【課題】ＬＳＡＷからなる弾性表面波を利用するためにタンタル酸リチウム製の圧電基板上にＩＤＴ電極を配置した弾性表面波素子において、この弾性表面波素子の周波数帯域が２ＧＨｚ以上もの高周波数帯域であっても伝搬損失を小さく抑える。
【解決手段】４５〜４６°回転Ｙ−Ｘ板からなるタンタル酸リチウムを圧電基板１０として用いると共に、ＩＤＴ電極２の膜厚ｈを７．５％λ〜８％λに設定すると共に、ＩＤＴ電極２における電極指６群について、電極指の幅寸法及び互いに隣接する電極指間の離間寸法に於いて、幅寸法と離間寸法との和で幅寸法を除した値で表されるライン占有率を０．５５〜０．６５に設定する。 （もっと読む）

【課題】第１、第２伝搬路が形成された領域の両方に対して、同時に、周波数特性の調整手法を実施して、所望の第１、第２伝搬路の周波数特性差を得ることが可能なＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】基板１１の上面１１ａの一部に形成された結晶配向調整膜１３と、基板１１の上面１１ａにおける結晶配向調整膜１３の形成領域上および非形成領域上に同じ材料で形成された圧電薄膜１２と、圧電薄膜１２の上下面の一方の面における異なる位置に形成された第１、第２伝搬路とを備え、圧電薄膜１２のうち、結晶配向調整膜１３の形成領域上に位置する第１領域１２ｃと、結晶配向調整膜１３の非形成領域上に位置する第２領域１２ｄとは、結晶配向が異なっており、第１、第２伝搬路は、それぞれを占める第１、第２領域１２ｃ、１２ｄの面積比が異なる構成とする。 （もっと読む）

【課題】受信側フィルタの通過帯域における挿入損失を小さく抑えつつ、受信側フィルタの通過帯域の中心周波数ｆ_Ｒと送信側フィルタの通過帯域の中心周波数ｆ_Ｔとの差分に対応する周波数ｆ（ｆ＞０）を持つ妨害波が当該受信側フィルタに回り込むことを抑えること。
【解決手段】アンテナポート１と受信ポート３との間に互いに直列に設けられた第１の直列腕２１及び第２の直列腕２１との間の接続点とアースとの間に、補助インダクタ素子２５を設ける。そして、第１の直列腕２１の容量値、第２の直列腕２１の容量値及び補助インダクタ素子２５のインダクタンス値について、第１の直列腕２１、第２の直列腕２１及び補助インダクタ素子２５からなる構成が周波数ｆに減衰域が位置するハイパスフィルタとなるように夫々設定する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、封止基板１２の圧電性基板１１と接合する面と反対の面に形成され、パッケージ１３外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴ１６に導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、パッケージ１３外部から作用する力学量に応じて変位する変位部を有し、圧電性基板１１には、変位部２１を圧電性基板１１の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられ、パッケージ１３は、封止基板１２の外部接続電極１８を形成した面を回路基板上に表面実装するセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板の一方の面１１ａに接合され、圧電性基板との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、両基板のうちの少なくとも一方に形成され、パッケージ外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴに導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板が、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１を有し、圧電性基板には変位部を圧電性基板の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられているセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティＣを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、圧電性基板１１と前記封止基板１２との接合部及びキャビティＣ内に配設されたＩＤＴ１６と、封止基板１２又は圧電性基板１１を厚み方向に貫通すると共にＩＤＴ１６に導通する貫通電極３３と、圧電性基板１１及び封止基板１２のうちの少なくとも一方に形成され、貫通電極３３に導通する外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１を有し、圧電性基板１１には、変位部２１を圧電性基板１１の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられているセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】通過域において低損失の特性を備えると共に、通過域よりも低域側の複数の減衰域において各々大きな減衰量が得られ、更にこれら複数の減衰域よりも低域側及び高域側において急峻な減衰傾度を得ることのできるフィルタを提供すること。
【解決手段】複数の減衰域に夫々対応する周波数で並列共振を起こす複数のＳＡＷ共振子１を互いに直列に接続して一つの組１０を構成し、このＳＡＷ共振子１の組１０を互いに直列に複数接続すると共に、互いに隣接する組１０、１０同士の間の信号路に位相反転用のインダクタ２１を各々並列に設ける。このようにフィルタを構成すると、複数の減衰域間には減衰極（直列共振点）が形成される一方、複数の組１０のうち一の組１０と他の組１０とにおいて各々形成される零（ゼロ）点（並列共振点）同士の間には減衰極が形成されないので、各々の減衰域では大きな減衰量が得られる。 （もっと読む）

【課題】表面ラフネスの増大や構造破壊を防止しつつ、共振周波数を上昇させることができるようにした圧電振動デバイス及びその製造方法、共振周波数の調整方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１０を有する圧電振動デバイスの製造方法であって、前記弾性表波素子１０の表面上に波の速度を高める機能膜４を形成する工程、を含む。また、前記機能膜４のヤング率は、励振電極２及び圧電体１の各ヤング率よりも大きく、且つ、前記機能膜４の密度は、前記励振電極２及び前記圧電体１の各密度よりも低い。これにより、質量付加効果による周波数低下の影響を抑えながら、弾性率上昇による周波数上昇を発現させ、弾性表面波素子の共振周波数を上昇させることができる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の表面が目的のプロファイルになるように該表面をエッチングする表面加工方法を提供する。
【解決手段】被加工物表面の加工前のプロファイルを測定し、気体又は液体から成るエッチング剤を前記表面に向けて所定の流量で供給する供給手段を、該表面上の各点において前記目的プロファイルと前記加工前プロファイルの差から求めた加工深さにより定まる速度で、該表面に沿って移動させることにより、該表面をエッチングし、前記流量のエッチング剤を除去可能な量以上の吸引量で、前記表面付近の液体又は気体を吸引除去する。ここでエッチング剤が液体の場合には、液体と共に、該液体が気化した気体も吸引除去する。 （もっと読む）

【課題】温度が変化した場合でも、測定対象の状態を精度良く検知することができる弾性表面波センサ、センシングシステム、及び圧力測定方法を提供すること。
【解決手段】第１弾性表面波素子と第２弾性表面波素子との出力電圧の差をとって、（圧力と温度の影響を含む）第１の演算値を求め、第３弾性表面波素子と第２弾性表面波素子との出力電圧の差をとって、（温度のみの影響を含む）第２の演算値を求める。第２の演算値と温度による基板変化量のマップを用いて、第２の演算値を温度（のみ）による基板変化量に換算し、この温度による基板変化量から（圧力基準値に対応する）温度補正量を求め、温度補正量に第１の演算値を加えた加算値を求め、加算値から圧力及び温度による基板変化量を求める。そして、圧力及び温度による基板変化量から温度のみによる基板変化量を引くことにより、圧力のみによる基板変化量を求める。 （もっと読む）

【課題】フィルタの低損失化及び広帯域化を行う。
【解決手段】入力側の並列共振器Ｐ１１に対して並列にインダクタＬ１１が接続され、出力側の直列共振器Ｓ１２に対して並列にインダクタＬ１２が接続されている。インダクタＬ１１及びＬ１２は、それぞれ異なる経路上（直列共振器と並列共振器との間の経路上）に接続されている。このような構成とすることにより、入出力間においてインピーダンス整合を行うことができるので、低損失かつ広帯域のラダー型フィルタを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】入力端子と２つの出力端子間に存在する橋絡容量のアンバランスを解消し、不要な同相成分を除去することで、バランス型フィルタの抑圧度を向上する。
【解決手段】入力端子２ｃと、入力端子２ｃに入力された信号をフィルタリングするフィルタ素子２１，２２と、フィルタ素子２１，２２から信号を差動出力する第１の出力端子２ａ及び第２の出力端子２ｂとを備えたバランス型のフィルタであって、入力端子２ｃと第１の出力端子２ａ及び第２の出力端子２ｂのうちいずれか一方の出力端子との間に、静電容量Ｃ３が接続されている。 （もっと読む）

【課題】 アイソレーション特性および減衰特性を改善することができる分波器およびそれを用いた通信装置を提供する。
【解決手段】 分波器２００は、アンテナ端子４、第１端子１、第２端子２，３、およびグランド部Ｇを有する。分波器２００は、アンテナ端子４と第１端子１との間に配置され、ラダー型フィルタ回路を構成するための並列共振子を含む第１フィルタ５と、アンテナ端子４と第２端子２との間に配置され、且つ第１フィルタ５の通過周波数帯域よりも高い通過周波数帯域を有する第２フィルタ６と、第１フィルタ５の並列共振子とグランド部Ｇとの間に配置され、且つアンテナ端子４と電磁界結合する電磁界結合素子８と、を備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】部品点数の低減及び小型化を図り得るだけでなく、設計の自由度を高め得る弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】圧電基板１０上に弾性表面波共振子からなる直列腕共振子４と、弾性境界波共振子からなる並列腕共振子７とを有し、直列腕共振子４及び並列腕共振子７がフィルタ回路を構成するように接続されている弾性波フィルタ１。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能な櫛形電極を用いた弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】共振器１、２を含む弾性波デバイス８において、共振器１、２は一組の櫛形電極１０、２０、３０、４０を備え、櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置される。電極指の交差幅は、弾性波伝播方向において変化している。共振器１、２は、弾性波伝播方向に垂直な方向に並んで配置されており、共振器１において交差幅が周りより短くなっている部分Ｓ１と、共振器２において交差幅が周りより長くなっている部分Ｌ２とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】直達応答波信号の影響を回避して測定精度の向上を図ることができる弾性表面波センサ及びそれを備えた被測定物特性測定装置を提供すること。
【解決手段】溶液特性測定装置１００は、弾性表面波を利用したＳＡＷセンサ１０及びリファレンスセンサ２０、信号発振源１０１、アンプ１０２、スイッチ１０３、スイッチオンオフ回路１０４、ログ／リミッタアンプ１０５及び１０８、コンデンサ１０６及び１１１、固定アッテネータ１０７、位相検出器１０９、加算器１１０、アンプ１１２、ＡＭ検波回路１１３、レベル変換回路１１４、サンプルホールド回路１１５及び１１６を備え、ＳＡＷセンサ１０は、直達波信号成分と主応答波信号成分との間の時間間隔よりも短い時間幅のバースト信号を入力して主応答波信号成分と直達波信号成分とを分離する構成を有する。 （もっと読む）

【課題】高周波帯の適切な周波数位置に減衰極を配置することができるとともに低損失なフィルタを提供する。
【解決手段】信号線に直列接続される複数の直列共振子と、信号線に並列接続される複数の並列共振子とを含むフィルタであって、複数の直列共振子のうち二つの直列共振子間の信号線に少なくとも二つの並列共振子が並列接続され、二つの並列共振子にそれぞれインダクタが直列接続され、インダクタは互いに異なるインダクタンスを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の平坦な弾性表面波コンボルバ素子に比べ、遥かに長い全面電極の長さを設定出来、より高い性能を発揮できる、弾性表面波コンボルバ素子を提供することである。
【解決手段】弾性表面波コンボルバ素子１０は：弾性表面波ＡＳＷが励起可能であり、球面の一部により円環状に規定され励起された弾性表面波が周回可能な少なくとも１つの弾性表面波周回路１２ａを含む弾性表面波周回基体１２と；弾性表面波周回路に弾性表面波周回路に沿った相互に正反対の方向に伝搬する２つの弾性表面波を励起させる弾性表面波励起手段１４と；そして、弾性表面波周回路に配置され、弾性表面波周回路を相互に正反対の方向に伝搬した２つの弾性表面波が重畳され畳み込み積分出力を生じさせる全面電極１６と；を備えている、ことを特徴としている。 （もっと読む）

本願は、入力ポート、出力ポート、複数の音響共振器、及び該複数の音響共振器のインピーダンスを整合させるインダクタを有する無線周波数帯域阻止フィルタについて記載する。インダクタは、入力ポートとインダクタとの間の静的キャパシタンスが出力ポートインダクタとの間の静的キャパシタンスと略等しくなるように、複数の音響共振器に対して帯域阻止フィルタ内で位置付けられる。複数の音響共振器は、複数の並列共振器、複数の直列共振器、又は直列共振器及び並列共振器の組合せであってよい。無線周波数帯域阻止フィルタは、弾性表面波（ＳＡＷ）技術、薄膜バルク音響共振器（ＦＢＡＲ）技術、及びバルク音響波（ＢＡＷ）技術のいずれかにより製造される。
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【課題】要求される通過域においては低損失の特性を備えかつ通過域外の複数の減衰域では急峻で大きな減衰量を得ることができ、しかもインダクタの使用個数を低減することができる弾性波フィルタを提供すること。
【解決手段】入力端と出力端との間に並列腕として４段に接続された弾性波共振子と、互いに隣接する前記弾性波共振子の間に夫々直列腕として設けられた３段の弾性波共振子と、これら３段の弾性波共振子に夫々並列に接続された３段のインダクタと、を備え、前記並列腕である４個の弾性波共振子の共振周波数を入力端側の弾性波共振子から出力端側の弾性波共振子に向かって順にｆ１、ｆ２、ｆ３、ｆ４とすると、その大きさはｆ１＜ｆ２＜ｆ４＜ｆ３であるように弾性波フィルタを構成する。減衰域に割り当てる極の数が多くなり、その上減衰域の劣化を抑えることができるので上記のような減衰量を得ることができる。 （もっと読む）