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Fターム[5J108CC09]の内容

圧電・機械振動子、遅延・フィルタ回路 (44,500) | 圧電体の形状、分極 (6,172) | 付加的形状 (2,420) | 溝を設けたもの (577)

Fターム[5J108CC09]に分類される特許

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【課題】キャビティにおける電子部品素子の実装領域を増やす。
【解決手段】複数の封止部材により電子部品素子2の電極を気密封止する電子部品パッケージ用封止部材において、ベース4に電子部品素子2を搭載するキャビティ45が形成され、キャビティ45の壁面451に、キャビティ45の予め設定した基準点から放射上に拡がった点の集合体からなる、幅方向外方に膨らむ曲面(第2壁面454,第3壁面455の曲面4552)が含まれている。 (もっと読む)


【課題】広い温度範囲に亘って安定した周波数信号を得るための小型の圧電振動子及びこの圧電振動子を備えた発振器を提供すること。
【解決手段】共通の圧電板1に振動部11、21を設けて、これら振動部11、21を囲む枠状体31を配置すると共に、枠状体31に対して振動部11、21を夫々支持する支持部12、22を圧電板1に設ける。また、振動部11、21の励振電極13、23に夫々接続される電極パッド15、25を枠状体31に設けると共に、これら振動部11、21間に、例えば圧電板1の双晶化により形成される弾性境界領域32を配置して、圧電板1の振動の伝搬を抑制する。更に、第1の支持部12及び第2の支持部22に弾性境界領域32を設ける。 (もっと読む)


【課題】本発明は、励振部への応力の影響が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動片(130)は、両主面に一対の励振電極(134)が形成され第1方向に伸びる第1辺(138a)及び第1辺よりも長く第1方向に直交する第2方向に伸びる第2辺(138b)を含む矩形形状の励振部(131)と、第1方向に伸びる第1枠体(132a)及び第2方向に伸びる第2枠体(132b)で励振部を囲み、第1枠体が第1厚さである第1領域(137a)と第1厚さよりも厚い第2領域(137b)とを含む枠部(132)と、第1厚さであり、励振部の第1辺と第1枠体の第1領域とを連結する連結部(133)と、を備え、第1枠体の第2方向の長さが第1領域の第2方向の長さよりも長い。 (もっと読む)


【課題】外部発振回路に接続され、周波数温度特性と周波数ドリフト特性の優れた、小型で低コストの振動デバイスを得る。
【解決手段】圧電振動素子10と、感温素子30と、容器20と、を備えた振動デバイスであって、容器20は、圧電振動素子用の電極パッド28a、28bと実装端子22a、22bを有する第1の絶縁基板20aと、シールリング42を有する第2の絶縁基板と、蓋部材38と、を備えている。容器20は、一方の長手方向両端部寄りに夫々側面電極40を有し、これに感温素子30は接合され、側面電極40の1つはシールリング42と接続され、実装端子と電極パッドとは、熱伝導部により電気的及び熱的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、励振部への応力の影響が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動片(130)は、両主面に一対の励振電極(134)が形成され、第1方向に伸びる第1辺(138a)及び第1辺よりも長く第1方向に直交する第2方向に伸びる第2辺(138b)を含む矩形形状の励振部(131)と、励振部を囲む枠部(132)と、励振部と枠部とを連結し、第1辺に接続され第1方向に伸びる第3辺(138c)と枠部に接続され第1方向に伸びる第4辺(138d)とを有して枠部よりも厚さが薄い連結部(133)と、を備え、第3辺と第4辺との長さが異なる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、励振部への応力の影響が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動片(130)は、両主面に一対の励振電極(134)が形成され第1方向に伸びる第1辺(138a)及び第1辺よりも長く第1方向に直交する第2方向に伸びる第2辺(138b)を含む矩形形状の励振部(131)と、励振部を囲む枠部(132)と、励振部の第1辺と枠部とを連結し枠部よりも厚さが薄い連結部(133)と、を備え、連結部又は連結部と連結部の第2方向に形成される励振電極との間の領域の少なくとも一方に、厚さ方向に突き出た突起部(133a)が形成され、突起部の第1方向の長さが連結部の第1方向の長さと同等又はそれ以上である。 (もっと読む)


【課題】 導電性接着剤が励振電極側に流れ出ても、振動周波数の変動させないようにした水晶振動片を提供する。
【解決手段】 水晶振動片は、第1面及びその第1面の反対側の第2面を有する水晶板(130)と、その水晶板の中央部の第1面及び第2面に設けられ、水晶板を励振する一対の励振電極(131)と、一対の励振電極から水晶板の周縁部に引き出される一対の引出電極(133)と、導電性接着剤が塗布されるための面積を有し、一対の引出電極にそれぞれ接続するとともに第2面に配置される一対の電極パッド(132)と、電極パッドと励振電極との間で、且つ第2面から第1面方向の水晶板の内部に形成される双晶領域(135)と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 容器の機械的強度の低下を抑制しつつ、圧電振動片と容器との接触を防止した圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶振動子1は、一対の振動腕36,36の先端に振動腕の伸長方向に連続的に拡幅するテーパー部37と、テーパー部の終端に振動腕の幅よりも幅広の幅広部38とを備えた音叉型水晶振動片3’と、
音叉型水晶振動片3’を収容するための凹部20を備え、凹部20の内底面に厚肉部25と薄肉部21が形成された容器と、
凹部20を気密に封止する蓋4とからなる。
厚肉部25の薄肉部21との境界となる側面25Sには音叉型水晶振動片の伸長方向に突出する一対の突起26g,26gが形成され、突起26gの少なくとも先端部260gがテーパー部37と対向するように音叉型水晶振動片3’が厚肉部25に接合されている。 (もっと読む)


【課題】絶縁膜の成膜時における温度上昇を抑制でき、電極の金属拡散を抑制できる圧電振動片の製造方法と、この方法で製造された圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】パッシベーション膜成膜工程は、ターゲット77と、回転可能な回転ドラム71と、を備えたスパッタリング装置70を用いて行い、パッシベーション膜成膜工程は、回転ドラム71の外周面71aにウエハWを取り付けるウエハ取付工程と、ウエハWがターゲット77に対向する位置を通過するように回転ドラム71を回転させてパッシベーション膜を成膜する回転成膜工程と、を備え、回転成膜工程は、ウエハWがターゲット77に対向する位置を複数回通過するように回転ドラム71を回転させることによりパッシベーション膜を成膜することを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】交番電圧が印加されて屈曲振動させる場合、厚み方向に平行な振動を抑えクリスタルインピーダンスが小さく電気的特性が向上された水晶振動素子を提供する。
【解決手段】略四角形状の平板状の基部と基部の所定の一つの側面から同一方向に延設されて基部と一体化されている二つ一対の振動腕部と振動腕部の表面に形成されている励振用電極と基部の表面に形成されている接続用電極と励振用電極間又は励振用電極と接続用電極との間を電気的に接続している配線部とを備えている音叉型屈曲水晶振動素子であって、基部の両主面に開口部が矩形形状の溝部が設けられており、溝部の開口部を見た場合、振動腕部が延設する方向に平行な溝部の開口部の辺が振動腕部の延設する方向に垂直な方向に平行な溝部の開口部の辺より長く、基部の一方の主面に設けられた溝部の開口部が基部の他方の主面に設けられた溝部の開口部に対向する位置に設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】部品点数の増加や製造効率の低下を抑制した上で、衝撃を効果的に吸収して、振動腕部の破損等を抑制できる圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】幅方向に並んで配置された一対の振動腕部24,25と、一対の振動腕部24,25における延在方向の基端側が接続された基部26と、を備えた圧電振動片5において、振動腕部24,25のうち延在方向における一部には、他の部位に比べて剛性が低く、振動腕部24,25への厚さ方向の衝撃を吸収可能な緩衝部31,32が振動腕部24,25に一体的に形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】圧電振動片に対して高速かつ低温で絶縁膜を形成し、圧電振動片とパッケージとの接合性を向上させることができる圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動片2をマウントする工程の前に、圧電振動片2の表面にクロムからなる下地金属層18a及び金からなる仕上金属層18bを積層状態で形成する工程と、仕上金属層18bを所定領域で剥離する工程と、仕上金属層18bを剥離した後の下地金属層18aの表面を改質して絶縁膜34を形成する工程とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】圧電振動片に対して高速かつ低温で絶縁膜を形成することが可能であり、また圧電振動片の側面に絶縁膜を形成することが可能な、圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動片2を実装領域Pにおいてマウントする工程の前に、圧電振動片2における実装領域Pおよび振動領域Rの表面に、クロムからなる下地金属層18a及び金からなる仕上金属層18bを積層状態で形成する工程(A)と、仕上金属層18bを振動領域Rで剥離する工程(E)と、仕上金属層18bを剥離した後の下地金属層18aの上層に絶縁膜材料を含有した溶液をスプレー塗布する工程と、塗布した溶液を乾燥させて振動領域Rに絶縁膜34を形成する工程(F)と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】一対の振動腕部間に位置する股部へのエッチング残りを小さくすることができ、安定した振動特性を有すると共に、外部衝撃による振動腕部の破損が生じ難い高品質な圧電振動片を得ること。
【解決手段】一対の振動腕部と、これら振動腕部の基端部を一体的に支持する基部と、を備えた音叉型の圧電振動片の製造方法であって、圧電ウエハ20をエッチング加工して圧電振動片の外形形状を形成する外形形成工程を備え、外形形成工程は、圧電ウエハの両主面上にエッチング保護膜を形成した後、該保護膜から圧電振動片の外形形状に対応したマスクパターン22を形成する工程と、マスクパターンをマスクとして圧電ウエハをウェットエッチング加工する工程と、を備え、マスクパターンのうち、股部を形成するための股部対応部分22aに、振動腕部の長さ方向に沿って基部側に向けて延びるスリット状の切欠き部23を形成する製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】小型化を図るとともに、十分な剛性を維持した上で、振動漏れを効果的に抑制すること。
【解決手段】一対の振動腕部10,11と、一対の振動腕部10,11の基端側を一体的に固定する基部12と、を備え、基部12は、振動腕部10,11の基端側が固定された接続部21と、基部12をマウントするためのマウント部22と、を有し、基部12のうち、接続部21とマウント部22との間には、基部12のX方向に直交するY方向両側から内側に向けてそれぞれ切り欠かれた一対の切欠き部24により、基部12のY方向に沿う長さが接続部21及びマウント部22よりも狭い幅狭部23が形成され、幅狭部23には、基部12のY方向外側に向けて突出して、切欠き部24内に臨むリブ25が形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】剛性低下を抑制しながら小型化を図ることができると共に、出力信号の品質の低下を防ぐこと。
【解決手段】互いに平行に配置された一対の振動腕部10,11と、一対の振動腕部の長さ方向における基端部10a,11a側を一体的に固定する基部12と、を備え、一対の振動腕部の主面には、振動腕部の基端部側に位置する第一の溝部18と、第一の溝部に対して振動腕部の先端部側に位置する第二の溝部19と、が形成され、第一の溝部は、振動腕部の主面上において、振動腕部の長さ方向に直交する幅方向に沿う幅が第二の溝部よりも狭く形成され、第二の溝部には、該第二の溝部の底面から突出する補強リブ20が形成されている圧電振動片1を提供する。 (もっと読む)


【課題】振動腕部の厚み方向の振動を抑制し、CI値の上昇や振動漏れを抑制できる圧電振動片と、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】並んで配置された一対の振動腕部10,11と、振動腕部10,11の両主面上に形成され、振動腕部10,11のY方向(長手方向)に沿って伸びる溝部51と、一対の振動腕部10,11が接続された基部12と、を備えた圧電振動片4であって、溝部51内には、−Y側(基端側)の壁面から+Y側(先端側)に向かって伸びるリブ53が形成されていることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】音叉型圧電振動子、該音叉型圧電振動子と蓋とケースとを備えた圧電ユニット、該圧電ユニットを備えた圧電発振器、該圧電発振器を備えた電子機器の提供。
【解決手段】基部部分30と、該基部部分30に接続の第1音叉腕10と第2音叉腕20とを備えて構成され、第1音叉腕と第2音叉腕の各々の一端部がその基部部分に接続され、他端部が自由である音叉型圧電振動子100で、第1音叉腕と第2音叉腕の各々は、第1幅Wを備えた第1振動部11と、第1幅Wより大きい第2幅Wを備えた第2振動部12と、第2幅Wより大きい第3幅Wを備えた第3振動部13と、を少なく共備え、第2振動部は第1振動部と第3振動部の間に形成され、かつ、第3振動部は第2振動部より音叉腕の先端部分の側に形成され、第1振動部と第2振動部の少なく共どちらか一方の振動部の上面と下面の少なくとも一面に溝15、16、25、26が形成されている。 (もっと読む)


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