【課題】圧電層と支持基板との間に有機接着層が存在する弾性波素子において伝搬速度を向上させる。
【解決手段】弾性波素子１０は、周期的に形成された分極反転構造を有する強誘電体単結晶からなる圧電層２０と、圧電層２０の表面２１及び裏面に形成され圧電層２０に電圧を印加することで弾性表面波を励振可能な表面電極３１，３２及び裏面電極３３と、圧電層２０よりも弾性率の高い材料で形成された支持基板５０と、裏面電極３３と支持基板５０とを接着する有機接着層４０と、を備えている。このような構成とすることで、櫛形電極により圧電層に弾性表面波を励振する弾性波素子とは異なり、圧電層２０と支持基板５０との間に有機接着層４０が存在していても支持基板５０の弾性率が圧電基盤２０に影響して伝搬速度ｖを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】比帯域幅を大きく出来る圧電薄膜共振器の構造を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１上に配置された下部電極層２と、下部電極層２の上に配置された下部圧電層３と、下部圧電層３の上に配置されたすだれ状電極４と、すだれ状電極４の上に配置された上部圧電層５と、上部圧電層５の上に配置された上部電極層６とを備えたことを特徴とする圧電薄膜共振器。 （もっと読む）