説明

Fターム[5J097GG04]の内容

弾性表面波素子とその回路網 (15,777) | 基板特性 (1,360) | 圧電基板カット (990) | LiNbO3 (330)

Fターム[5J097GG04]に分類される特許

101 - 120 / 330


【課題】基板の面積を大きくすることなく、肩特性を急峻にすることができる弾性表面波フィルタを提供すること。
【解決手段】弾性表面波フィルタ10は、圧電基板11、斜め電極指12〜15、第1反射器群16、第2反射器群17を備え、斜め電極指12及び13と斜め電極指14及び15との間には、複数の反射器16aを有する第1反射器群16と、複数の反射器17aを有する第2反射器群17とを備え、第1反射器群16は、通過帯域の低域側周波数よりも予め定めた周波数だけ低い周波数成分の弾性表面波を反射し、第2反射器群17は、通過帯域の高域側周波数よりも予め定めた周波数だけ高い周波数成分の弾性表面波を反射する構成を有する。 (もっと読む)


【課題】圧電基板と支持基板とを有機接着層を介して貼り合わせた複合基板と、リフトオフ加工を用いて精度よく所望の金属パターンを形成できるようにする形成方法を提供する。
【解決手段】複合基板10は、フォトリソグラフィに使用される光線を透過可能な圧電基板11と圧電基板11を支持する支持基板12とを有機接着層13により貼り合わせたものである。この複合基板10のうち支持基板12及び有機接着層13の少なくとも一方は、フォトリソグラフィに使用される光線を吸収可能である。これにより、この複合基板10では、フォトリソグラフィを用いたリフトオフ加工により所望の金属パターンが圧電基板の表面に形成される。 (もっと読む)


【課題】横モードスプリアスが十分に抑圧されており、挿入損失の低い弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置1は、正規型IDT電極10と、第1及び第2の膜23,24とを備えている。正規型IDT電極10は、第1及び第2のバスバー10c、10fと、複数本の第1及び第2の電極指10d、10gと、第1及び第2のダミー電極10e、10hとを有する。第1及び第2の膜23,24は、ダミー電極10e、10hの少なくとも一部と、電極指10d、10gの少なくとも一部を覆うように、かつギャップに至らないように形成されている。第1の膜23の第2のバスバー10f側の端面23aと、第2の膜24の第1のバスバー10c側の端面24aとのそれぞれは、弾性波伝搬方向xに対して傾斜している。 (もっと読む)


【課題】圧電基板と支持基板とを貼り合わせた弾性表面波素子につき、温度が変化したときの圧電基板の大きさの変化を抑制しつつ、スプリアスの発生を抑制する。
【解決手段】弾性表面波素子は、弾性波を伝搬可能なLT基板10と、LT基板の表面に設けられ弾性表面波を励振可能な櫛形電極16,17と、LT基板と貼り合わせられ圧電基板の裏面よりも粗く且つこのLT基板から伝搬してきたバルク波を散乱させる粗さの裏面を有し熱膨張係数がLT基板よりも小さいシリコン基板12と、LT基板10とシリコン基板12とを接着する有機接着層14とを備える。 (もっと読む)


【課題】周波数のばらつきが小さいラム波装置を提供する。
【解決手段】ラム波装置102は、圧電体薄膜106と、圧電体薄膜106の主面に設けられたIDT電極108と、IDT電極108及び圧電体薄膜106の積層体104を支持し、積層体104を離隔させるキャビティ180が形成された支持構造体122とを備える。圧電体薄膜106の膜厚h及びIDT電極108のフィンガー110のピッチpは、圧電体薄膜106の膜厚hに対する音速vの分散性が小さくなるラム波が目的の周波数において励振されるように選択される。 (もっと読む)


【課題】圧電基板と支持基板とを貼り合わせただけのものに比して温度の変化に対する大きさの変化が少なく弾性波素子に用いられる複合基板を比較的簡単に製造する。
【解決手段】シリコン基板12と、SAWを伝搬可能なLT基板10と、LT基板10と同じ形状の樹脂フィルム18とを用意する。次に、LT基板10に有機接着剤13を塗布しシリコン基板12と貼り合わせると共に樹脂フィルム18をシリコン基板12に重ね合わせた後加熱して貼り合わせ基板16を形成する。続いて、LT基板10の表面を研磨定盤により研磨することによりこのLT基板10の厚みを薄くすると共にその表面を鏡面研磨する。 (もっと読む)


【課題】整合回路をパッケージ内に備え、低背で気密性の高い弾性波フィルタ装置を構成する。
【解決手段】弾性波フィルタ装置101は、弾性波素子60、ベース基板50、バンプ72,73、気密封止枠71、外装樹脂80を備えている。弾性波フィルタ装置101は、複数の弾性表面波フィルタで構成され、圧電基板の一方の主面上にインター・ディジタル・トランスデューサ電極(IDT電極)と、このIDT電極に接続される配線電極が設けられている。また、圧電基板の外周には、全周にわたってlDT電極や配線電極を取り囲むように気密封止枠71が設けられている。ベース基板50は、上部がセラミック基板40、下部が樹脂基板30で構成されている。ベース基板50の下部をなす樹脂基板30の内部には、整合回路を構成する導体パターン33、底面には.実装端子34,35がそれぞれ形成されている。 (もっと読む)


【課題】通過帯域高域側のフィルタ特性の急峻性が高く、かつVSWR特性が良好なラダー型フィルタ及びそれを備えたデュプレクサを提供する。
【解決手段】IDT電極30を有する複数の直列腕共振子と、並列腕13に設けられている並列腕共振子と、複数の直列腕共振子のうちの一部の直列腕共振子S2a、S2b、S3cに並列に接続されているキャパシタC1、C2とを備えている。キャパシタC1、C2が並列に接続されている直列腕共振子S2a、S2b、S3cのIDT電極30には、弾性波伝搬方向において、交叉幅が極大となる極大点が複数形成されるように交叉幅重み付けが施されている。キャパシタが並列に接続されていない直列腕共振子S1a、S1b、S2c、S3a、d3bのIDT電極40には、弾性波伝搬方向において、交叉幅が極大となる極大点がひとつのみ形成されるように交叉幅重み付けが施されている。 (もっと読む)


【課題】SAW共振片、SAW共振子、及びこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板14上において、一対のSAW素子18(19)と、前記一対のSAW素子18(19)の出力側にそれぞれ接続した一対の出力端子32(33)と、前記一対のSAW素子18(19)のそれぞれ入力側に共通に接続した入力端子28と、を形成したSAW共振片12であって、前記一対のSAW素子18(19)は、入力側を互いに対向させ、SAW素子18、19の中心位置が前記圧電基板14のSAWの伝播方向の中心線で線対称となる位置に配置し、前記一対の出力端子32(33)は、前記線対称となる位置に形成し、前記入力端子28は、前記線対称の中心線16上に形成してなる。 (もっと読む)


【課題】圧電基板の一方主面に形成された電極パターンを損傷することなく、レーザ光を用いて圧電基板の他方主面にマーキングを行い、特性の低下を招くことなく、必要なマーキングが施された弾性波装置を確実に製造できるようにする。
【解決手段】
一方主面に電極パターンが形成された圧電基板の他方主面に、圧電基板に吸収される波長を有するレーザ光を照射してマ一キングを行う。
また、素子毎に個片化された圧電基板を複数個、一方主面がベース基板に対向するように、ベース基板上にフリップチップボンディングし、各圧電基板の他方主面を研磨し、個々の弾性波装置毎に分割した後、圧電基板に吸収される波長を有するレーザ光を照射してマ一キングを行う。
圧電基板として、マーキングに使用するレーザ光に対して透明な圧電単結晶材料(例えば、LiNbO3またはLiTaO3)からなるものを用いる。 (もっと読む)


【課題】 異なる複数の周波数特性を有すると共に、IDT電極のメカニカルマイグレーションを抑制した弾性表面波装置及びその製造方法を提供する
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置1は、圧電基板7と、圧電基板7上に形成され、第1導電膜31を有する第1のIDT電極9と、圧電基板7上に形成された第2のIDT電極13であって、第1導電膜31、第2導電膜32及び第3導電膜33を順次積層した第1の積層体を有する第2のIDT電極13と、を備えるとともに、第2導電膜32がTiからなり、第1導電膜31及び第3導電膜33が第2導電膜32とは異なる材料で構成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】熱処理後の反り増加量が小さく、かつ安価な複合化された圧電基板を提供することを目的とする。
【解決手段】圧電基板と絶縁体基板が接着剤を介して貼り合わされた複合化された圧電基板であって、前記圧電基板は、導電率が1×10−13[Ω−1・cm−1]以上、特には導電率が5×10−12[Ω−1・cm−1]以上1×10−10[Ω−1・cm−1]以下であり、また前記絶縁体基板は、導電率が1×10−14[Ω−1・cm−1]以下であることを特徴とする複合化された圧電基板。 (もっと読む)


【課題】高周波数側の通過帯域外の減衰特性が高い弾性波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】弾性波フィルタ装置1は、入力側信号端子15と出力側信号端子16との間に接続されている縦結合共振子型弾性波フィルタ部30と、縦結合共振子型弾性波フィルタ部30に対して並列となるように、入力側信号端子15と出力側信号端子16との間で直列に接続されている第1及び第2のリアクタンス素子50,60とを備えている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部30の複数のIDT電極31〜35のうちの一端が出力側信号端子16に接続されたIDT電極32,34の他端が第1のアース電極81に接続されている。複数のIDT電極31〜35のうちの一端が入力側信号端子15に接続されたIDT電極31,33,35の他端と、第1及び第2のリアクタンス素子50,60間の接続点54とが第2のアース電極82に共通に接続されている。 (もっと読む)


【課題】浮いた部分を有する電子部品中の圧電体膜を効率よく形成することができる電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電体20の平坦な表面20aからイオンを注入して、圧電体20内において表面20aから所定の深さの領域にイオン注入層22を形成する。圧電体20の表面20aの一部の上に犠牲層30を形成した後、圧電体20の表面20a及び犠牲層30に絶縁体34を形成して圧電構造体10sを形成する。圧電体20を加熱して圧電体20をイオン注入層22で分離して、圧電体20から分離された圧電体膜24と絶縁体34とが接合された圧電体膜構造体10tを形成する。圧電体膜構造体10tの圧電体膜24のイオン注入層22に沿って形成された分割面24aのうち少なくとも犠牲層30に対向する部分に電極を含む素子パターン16を形成した後、圧電体膜構造体10tから犠牲層30を除去する。 (もっと読む)


【課題】 異なる複数の周波数帯に対応する弾性表面波装置において、その封止構造を小型化し、省スペース化を可能にする。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置1は、圧電基板7と、圧電基板7上に形成され、第1導電膜31を有する第1のIDT電極9と、圧電基板7上に形成され、第1導電膜31及び該第1導電膜31と成膜のタイミングが異なる第2導電膜32を有する第2のIDT電極13と、圧電基板7上に形成され、第1導電膜31、第2導電膜32、並びに該第1導電膜31及び該第2導電膜32と成膜のタイミングが異なる第3導電膜33を有し、第1のIDT電極9及び第2のIDT電極13を別個に又は一括して取り囲む枠体と、
を備える。 (もっと読む)


【課題】 圧電部品の小型化、大容量化及び低価格化である。
【解決手段】 本発明は、圧電基板2,3,4の主面に櫛歯電極5,5a,5bと該櫛歯電極に隣接して配設された素子配線を有する配線電極6,6a,6b及び該配線電極に接続された電極端子8を形成した少なくとも2個以上の圧電素子を各圧電素子間に中空部Cが形成されるように接合して積層し、貫通電極7,7aが前記各圧電基板3,4を貫通して形成され、該貫通電極7,7aが前記電極端子8に接続され、かつ、前記圧電基板2,3,4が、樹脂封止層10により封止されていることを特徴とする圧電部品及びその製造方法に関する。 (もっと読む)


【課題】第1の電極と、第2の電極の上面の一部に積層されて第1の電極に電気的に接続される第2の電極とを有し、第1,第2の電極形成工程の間に、アルカリ現像液を用いたパターニングが行われる弾性波装置及びその製造方法において、第1,第2の電極間の接触抵抗を小さくする。
【解決手段】圧電基板1上にIDT電極2に電気的に接続される第1の電極21が形成されており、第1の電極21の少なくとも上面がアルカリに可溶な金属とアルカリに不溶な金属とからなる合金であって、アルカリに可溶な金属に対するアルカリに不溶な金属の含有率が5重量%以上、20重量%以下である合金により形成されており、第1の電極21の形成後に、アルカリ現像液によるパターニングが行われ、しかる後、第1の電極21の上面の一部に積層されることにより第1の電極21に電気的に接続される第2の電極26Aが形成される、弾性波装置及びその製造方法。 (もっと読む)


【課題】高周波SAWデバイスの製造コスト削減の為、その基板として高価なサファイア基板の要件を排除する高周波SAWデバイスの提供。
【解決手段】高周波SAWデバイス2は、基板21と、前記基板21の表面上に形成された第1緩衝層22と、前記第1緩衝層22の表面上に形成された第2緩衝層23と、前記第2緩衝層23の表面上に形成された圧電層24と、入力変換ユニット25と、出力変換ユニット26とを備えて成り、前記入力変換ユニット25および前記出力変換ユニット26は前記圧電層24の表面上もしくはその下方に夫々対として形成される。 (もっと読む)


【課題】少ない工程で簡単に弾性波デバイスの周波数特性を調整する。
【解決手段】、弾性波デバイスは、圧電性を有する圧電基板2と、圧電基板2に設けられた複数の電極指を有するくし型電極3と、くし型電極3の少なくとも一部を覆うように設けられた少なくとも1層の調整媒質5とを備える。この弾性波デバイスは、電極指および電極指間のスペースが圧電基板2上で占める励起領域において、調整媒質5により他の部分より厚みが大きくなる領域の面積Tにより、周波数特性が調整されて形成される。 (もっと読む)


【課題】 圧電部品の小型化、高性能化及び低価格化である。
【解決手段】 本発明は、圧電基板2と、該圧電基板2の主面2aに形成された櫛歯電極7と該櫛歯電極に隣接して配設された素子配線を有する配線電極8とからなる第1圧電素子と、前記圧電基板2に形成された端子電極9と、該端子電極9に接触するはんだ電極11と、櫛歯電極7a及び配線電極8aとを主面に有する複数の第2圧電素子4,5とからなり、該第2圧電素子4,5が前記第1圧電素子と前記第2圧電素子の主面とが対向して両主面間に中空部Cが形成されるように、感光性樹脂シートからなる樹脂封止層3により封止され、かつ、該樹脂封止層3を貫通して前記端子電極9とその上端部が接触する貫通電極6と、からなることを特徴とする圧電部品及びその製造方法に関する。 (もっと読む)


101 - 120 / 330