【課題】 圧電部品の小型化及びその製造コストの低減である。
【解決手段】 本発明は、圧電基板２と、該圧電基板２の主面に形成された櫛歯電極３と、該櫛歯電極に隣接して配設された素子配線を有する配線電極とからなる圧電素子と、前記圧電基板２の主面に形成された開口部を有する感光性樹脂フィルムからなる外囲壁部４と、該外囲壁部の上端面に積層された感光性樹脂フィルムからなる天井部５と、からなり、前記外囲壁部４と前記天井部５との間に前記櫛歯電極３を囲む気密な中空部Ｃが形成され、かつ、前記外囲壁部４と前記天井部５とを貫通して配設され、かつ、前記配線電極と前記天井部５の裏面に配設された端子電極７とを電気的に接続する電極柱６とからなり、さらに、前記圧電基板２の主面には、ＳｉＯ₂層、絶縁層及び密着層（Ｃｒ）と電極層（Ｃｕ）とからなる再配線層が、順次形成されている圧電部品及びその製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンド積層構造の基板にＩＤＴを形成した高周波化対応のダイヤモンドＳＡＷ素子において、その周波数を高精度に調整することができかつ周波数安定性に優れたＳＡＷ素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板２と、基板２上に形成された交差指電極５ａ，５ｂ及び交差指電極からなるＩＤＴと、を有し、原子量が１５０ａｍｕよりも大きくて物理吸着が少ないＴａ粒子１２を、基板２の主面に、交差指電極５ａ，５ｂ間及び交差指電極間が短絡しない程度に付着され、それにより周波数を調整したＳＡＷ素子１である。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイス以外の電子部品について調整及び／又は検査をする場合であっても、調整及び／又は検査の作業効率を向上させ、さらに、小型化を図ることができる電子モジュールを提供する。
【解決手段】回路基板３１に圧電デバイス２２，２４とその他の電子部品２３，２６，２７が搭載されている電子モジュールであって、電子部品２３は、その電気的特性を調整及び／又は検査するための調整端子２３ａ，２３ｂを有しており、圧電デバイス２２，２４は、圧電振動片が収容されたパッケージ２２ａ，２４ａを封止するための蓋体２２ｂ，２４ｂの主面が上向きに配置されており、蓋体２２ｂ，２４ｂが調整端子２３ａ，２３ｂと導通されている。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子の特性を向上させ、また、弾性波素子の歩留まりを向上させる。
【解決手段】基板１０上に圧電膜１３を形成し、この圧電膜１３上に導電性膜１７を形成し、さらに、圧電膜１３上に弾性波発生用の櫛歯型電極１９ａを形成するとともに、導電性膜１７上に位置し、櫛歯型電極１９ａと電気的に接続される導電性膜１９ｂを形成した後、櫛歯型電極１９ａを覆い、導電性膜１９ｂ上に開口部ＯＡ２を有する保護膜２１を形成する。その結果、開口部ＯＡ２の形成、即ち、保護膜２１のエッチングの際、開口部ＯＡ２底部にエッチング残渣が生じていてもワイヤボンディング時に貫通することが可能なため、接続不良を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能で、検査の生産性を高め、且つコスト低減を実現できる弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】 ＳＡＷ共振素子１００は、圧電基板１２０と、圧電基板１２０の表面に形成され、第１櫛歯電極１４０と第２櫛歯電極１５０が交差してなるＩＤＴ電極１３０と、ＩＤＴ電極１３０の表面波が伝播する方向の両側に設けられる第１反射器１６０と第２反射器１７０と、が備えられ、隣り合う第１櫛歯電極１４０の給電導体１４２と第２反射器１７０の給電導体１７２とを連続して第１引出電極１４３を延在形成し、隣り合う第２櫛歯電極１５０の給電導体１５２と第１反射器１６０の給電導体１６３とを連続して第２引出電極１５３を延在形成し、第１引出電極１４３と第２引出電極１５３とが、それぞれプローブ接触領域を含み、第１引出電極１４３と第２引出電極１５３との距離が、標準となるプローブの端子間の距離Ａを有するよう設定されている。 （もっと読む）

【課題】相対補正法の運用上の制約を少なくすることができる、補正データ取得用試料、測定誤差補正方法及び電子部品特性測定装置を提供する。
【解決手段】基準治具に実装した状態で少なくとも３種類の第１の補正データ取得用試料を測定し、試験治具に実装した状態で、第１の補正データ取得用試料と同等の特性を有すると見なせる少なくとも３種類の第２の補正データ取得用試料を測定する。測定結果から、第１の補正データ取得用試料と第２の補正データ取得用試料とが同一試料であるとの前提で、試験治具に実装したときの測定値と基準治具に実装したときの測定値とを関連付ける数式を決定する。任意の電子部品２０を試験治具１２に実装した状態で測定し、決定した数式を用いて、その電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電子部品の電気特性の推定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】 正負反射型反射器を用いた弾性表面波デバイスの耐ヒートサイクル試験を強化する手段を得る。
【解決手段】 圧電基板の主面上に表面波の伝搬方向に沿って、幅がλ／８（λは表面波の波長）の第一の電極を周期λ／２で配置し、幅がλ／８の第二の電極を周期λ／２で配置し、前記第一の電極の中心と前記第二の電極の中心との中心間間隔をλ／４とし、前記第一の電極同志を短絡電極で短絡して形成した正負反射型反射器がＩＤＴ電極の一部に配置されたＩＤＴ電極を用いて構成した弾性表面波デバイスにおいて、
前記短絡電極の幅を２μｍ以上としたことを特徴とする弾性表面波デバイス。 （もっと読む）

【課題】 マスクが不要でレジストが節約でき、さらにレジストパターンの識別が容易なレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 レジストパターン形成方法が、レジストと、可視光域において下地物体の反射率・波長特性とは異なる反射率・波長特性を呈する微粒子と、を含有した液状材料を前記下地物体上に配置して、前記下地物体上に材料パターン１０Ａを形成する工程と、前記材料パターンを乾燥してレジストパターン１０Ｂを形成する工程と、を有している。 （もっと読む）

【課題】育成結晶の正しい化学組成比を求め、高精度なSAWデバイス設計パラメータを与える。
【解決手段】コングルエント組成近傍の組成の結晶に対し、化学組成比変動に対して敏感なLSAWの伝搬方向を決定し、その伝搬方向において各結晶の育成軸方向のLSAW速度分布測定を通して、育成軸方向分布が0になる組成を決定し、その組成でのLSAW速度との絶対的関係を得る。これにより、極めて組成分布の小さい結晶量産を実現し、結晶化学組成評価の信頼性のある絶対的指標を与える。また、化学組成比に関する音響関連物理定数の正しい関係を求め、育成結晶の化学組成比に対応した音響関連物理定数を用いてSAWデバイス設計パラメータを高精度に決定する。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板に形成した弾性表面波素子の共振周波数のばらつきを小さくする。
【解決手段】 圧電基板の表面に導電膜を形成する成膜工程（ステップ１２）と、導電膜の上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程（ステップ１４）と、フォトマスクに設けたパターンを前記レジスト膜に縮小投影露光して現像するレジスト膜パターニング工程（ステップ１６）と、パターニングされたレジスト膜をマスクにして前記導電膜をエッチングする電極形成工程（ステップ１８）と、前記圧電基板に形成された前記弾性表面波素子の共振周波数を測定する周波数測定工程（ステップ２４）と、測定共振周波数と予め定めた目標共振周波数とから前記電極の陽極酸化量を演算して陽極酸化電圧を求める電圧演算工程（ステップ２６）と、求めた前記陽極酸化電圧によって陽極酸化し、前記電極の酸化反応の終点を検出して陽極酸化を終了する陽極酸化工程（ステップ２８）と、を有する。 （もっと読む）