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Fターム[5J108BB03]の内容

圧電・機械振動子、遅延・フィルタ回路 (44,500) | 圧電体の材料 (4,172) | 単結晶 (2,938) | カット角 (221)

Fターム[5J108BB03]に分類される特許

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【課題】温度係数が逆符号のXカット水晶板とYカット水晶板とを直接接合して零温度係数をもつ水晶振動子を構成し、温度依存性が小さく、かつ、電気機械結合係数が大な、さらに周波数温度特性の良い水晶振動子を得る。
【解決手段】プラスの温度係数を有するXカット水晶板10とマイナスの温度係数を有するYカット水晶板11の対向する主面を適宜の接合方法により直接接合するとともに、他の対向する露出した主面に電極12をそれぞれ形成して零温度係数を有する水晶振動子を構成する。 (もっと読む)


【課題】励振電極と導通する電極パターンの断線を防止した圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動片は、圧電素板12の主面12a,12bに励振電極30を設けるとともに、圧電素板12を片持ち支持する基端18側に励振電極30に導通した電極パターン32を設けたものである。そして圧電振動片は、圧電素板12の外形を形成するときのウエットエッチングによって圧電素板12の一方の主面12a,12bと側面12cとのなす角が鈍角になった入り込み22に、電極パターン32を引き回している。 (もっと読む)


【課題】等価直列容量C1が大きく、等価直列抵抗ESRが小さいGTカットの水晶振動子を得る。
【解決手段】GTカットにおける直交する2つの縦振動モードの振動方向をそれぞれ長軸と短軸とする楕円形に形成され、同一の共振周波数を有する複数の水晶板21a,21bと、各水晶板ごとに、その水晶板の外周において振動変位が極小となる位置に対して接続し、その水晶板を枠体に支持する支持部22と、一方の水晶板21aの外周と他方の水晶板21bの外周とを接続してこれらを機械的に結合する接続部材28とを形成する。一方の水晶板21aが第1の方向に伸長しているときに他方の水晶板21bが第1の方向に直交する方向で伸長するように、各水晶板に設けられる励振電極を相互に接続する。 (もっと読む)


【課題】 金属バンプを介した容器と圧電振動素子や電子部品素子との接合信頼性を向上させた圧電振動デバイスと当該圧電振動デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶発振器1は、水晶振動素子3と集積回路素子4を容器2に収容し、容器2に蓋5を接合することにより、水晶振動素子3および集積回路素子4を気密に封止した構成となっている。容器2の内底面22には凹部を有する電極パッド10が形成され、集積回路素子4の接続端子上には断面視凸状の金属バンプBが配され、金属バンプBの一部が前記凹部の壁面に対応するように埋入した状態で集積回路素子4と容器2とが接合されている。 (もっと読む)


【課題】圧電振動デバイスの内部空間へのロウ材の流入を防止し、気密信頼性の高い圧電振動デバイスと当該圧電振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】水晶発振器は、電子部品素子の収容空間と側壁20を有する容器を、ロウ材6を介して蓋5で気密に接合した圧電振動デバイスである。側壁20の天面には溝10が形成され、溝10の内部にロウ材が流入するとともに、溝10の内周側の開口端102Eを起点として、蓋5の前記開口端102Eから鉛直上方に伸びる仮想線Lよりも内側に対応する領域にかけてロウ材6のフィレットF1が形成されて蓋5と容器2とが接合されている。 (もっと読む)


【課題】外部発振回路に接続され、周波数温度特性と周波数ドリフト特性の優れた、小型で低コストの振動デバイスを得る。
【解決手段】圧電振動素子10と、感温素子30と、容器20と、を備えた振動デバイスであって、容器20は、圧電振動素子用の電極パッド28a、28bと実装端子22a、22bを有する第1の絶縁基板20aと、シールリング42を有する第2の絶縁基板と、蓋部材38と、を備えている。容器20は、一方の長手方向両端部寄りに夫々側面電極40を有し、これに感温素子30は接合され、側面電極40の1つはシールリング42と接続され、実装端子と電極パッドとは、熱伝導部により電気的及び熱的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】 導電性接着剤が励振電極側に流れ出ても、振動周波数の変動させないようにした水晶振動片を提供する。
【解決手段】 水晶振動片は、第1面及びその第1面の反対側の第2面を有する水晶板(130)と、その水晶板の中央部の第1面及び第2面に設けられ、水晶板を励振する一対の励振電極(131)と、一対の励振電極から水晶板の周縁部に引き出される一対の引出電極(133)と、導電性接着剤が塗布されるための面積を有し、一対の引出電極にそれぞれ接続するとともに第2面に配置される一対の電極パッド(132)と、電極パッドと励振電極との間で、且つ第2面から第1面方向の水晶板の内部に形成される双晶領域(135)と、を備える。 (もっと読む)


【課題】厚み滑り振動以外の振動を抑えつつ、厚み滑り振動を効率的に励振することができる振動片、振動子および圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】振動片2は、厚みすべり振動する第1の圧電体基板21と、第1の圧電体基板21に積層され、厚みすべり振動する第2の圧電体基板22と、第1の圧電体基板21の第2の圧電体基板22とは反対側の面に接合された励振電極23aと、第2の圧電体基板22の第1の圧電体基板21とは反対側の面に接合された励振電極23cと、第1の圧電体基板21と第2の圧電体基板22との間に設けられた励振電極23bと、第1の圧電体基板21および第2の圧電体基板22の側面に設けられ、励振電極23aと励振電極23cとを電気的に接続する第1の側面電極と、第2の圧電体基板22の側面に設けられ、励振電極23bに電気的に接続された第2の側面電極とを有する。 (もっと読む)


【課題】特性が劣化せず、かつ小型化が容易な水晶振動子をドライエッチングにより製造する方法を提供する。
【解決手段】水晶振動子における振動領域11に対応して、表面に振動領域11より大きい窪み31が形成された支持基板30を用意し、支持基板30の表面に水晶板10を接合する。このとき、窪み31では水晶板が支持基板に接触しないようにする。その後、水晶板に対してドライエッチングを適用して、振動領域と振動領域を取り囲む枠部20とが支持梁部21,22を介して接続する形状となるように、水晶板を振動領域と枠部とに分離する。 (もっと読む)


【課題】 脚の先端の斜面によって、共振周波数を調整するためのレーザーが、反射され安定した周波数調整が行えない。
【解決手段】 基部と、基部より延出する脚とを有する圧電振動片であり、脚は、表面と裏面と第一の側面と第二の側面とを有する角柱状で、表面側の長さが裏面側の長さよりも短く、先端に斜面を有しており、脚の表面、裏面、第一の側面、第二の側面に脚を振動させる励振電極が形成され、脚の裏面と第一の側面と第二の側面に共振周波数を調製する調整膜が形成された圧電振動子の製造方法であって、脚の表面側からレーザーを照射し、調整膜を除去することで圧電振動片の共振周波数を調整する圧電振動子の製造方法とする。 (もっと読む)


【課題】 脚を有する圧電振動子において、脚の先端付近に調整膜を成膜して、その一部を除去することで周波数を調整することができるが、調整膜の成膜においての製造工程のばらつきがあり、調整膜の成膜される長さがばらつき、その長さのばらつきが、温度特性曲線をいちじるしく変化させてしまう。
【解決手段】 脚に脚を振動させる励振電極を形成する工程と、脚に共振周波数を調製する調整膜を形成する工程と、調整膜の少なくとも一部を除去し所定の形状とする工程と、調整膜の一部を除去することで圧電振動子の共振周波数を調整する工程とを有する圧電振動子の製造方法とする。 (もっと読む)


【課題】圧電振動子に形成した共振周波数の調整用の調整膜を除去する事で、共振周波数の温度特性が変化し、所望の温度特性を逸脱してしまう為、共振周波数の温度特性曲線の影響を考慮した調整膜の調整手段、及び温度特性曲線を変化させ、所望の温度特性に持って行く手段を提供する。
【解決手段】励振電極と調整膜25,26,27が形成された圧電振動子の共振周波数を測定する工程と、励振電極と調整膜が形成された圧電振動子の一次温度係数を測定または推定する工程と、測定した共振周波数と前記測定または推定した一次温度係数から、所望の共振周波数と所望の一次温度係数となるように調整膜を除去する部位と量とを決定する工程と、前工程で決定された調整膜の除去する部位と量の調整膜を除去する工程とを有する圧電振動子の製造方法とする。 (もっと読む)


【課題】外部回路に接続され、周波数温度特性と周波数ドリフト特性の優れた、小型で低コストの圧電デバイスを得る。
【解決手段】圧電振動素子10と、感温部品30と、容器20と、を備えた圧電デバイスである。容器20は、表面に電極パッド28a、28bを有し裏面に複数の実装端子22c、22dと接続端子22a、22bとを有する第1の絶縁基板20aと、環状の第2の絶縁基板20bと、蓋部材38と、を備えている。感温部品は、容器20の外側面に接合され、実装端子22と電極パッド28a、28bは、第1の熱伝導部より電気的及び熱的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、基本波以外の周波数の発生が抑えられた水晶振動片及び水晶デバイスを提供する。
【解決手段】メサ型の水晶振動片(130)が、薄い厚さの周辺部(134a)と、周辺部より中央側で、一主面に周辺部よりも第1高さ(HR1)だけ高く形成され第1平面形状を有する平面上の第1凸部(134b)と、周辺部より中央側で、一主面に対向する他主面に周辺部よりも第2高さ(HR2)だけ高く形成され第2平面形状を有する平面上の第2凸部(134c)と、を備え、第1凸部の第1平面形状が第2凸部の第2平面形状と面積又は平面形状の少なくとも一方が異なる、もしくは第1凸部の第1高さが第2凸部の第2高さと異なる。 (もっと読む)


【課題】基板が低コストな脆性材料で構成され、変形等の応力に強く、且つ、耐候性が高い、信頼性の良い電子デバイス及び当該電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決の手段】電子デバイス1を、ガラス基板10と、ガラス基板10の上面に設けられた内部配線30と、ガラス基板10上に実装され、内部配線30と導通された電子部品50と、一端が内部配線30と連接された貫通電極20と、ガラス基板10の下面において、貫通電極20の他端と離間する位置に形成された絶縁樹脂層70と、絶縁樹脂層70の周囲を覆い且つ貫通電極20の他端と連接するように積層された導電樹脂層80と、を備えて構成した。 (もっと読む)


【課題】複数の振動領域を有する水晶振動子において、一方の振動領域が他方の振動領域に与える影響を抑えると共に簡素な構成の水晶発振器を構成することができる技術を提供すること。
【解決手段】水晶片に設けられる第1の振動領域と、前記水晶片に設けられ、第1の振動領域とはその厚さ及びX軸の正負の向きが異なる第2の振動領域と、第1の振動領域、第2の振動領域に夫々設けられ、各振動領域を独立して振動させるための励振電極と、を備えるように水晶振動子を構成する。一方の振動領域と他方の振動領域とから夫々温度変化に対して互いに異なる大きさで変化する周波数を取り出すことができるので、温度に対して明確に周波数変化が起きる方の振動領域の発振周波数に基づいて、他の振動領域からの発振周波数を制御することができる。これにより、水晶発振器の複雑化を抑えることができる。 (もっと読む)


【課題】 貫通孔の小径化を図ることができるとともに穿孔時のチッピング等を防止した圧電振動デバイスの封止部材の製造方法と当該製造方法によって得られた封止部材を用いた圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は圧電振動素子の励振電極を気密に封止する圧電振動デバイスの封止部材の製造方法であって、前記封止部材の基材の両主面間を電気的に接続するための貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、貫通孔に導電性部材を形成する導電性部材形成工程とを有している。前記貫通孔形成工程は、前記基材の一主面200における開口径より当該基材内部における開口径が小さく、かつテーパー状の内側面61を備えた孔60を前記主面に形成する第1工程と、内側面61のうち、前記主面近傍から離間した位置から穿孔することによって貫通孔を形成する第2工程とから成っている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、パッケージ内に形成される電極による浮遊容量の発生が抑えられた圧電発振器を提供する。
【解決手段】圧電発振器(100)は、圧電振動片(110)と、励振電極(111)と、一端側と他端側とに引き出された一対の引出電極(112)と、励振電極を励振させる一対の圧電端子(125a)、電源を接続される電源端子、励振電極が励振した周波数を出力する出力端子、及び接地用のグランド端子を有する発振回路(120)と、一対の圧電端子から一対の引出電極まで配線する一対の配線電極(139)を有するパッケージ(130)と、を備え、一対の圧電端子が、互いに対向する位置に配置され、一対の圧電端子の両側に、電源端子、出力端子及びグランド端子の少なくとも1つが配置され、一対の配線電極が、圧電端子から互いに逆方向に引き出されている。 (もっと読む)


【課題】メサ型の水晶振動片においてCI値を小さくする水晶振動片を提供する。
【解決手段】メサ型水晶振動片20は、一対の励振電極22a、22bを両主面に有する四角形状の振動部24と、振動部の四辺の外側に形成され振動部より厚みが薄い肉薄部21と、励振電極から所定方向に引き出された一対の引出電極23a、23bと、を有するメサ型水晶振動片である。そしてそのメサ型水晶振動片は、励振電極の所定方向の長さの中心は、振動部及び肉薄部を含む所定方向の長さの中心よりも引出電極の反対側に25μmから65μm偏心している。 (もっと読む)


【課題】安定した特性を得ることができる圧電振動子の接着剤塗布方法および圧電振動子の接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】接着剤塗布装置はパッケージのベース61に対して液状接着剤を塗布するディスペンサ1と、ディスペンサ1に対して移動動作を行う移動部2と、ビームセンサ3と、ビームセンサに対して移動動作を行うセンサ移動部4と、各構成部の動作を統合的に制御する制御部5とからなる。ディスペンサ1の接着剤吐出口に液状接着剤を吐出保持し、その後ビームセンサのビームBにより液状接着剤の高さを測定し、液状接着剤のサイズを特定する。液状接着剤のサイズに基づきディスペンサを降下させ液状接着剤の塗布をする。 (もっと読む)


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