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Fターム[5J108DD00]の内容

圧電・機械振動子、遅延・フィルタ回路 (44,500) | 振動モード (1,654)

Fターム[5J108DD00]の下位に属するFターム

厚み (956)
輪郭 (66)
屈曲 (328)
 (135)
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オーバートーン (15)
その他 (84)

Fターム[5J108DD00]に分類される特許

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金属−絶縁体転移(MIT:Metal-Insulator Transition)素子を利用して、非常に高い発振周波数を簡単に発生することができるMIT素子基盤の発振回路及びその発振回路の駆動方法を提供する。該発振回路は、MIT薄膜と、MIT薄膜に接続される電極薄膜とを具備し、MIT発生電圧で不連続MITが起きるMIT素子と、MIT素子に直列に連結される抵抗素子と、MIT素子に最大通電電流を制限しつつ直流定電圧を印加する電源と、MIT素子に電磁波を照射する光源とを備え、光源を介した電磁波照射によって、MIT素子で発振特性を発生させることができる。また、該発振回路は、MIT薄膜と、MIT薄膜に接続される電極薄膜とを具備し、MIT発生電圧で不連続MITが起きるMIT素子と、MIT素子に直列に連結される抵抗素子と、MIT素子に短パルス電圧を印加する電源とを備え、短パルス電圧の印加によって、MIT素子で発振特性を発生させることも可能である。
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【課題】 本発明は、振動モード調整を精度良く行うことによって高精度の水晶デバイスを提供することが目的であり、且つ加工によるダメージの少ない信頼性の高い水晶デバイスを提供することが目的である。
【解決手段】 水晶からなる基部と基部から突出した振動脚とを有する振動体と電極とを備えた水晶デバイスの製造方法において、水晶からなる振動体をウェットエッチング法によって形成する工程と、水晶のエッチング異方性によって発生した振動脚の付け根付近のエッチング残渣をフェムト秒レーザーによって加工して振動モードを調整する工程を備えたことを特徴としている。エッチング残渣を加工することで水晶デバイスに与えるダメージを極力少なくすることができる。また、二つのレーザー光源と焦点位置測定機を備えた加工システムを用い、第一のレーザー光で加工部に焦点を合わせ、第二のレーザー光で加工することにより、精度よく加工できる。 (もっと読む)


共振器領域(RE)、基板(SU)、共振器領域(RE)と基板(SU)との間に配置されている音響的なミラー(AS)を備えたBAW共振器が提供される。共振器領域(RE)内では縦方向において縦主モード(TE1)および副モード(TS2)が励起される。音響的なミラー(AS)は第1の部分ミラー(AS1)および第2の部分ミラー(AS2)を有する。第1の部分ミラー(AS1)は少なくとも1つの第1のミラー層を有し、その厚さは実質的にλTE1/4(2n+1)である(λTE1は共振器の共振周波数での主モードの波長、nは整数)。第2の部分ミラー(AS2)は少なくとも1つの第2のミラー層を有し、その厚さは第1のミラー層の厚さとは少なくとも20%異なり、また副モードを主モードよりも良好に反射するよう選定されている。第2の部分ミラー(AS2)は第1の部分ミラー(AS1)と基板(SU)との間に配置されている。
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