【課題】所望でないスプリアスを効果的に抑圧することができ、良好な共振特性やフィルタ特性を得ることを可能とするＳＨタイプの弾性境界波を利用した弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】第１の媒質層２と、第１の媒質層２に積層された第２の媒質層６との境界に、インターデジタル電極３、反射器４，５を含む電極が形成されており、第１の媒質層２及び／または第２の媒質層６の境界面とは反対側の面において変位を有し、弾性境界波装置の反共振周波数よりも高域側もしくは通過帯域よりも高域側に現れる、スプリアスとなるモードを減衰させる吸音層７が設けられている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】小型化可能かつ性能の高い弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板２と、圧電基板２上に設けられたＩＤＴ２２、２４、２６、２８と、圧電基板２上に設けられた第１配線８、第２配線１０及び第３配線１２であって、少なくとも一つがＩＤＴを構成する櫛型電極に接続され、第１配線８と第３配線１２との間に第２配線１０が位置している、第１配線８、第２配線１０及び第３配線１２と、圧電基板２の上、第１配線８の第２配線側１０の領域の上、第２配線１０の上、及び第３配線１２の第２配線１０側の領域の上に設けられた絶縁層１４と、第１配線８の絶縁層１４が設けられていない領域と、第３配線１２の絶縁層１４が設けられていない領域とを通じて、第１配線８及び第３配線１２と接続されるように、第１配線８の上、第３配線１２の上、及び絶縁層１４の上に設けられた第４配線１６と、を具備する弾性波デバイス。 （もっと読む）

【課題】小型化でき、コストダウンできる圧電部品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板２ｆ上に形成されたＩＤＴ２ａからなる振動部及びＩＤＴ２ａに接続されている素子配線を有する圧電素子２を設ける。圧電素子２と接合基板１とをＩＤＴ２ａと対向するように、バンプ３及び絶縁性の樹脂枠４により互いに接着する。接合基板１は、ＩＤＴ２ａと対向する一方主面に接合基板配線１ｂ、他方主面に外部端子５、接合基板端部にスルーホール１ａをそれぞれ備える。バンプ３と接合基板１の接合基板配線１ｂとを電気的に接続する。接合基板配線１ｂと外部端子５とを、スルーホール１ａを介して電気的に互いに接続する。 （もっと読む）

【課題】電気的接続に用いる電極膜の膜応力を低減して、電極膜剥がれが発生しない信頼性に優れた弾性表面波フィルタを提供する。
【解決手段】圧電基板１上に、励振電極層と、該励振電極層に接続された電極パッド２層と、該電極パッド層上に形成された中間電極７層とを備えた弾性表面波装置であって、前記中間電極層は、下部層３と、不純物含有層５を有したバリア層４と、半田接合用の上部層６とが順次形成されていることを特徴とする弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】生産性に優れる球状弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】本発明の第１の態様に係る球状弾性表面波素子１００は、球状の基体１１１と、基体１１１の表面を周回する弾性表面波を励起するとともに周回した当該弾性表面波を受信する一対の櫛形電極１１２と、基体１１１の中心を通る光学軸の両極点近傍に形成され、一対の櫛形電極１１２の各々に接続された第１及び第２の入出力用電極１１４と、第１の入出力電極１１４上に形成された外部端子１１５と、第２の入出力電極１１４に対向して非接触で形成された外部電極１１６とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】振動特性を損なうことなく、導電性異物による短絡などのトラブルを防止できる弾性表面波デバイス、および弾性表面波デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＡＷ共振子１０は、圧電基板１１上に、表面に絶縁膜２０が形成されたＩＤＴ電極１２と、反射器１３とが備えられている。ＩＤＴ電極１２の各電極指１２ａ，１２ｂの表面に形成された絶縁膜２０は、各電極指１２ａ，１２ｂの側壁部分において、圧電基板１１と接触しないように圧電基板１１との間に側壁部分の表面が露出された所定の隙間を設け、その他の各電極指１２ａ，１２ｂの上面および側面（側壁部分）に形成されている。絶縁膜２０は、各電極指１２ａ，１２ｂの形成用材料であるアルミニウムを陽極酸化させることにより形成された陽極酸化膜からなっている。 （もっと読む）

【課題】通信機器等の小型化要求に対応すべく、通信機器に搭載される弾性表面波素子の薄型化を実現する手段を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１ａはフリップチップ型電子部品の形態を取っており、弾性表面波素子１ａは、圧電基板１０ａと、櫛形電極１２ａ及び弾性表面波の伝搬領域を保護する第１蓋体部１６ａ及び第２蓋体部１８ａとを有する蓋体部１９ａと、櫛形電極１２ａと接続されている外部接続端子３０ａと、外部接続端子に設けられた半田ボール４０ａと、を含む。また、外部接続端子３０ａは蓋体部１９ａを形成する第２蓋体部１８ａにより保護される。 （もっと読む）

【課題】小型・低背化してもアースを強化することができる、弾性波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板１０のＩＤＴ電極が形成された対向面１４に、空間１３を設けてパッケージ基板２０が接合されている。圧電基板１０の対向面１４の周縁に沿って形成された接地パッドとその内側に形成された入出力電極とは、パッケージ基板２０の対向面２２に対応して形成された接地電極と入出力電極とに接続されている。パッケージ基板２０の圧電基板１０とは反対側面２４に、貫通導体２８を介して入出力電極と接続された入出力用電極パターンと、反対側面２４の周縁まで延在する接地用電極パターン４２とが形成されている。圧電基板１０の上面１２及び側面１６とパッケージ基板２０の側面２６とを覆うように形成された導電性膜６０が、接地用電極パターン４２と接地電極とに電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】機能素子上が中空状態で封止されてなる電子部品のパッケージ構造に関して、小型、薄型で、かつ、樹脂封止のトランスファーモールド法でも作製できるようにすること。
【解決手段】表面に機能領域と電極を有する素子が形成された基板と、前記基板の前記機能領域上に空間を設けて配置された樹脂層と、前記空間を覆う金属層と、前記金属層の前記樹脂層に対応する位置に設けられた絶縁樹脂層とからなる電子部品パッケージであって、前記樹脂層の弾性率が前記絶縁層の弾性率よりも大きいことを特徴とする電子部品パッケージ構造をもちいる。 （もっと読む）

【課題】汎用性を持ちながら、種々の帯域に対応することのできる弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】弾性波フィルタ１には、圧電基板１１上に、弾性波の伝播方向と直交する方向に沿って電極指１６ａ〜１６ｄ、１９のピッチが広がる傾斜型ＩＤＴ１２、１３が入力側と出力側とに設けられており、例えば入力側の傾斜型ＩＤＴ１２は、弾性波の伝播方向と直交する方向に沿って複数の傾斜型ＩＤＴブロック１２ａ〜１２ｄに分割され、互いに接続されていると共に、これらの傾斜型ＩＤＴブロック１２ａ〜１２ｄの中から使用するものを選択することができる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波素子を球状のままで用い、球状弾性表面波素子の径が小さくても球状弾性表面波素子の配向を速やかに行う弾性表面波素子位置合わせ装置を得る。
【解決手段】球面に形成した素子電極を有する球状弾性表面波素子を椀状受け皿で保持して配向を調整する弾性表面波素子位置合わせ装置であって、前記素子電極の位置を検出する位置検出手段を有し、前記椀状受け皿の底部に開口部を有し、前記開口部に露出した前記球状弾性表面波素子に接して前記球状弾性表面波素子を移動させ前記椀状受け皿内で回転させて配向させる素子移動機構を有する弾性表面波素子位置合わせ装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイス以外の電子部品について調整及び／又は検査をする場合であっても、調整及び／又は検査の作業効率を向上させ、さらに、小型化を図ることができる電子モジュールを提供する。
【解決手段】回路基板３１に圧電デバイス２２，２４とその他の電子部品２３，２６，２７が搭載されている電子モジュールであって、電子部品２３は、その電気的特性を調整及び／又は検査するための調整端子２３ａ，２３ｂを有しており、圧電デバイス２２，２４は、圧電振動片が収容されたパッケージ２２ａ，２４ａを封止するための蓋体２２ｂ，２４ｂの主面が上向きに配置されており、蓋体２２ｂ，２４ｂが調整端子２３ａ，２３ｂと導通されている。 （もっと読む）

【課題】反射係数│κ₁₂│／ｋ₀が適度に小さく、電気機械結合係数Ｋ²が大きく、所望とする帯域幅を有し、かつ通過帯域低域側におけるスプリアスを抑制でき、挿入損失の増大を図り得る弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】圧電体２の上面２ａに複数本の溝２ｂが形成されており、該複数本の溝２ｂに金属が充填されてＩＤＴ電極４が形成されており、ＩＤＴ電極４及び圧電体２の上面２ａに誘電体３が形成されており、誘電体２と圧電体３との境界を伝搬するＳＨ型の弾性境界波を利用しており、弾性境界波の波長λとしたときに、ＩＤＴ電極４の厚みＨがＨ＞８２６１．７４４ρ^-1.376であり、かつ密度ρがρ＞３７４５ｋｇ／ｍ³であり、ＩＤＴ電極の厚みＨが溝２ｂの深さと異なっている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子を速やかにセンサーホルダに装着し、薬液や気体中の成分の分析を速やかに行える弾性表面波装置を得る。
【解決手段】球状の圧電体基材の球面における周回領域で、前記圧電体基材の中心を通る結晶のＺ軸に垂直な平面で前記圧電体基材の中心を通る平面との交線に添った前記周回領域の部分に一対の櫛型電極を有し、前記櫛型電極が前記周回領域に弾性表面波を発生させて周回させ、前記圧電体基材の球面に前記櫛型電極に接続する素子電極を有する球状弾性表面波素子を備え、前記素子電極に接した導体バンプを備え、前記圧電体基材の球面における前記結晶のＺ軸から垂直に測った距離が前記圧電体基材の球の半径の３割から８割の範囲の１つの円環状の領域に接して前記導体バンプを設置し、前記導体バンプをセンサーホルダの基板電極に接させる。 （もっと読む）

【課題】送受信帯域外の減衰特性と送受信端子間のアイソレーション特性を低下させることなく、従来よりも小型化、低背化が可能なアンテナ分波器を提供する。
【解決手段】アンテナ端子と送信端子との間に配置される送信フィルタと前記アンテナ端子と受信端子との間に配置される受信フィルタとをパッケージに実装してなるアンテナ分波器において、パッケージ内の受信フィルタ用のグランドパターン１５２は、他のグランドパターン１５６，１５７とは分離されている。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数などの他の特性をさほど低下させることなく、群遅延時間温度係数ＴＣＤや周波数温度係数ＴＣＦを調整することが可能な弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】圧電体２と誘電体３との界面にＩＤＴ電極４が配置されており、該ＩＤＴ電極４の電極指４ａに沿うように設けられており、かつ周期的に配置された第１の弾性的不連続部５ａ及び／または第１の弾性的不連続部５ｂが形成されており、第１の弾性的不連続部５ａ，５ｂの弾性境界波伝搬方向に沿う寸法である幅Ｗ１が０．０７λ以下とされており、あるいはＩＤＴ電極４の複数本の電極指４ａ，４ａ間のスペース間から、垂直な方向にギャップを隔てて誘電体３内に配置された第２の弾性的不連続部６が形成されており、複数の第２の弾性的不連続部６がλ／２の周期で設けられている、弾性境界波装置。 （もっと読む）

【課題】配線パターンの上に直接にバンプを設けることができる表面弾性波素子を提供する。
【解決手段】圧電基板(4)と、圧電基板の表面上に形成され、圧電基板に生じる表面弾性波と電気信号とを相互に変換する機能を有した櫛歯電極(6,16)と、圧電基板の表面上に櫛歯電極を延長して形成された配線パターン(8,18)と、配線パターンの上に直接に設けられ、パッケージ基板の電極に接続される半田ボール(10,20)とを備え、櫛歯電極及び配線パターンは、銅銀合金を主成分として構成され、半田ボールは、錫と銀とを含んで、或いは、錫と亜鉛とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換効率の高い圧電素子、その製造方法、並びに、励振手段および受信手段としてそのような圧電素子を備えるＳＡＷ方式タッチパネル装置を、提供すること。
【解決手段】本発明の圧電素子Ｘは、非圧電材料よりなる基板１１、圧電膜１２、電極１３，１４を備える。電極１３および／または電極１４は、基板１１および圧電膜１２の間に介在し、且つ、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｈｆ，Ｗ，Ｐｔ，およびＡｕからなる群より選択される金属を０．１〜３ｗｔ％含有するＡｌ合金よりなる。 （もっと読む）

【課題】規定サイズのウェハを処理するための処理装置を用いて小型ウェハに対する電極形成処理を行う方法を提供する。
【解決手段】被処理ウェハのサイズが定められているウェハ処理装置により、定められた被処理ウェハサイズよりも小さなサイズの圧電ウェハ１００に対して電極形成処理を施すための方法であって、前記圧電ウェハ１００の一方の主面に電極形成用の金属薄膜１１０を形成した後、前記圧電ウェハ１００の他方の主面を、前記被処理ウェハサイズと同じサイズのベースウェハ２００の上面に直に接合し、前記ウェハ処理装置を用いて電極形成処理を行うことを特徴とする。このような特徴を有する電極形成処理方法では、前記圧電ウェハ１００と前記ベースウェハ２００との接合は、直接接合により成すこととし、加熱処理時の温度を前記電極形成用薄膜の融点よりも低く設定すると良い。 （もっと読む）

【課題】送信信号に対して、受信側通過帯域における高減衰特性を有しつつ送信側通過帯域より低域側における高減衰特性をも有する分波器を提供する。
【解決手段】第１の複数の共振子を含んで構成される送信側フィルタと、第２の複数の共振子を含んで構成される受信側フィルタと、インピーダンス整合用の第１のインダクタンス素子と、を備える分波器を、送信側フィルタの通過帯域よりも受信側フィルタの通過帯域の方が高周波側にあり、送信側フィルタが、第１の複数の共振子を直列腕と並列腕とに備えるとともに並列腕に設けられた並列共振子と基準電位とされる端子とを接続する第２のインダクタンス素子を備えるラダーフィルタであり、受信側フィルタの共振子のうちアンテナに最も近い直近共振子が並列腕に設けられてなるとともに、直近共振子の共振周波数が送信側フィルタの通過帯域よりも低い周波数である、ようにした。 （もっと読む）