衡信号入力部15fは入力部12と電気的に接続され、第1の平衡信号出力部15c及び第3の平衡信号出力部15gは入出力部13aと電気的に接続され、第2の平衡信号出力部15d及び第4の平衡信号出力部15hは入出力部13bと電気的に接続される。 (もっと読む)


【課題】基板と保護カバーとの間に剥離が生じにくく信頼性に優れた弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波を伝搬させる基板3と、基板3の主面上に配置された励振電極と、基板3の主面上に立設され、励振電極と電気的に接続される複数個の第1の柱状導体15と、基板3の主面上に立設され、電気的に浮き状態とされている第2の柱状導体16と、励振電極の振動空間17を構成するとともに、第1の柱状導体15の側面および第2の柱状導体16の側面を覆う保護カバー9と、を有する構造にする。 (もっと読む)


【課題】高い品質係数(Q値が数千以上)を有し、かつ、k2が2〜6%の範囲である境界弾性波装置を実現することのできる技術を提供する。
【解決手段】所定のカット角θを有するθYX−LN単結晶圧電基板1の表面に、境界弾性波の波長λの交差指形変換器(IDT)、酸化珪素膜5、および窒化アルミニウム膜6が形成された境界弾性波共振器において、酸化珪素膜5の膜厚hおよびカット角θ等を最適化する。例えば127.5°≦θ≦129.5°かつ20%≦h/λ≦100%とする。 (もっと読む)


【課題】誘電体膜表面の凹凸を抑制し、かつ誘電体膜の膜厚の精度を向上させること。
【解決手段】圧電性基板10と、前記圧電性基板10上に設けられた櫛型電極12と、前記櫛型電極12を覆い、前記櫛型電極12より高い誘電体膜16と、前記圧電性基板10上に設けられ、前記誘電体膜16と同じ高さを有し、少なくとも下部に金属層を含み、最上面は前記誘電体膜16より研磨速度の遅い材料であるストッパ層14と、を具備する弾性波デバイス。 (もっと読む)


【課題】多結晶支持基板と圧電基板との接着強度をより高めることができる複合基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複合基板10は、圧電基板12と、第1支持基板14と第1平滑層16とを有する支持基板17と、第1接着層19とを備えたものである。第1支持基板14は、圧電基板12の表面粗さより大きい表面粗さを有する多結晶基板である。第1平滑層16は第1支持基板14の表面に溶着されて、支持基板17の表面に第1支持基板14の表面粗さより小さい表面粗さの表面を形成するものである。このような支持基板17は、平滑な表面を有するため、圧電基板12との接着強度をより高めることができる。また、溶着によって第1平滑層16が形成されているから、第1平滑層16と第1支持基板14とが剥離しにくい。このため圧電基板と支持基板との接着強度をより高めることができる。 (もっと読む)


【課題】弾性表面波の漏れを改善した弾性表面波共振器の提供。
【解決手段】圧電基板と、前記圧電基板の上面に設けられた櫛型電極102と、前記櫛型電極102を覆う誘電体薄膜とを備えた弾性表面波共振器であって、前記櫛型電極102は、バスバー電極領域105とダミー電極領域106と交差領域107とを含む構成であって、前記バスバー電極領域105の上部において、前記誘電体薄膜の厚みが前記交差領域上部の前記誘電体薄膜の厚みよりも薄い構成である。この構成で、弾性表面波の横方向の漏れを改善して、特性に優れた弾性表面波共振器を実現することができる。 (もっと読む)


【課題】同一圧電基板上に、複数の弾性波フィルタを精度よく形成し、かつ特性の改善が可能な弾性波デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電基板2上に第1金属膜4を形成する工程と、第1金属膜4をドライエッチングすることにより、圧電基板2上に第1金属膜4から第1IDT8を形成する工程と、第1IDT8上にレジスト10を形成する工程と、レジスト10上、及び圧電基板2上に、第1金属膜4とは膜厚及び材料の少なくとも一方が異なる第2金属膜12を形成する工程と、第2金属膜12をドライエッチングすることにより、圧電基板2上に、第2金属膜12から第2IDT16を形成する工程と、を有する弾性波デバイスの製造方法。 (もっと読む)


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