【課題】製造工程の簡略化および製造工程における弾性波素子の破壊または劣化を抑制すること。
【解決手段】本発明は、ウエハを個片化するための切断領域（４２）に連続して形成された第１導電パターン（１８）と、メッキ電極を形成すべき電極領域（４４）に設けられ弾性波素子と接続された第２導電パターン（１４ａ）と、第１導電パターンと第２導電パターンとを接続する第３導電パターン（１４ｂ）と、を含む導電パターン（１４、１８）を、弾性波素子が形成された圧電基板からなるウエハ上に形成する工程と、第２導電パターン上に開口部を有するようにウエハ上に絶縁層を形成する工程と、第１導電パターンおよび第２導電パターンを介し電流を供給し第３導電パターン上に前記メッキ電極（２８）を形成する工程と、切断領域において、ウエハを切断し個片化する工程と、を具備することを特徴とする弾性波デバイスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】
異方性を示す方向を精度良く決定することができ、特定の好適な位置に薄膜構造を形成することを可能とする。
【解決手段】
異方性を有する球状材料の大円に沿って伝搬する弾性表面波を発生させる弾性波発生工程と、大円に沿って周回した弾性表面波の所定の物理量を測定する測定工程と、球状材料に対し、弾性波発生工程および測定工程を行う弾性表面波発生状況測定工程と、弾性表面波発生状況測定工程で測定された物理量に基づいて、異方性を示す方向を決定する決定工程とを有する異方性球状材料の方向測定方法において、弾性波発生工程は、球状材料をすだれ状電極を有する露光マスクに接近または接触させて電気信号を印加して弾性表面波を発生させ、測定工程は露光マスクにより物理量を測定する異方性球状材料の方向測定方法等を提供する。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】オイラー角（０±２°，１０４〜１４１°，０±２°）のＬｉＴａＯ₃からなる圧電基板２と、圧電基板２上に形成されており、密度８７００〜１０３００ｋｇ／ｍ³、ヤング率１．８×１０¹¹〜４×１０¹¹Ｎ／ｍ²あるいは横波音速が３１７０〜３２９０ｍ／秒である、ＮｉやＭｏなどで代表される金属もしくは該金属を主体とする合金または前記金属もしくは合金からなり、かつ膜厚をＨ、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚Ｈ／λが０．００８〜０．０６の範囲にあるＩＤＴ３と、ＩＤＴ３を覆うように圧電基板２上に形成されており、かつ規格化膜厚Ｈｓ／λが０．１０〜０．４０の範囲にあるＳｉＯ₂膜とを備える表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】１７°〜５８°回転Ｙ板Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ₃からなる圧電基板２と、圧電基板２上に形成されており、タンタルからなり、かつ膜厚をＨ、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚Ｈ／λが０．００４〜０．０５５の範囲にあるＩＤＴ３と、ＩＤＴ３を覆うように圧電基板２上に形成されており、かつ規格化膜厚Ｈｓ／λが０．１０〜０．４０の範囲にあるＳｉＯ₂膜とを備える表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】梯子型の弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタの耐熱性を向上させて耐電力性を向上させる。
【解決手段】複数のＳＡＷ共振子は、それぞれ１つのＩＤＴ及び２つの反射器を有している。各ＳＡＷ共振子の間、ＳＡＷ共振子と入力ボンディングパッドとの間、ＳＡＷ共振子と出力ボンディングパッドとの間、及び各ＳＡＷ共振子とアースボンディングパッドとの間が、接続パターン１１４で接続されて梯子型回路が構成されている。接続パターン１１４及びボンディングパッドの上側に基板よりも、熱伝導率の大きい誘電体膜１１６を蒸着して耐熱性を向上させている。 （もっと読む）

【課題】 本発明はＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）フィルタ、ＢＡＷ（bulk acoustic wave）フィルタ、ＭＥＭＳ（Micro-Electro-Mechanical Systems）などの表面に空間を必要とする素子のウェハレベル小型化パッケジング技術に関する。こうした表面に空間を必要とする素子は、小型化及び設計自由度確保が不十分であった。更に、素子を小片化して組立てを行っていたため、工数が必要であった。
【解決手段】 本願発明の骨子は、次の通りである。実装用基板上に設けられた空間的可動部分を有する素子部材は、有機絶縁樹脂層が前記実装用基板との間に保持する空間部分に配置され、且つ前記有機絶縁樹脂層内に、多層配線部が少なくとも配置される。このような構造を採用することによって、空間の確保と配線部を出来るだけ小型化して配置する。 （もっと読む）

【課題】 通過帯域幅を広く保ちつつ挿入損失の劣化を低減し、かつ通過帯域の微小リップルの発生を抑制できる弾性表面波素子、弾性表面波装置及び通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子は、圧電基板１上の５個又は６個のＩＤＴ電極２〜６のうち隣り合う２つのＩＤＴ電極３，５がそれぞれ、相手側の端部から一部分で電極指ピッチが残りの部分の電極指ピッチと異なる第１の部分と、その残りの部分で電極指ピッチが一定な第２の部分とで構成され、第１の部分の電極指ピッチの平均値が第２の部分の電極指ピッチより短く、第１の部分の電極指ピッチが隣り合う２つのＩＤＴ電極の境界に向かって短くなっており、５個又は６個のＩＤＴ電極２〜６のうち端から２個目のＩＤＴ電極３，５の両隣りのＩＤＴ電極２，４，６の第１の部分の電極指ピッチが、２個目のＩＤＴ電極３，５の中心を通って伝搬方向に直交する方向に設けた仮想軸に対して対称である。 （もっと読む）

【課題】 挿入損失劣化を低減し、小型化を実現した弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 第１，第２の弾性表面波素子２０，２１は、弾性表面波の伝搬方向に延びる中心共通バスバー電極２９の両側に、該電極２９により接続されて形成され、電極２９上に沿って絶縁体を介して形成されると共にＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、引き出し電極が不平衡入（出）力端子に接続されており、素子２０，２１と弾性表面波共振子１８，１９は、隣接して伝搬方向の直交方向に並んで配置され、互いのバスバー電極が絶縁体３２，３３を介して重なって配置されており、共振子１８，１９の各ＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入（出）力端子に接続され、素子２０，２１の各中央のＩＤＴ電極以外のもののバスバー電極が共振子１８，１９のＩＤＴ電極のバスバー電極に絶縁体を介して並列接続されている。 （もっと読む）

【課題】基板に対して垂直な側面を有する電極を形成して、弾性表面波の反射を大きくする。
【解決手段】ＬＢＯウエハ３６の表面に電極用金属膜３８を形成する成膜工程と、金属膜３８の上にフォトレジスト膜４０を形成するレジスト膜形成工程図と、レジスト膜４０を露光、現像して所定の形状にパターニングするマスク形成工程と、パターニングしたレジスト膜４０をマスクにして金属膜３８の露出部に、予め定めたガスのプラズマを照射して金属膜３８を除去し、ＬＢＯウエハ３６を露出させるとともに、露出させたＬＢＯウエハの表層部を除去するエッチング工程と、ＬＢＯウエハの露出部を水洗し、ＬＢＯウエハ３６に生じたプラズマによるダメージ層４６を除去する洗浄工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】配線パッドの厚さを均一に形成することができるとともに、併せて櫛歯電極などの焦電破壊を防止すること。
【解決手段】金属膜をエッチングして圧電基板１２上に反射器及び櫛歯電極１３，１４を形成するとともに、金属膜２１の残りによって導通パターンを形成するエッチング工程と、圧電基板の全面にＳｉＯ_２膜２３を成膜するＳｉＯ_２膜形成工程と、ＳｉＯ_２膜２３のうち電極形成領域に相当する部分を除去し、露出した金属膜の一部によって電極形成領域を形成するＳｉＯ_２膜除去工程と、電解めっきを用いて電極形成領域上に配線電極１６を形成する配線電極形成工程と、導通パターンのうち配線パターンとして残すべき部分、反射器１９及び櫛歯電極１３，１４以外の領域のＳｉＯ_２膜２３及び補助パターン９９を除去する膜除去工程とを有する表面弾性波素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、感応基板上に櫛型電極のパターンを露光する櫛型電極の露光方法および露光装置に関し、櫛型電極のパターンを容易，確実に露光することを目的とする。
【解決手段】 所定のピッチを有する２光束干渉縞のパターン像により感応基板上に第１のラインアンドスペースパターンを露光する第１の露光工程と、前記ピッチの２倍のピッチを有する２光束干渉縞のパターン像により前記感応基板上に第２のラインアンドスペースパターンを露光する第２の露光工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】工程数増加や信頼性低下を伴わずに焦電破壊が確実に防止できる弾性表面波素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】弾性表面波素子Ｄの製造過程で、電極パターン形成領域に対応するマスク層１１をマスクとして、イオンミリング法で主電極層９を除去することにより、ＩＤＴ電極２，３や端子電極４，５等に対応する所定形状の電極パターンを形成するが、その際、下地層８は圧電基板１の上面全面に残存させておく。そして、主電極層９のうち端子電極形成領域を覆うマスク層１１を除去して、そこに端子電極４，５を成膜し、さらに端子電極４，５にワイヤ１３を接続するという一連の工程が終了した後、反応性イオンエッチング法によって、主電極層９に覆われずに露出している下地層８をマスク層１１と共に除去する。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化を行う工程を簡単化し、ＩＤＴに形成される陽極酸化膜よりも反射器に形成される陽極酸化膜の厚みを厚くすることができるＳＡＷ素子片の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１２の一主面に構成したＩＤＴ１４と当該ＩＤＴ１４を挟み込むように配置した反射器２４とを備え、ＩＤＴ１４と反射器２４との表面に陽極酸化膜３２（３２ａ，３２ｂ）を形成したＳＡＷ素子片１０の製造方法であって、陽極酸化の工程においてＩＤＴ１４に対して電流を供給するパターン電極の膜厚を、反射器２４に電流を供給するパターン電極の膜厚よりも薄く設定して陽極酸化を行い、所定時間経過後に前記ＩＤＴ１４に対して電流を供給するパターン電極を完全に酸化させてＩＤＴ１４に供給される電流を遮断し、その後も陽極酸化の工程を継続することで反射器２４に対してのみ電流を供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】複数の導体層を積層している電極指でありながら、これらの導体層の破断や剥離等の発生を抑制できるＩＤＴ電極を備えることで、耐久性を高めることができる弾性表面波素子及びそれを搭載した弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１は、圧電基板１０上に電極指１１ａを有するＩＤＴ電極１１を備えている。電極指１１ａは、中間層１２と、中間層１２に比べて大きな熱膨張係数を有する電極層１３が積層されてなる。電極指１１ａは、圧電基板１０に近づく方向に広がる台形形状となる断面形状を有している。中間層１２の側面１の成す角度α_１は、電極層１３の側面との成す角度β_１よりも大きく形成されている。 （もっと読む）

【課題】励振電極に保護膜が被覆された際に、ＳＡＷ装置の周波数温度特性が良好となるＳＡＷ装置を提供する。
【解決手段】上記課題を達成するためのＳＡＷ装置は、カット角がオイラー角表示で（０°，９５°≦θ≦１５５°，３３°≦｜ψ｜≦４６°）の範囲内にある事を基本とする面内回転ＳＴカット水晶基板（圧電基板）を用いたＳＡＷ装置である。そして、設定された共振周波数において所望する周波数温度特性を得るために必要とされる前記圧電基板のカット角に、圧電基板の主面に構成する励振電極本体に対する保護膜付与の影響による周波数温度特性の変化量に基づいて予め求めた面内回転角ψの補正量Δψを加えたカット角によって構成した圧電基板１２と、圧電基板１２の主面に形成された励振電極本体１８と、補正量Δψによる周波数温度特性の変化量に対応した膜厚に設定されて励振電極本体１８に付与される保護膜２０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、感応基板上に干渉縞パターン像を照射して露光を行う露光方法、櫛型電極の製造方法および露光装置に関し、干渉縞パターン像を用いて第１のラインアンドスペースパターンの間に第２のラインアンドスペースパターンを露光することを目的とする。
【解決手段】 感応基板上に干渉縞パターン像を照射して露光を行う露光方法において、前記干渉縞パターン像を、同一の波長を有する３つ以上の光束を別の角度から干渉位置に照射した際に発生する干渉縞の明暗により形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子の表面に形成する感応膜形成プロセスにおいて、複数の周回経路の表面に選択的に感応膜を形成することで、独立して働く多機能素子を製造する方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波が周回可能な円環状経路を複数有し、各経路に独自に受信電極を有する球形状表面を有する３次元基材の表面に、前記弾性表面波を励起検出する電気音響変換素子を有し、環境変化に従って伝搬状態が変化する感応膜を有する球状弾性表面波素子であって、経路毎に感応膜のパターンが異なっていることを特徴とする球状弾性表面波素子を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数が大きく、周波数温度特性が極めて良いとともに、特に耐電力性が高く、大きな電力を印加しても電極が劣化しない安価な弾性表面波素子を生産性高く提供する。
【解決手段】圧電基板上に弾性表面波または漏洩弾性表面波を励振・検出する金属電極が形成された弾性表面波素子であって、少なくとも、圧電基板とセラミック基板とを接着剤を介して貼り合わせた複合圧電基板をチップ形状に加工した複合圧電チップと、該複合圧電チップをフリップチップボンディングによって実装する実装基板とを具備し、前記金属電極の厚さは、漏洩弾性表面波の波長で規格化した値で０．０４以上であり、前記圧電基板表面の弾性表面波または漏洩弾性表面波の伝播方向の膨張係数αｃ（ｐｐｍ／℃）と、前記実装基板の膨張係数αｓ（ｐｐｍ／℃）とが、αｓ＜αｃ＜αｓ＋６なる関係を満たすように実装された弾性表面波素子。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子の特性を向上させ、また、弾性波素子の歩留まりを向上させる。
【解決手段】基板１０上に圧電膜１３を形成し、この圧電膜１３上に導電性膜１７を形成し、さらに、圧電膜１３上に弾性波発生用の櫛歯型電極１９ａを形成するとともに、導電性膜１７上に位置し、櫛歯型電極１９ａと電気的に接続される導電性膜１９ｂを形成した後、櫛歯型電極１９ａを覆い、導電性膜１９ｂ上に開口部ＯＡ２を有する保護膜２１を形成する。その結果、開口部ＯＡ２の形成、即ち、保護膜２１のエッチングの際、開口部ＯＡ２底部にエッチング残渣が生じていてもワイヤボンディング時に貫通することが可能なため、接続不良を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 平衡度を劣化させることなく、挿入損失とＶＳＷＲが改善された弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子１は、圧電基板１９と、前記圧電基板１９上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された３個以上の奇数個のＩＤＴ電極３，４，５とを有し、前記奇数個のＩＤＴ電極３，４，５，のうち、中央に形成されたＩＤＴ電極４の両側に配設されたＩＤＴ電極３，５には、第１及び第２の基準電位用端子１４，１５がそれぞれ接続されており、前記第１及び第２の基準電位用端子１４，１５は、前記中央に形成されたＩＤＴ電極３の中心を通り、前記伝搬方向に直交する方向に設けた仮想中心軸Ａに対して、非対称に形成されている。 （もっと読む）