Fターム[5J108EE00]の内容
圧電・機械振動子、遅延・フィルタ回路 (44,500) | 支持 (10,311)
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マイクロ電気機械的共振器構造及びその設計方法、作動方法、及び使用方法
【課題】パッケージング応力特性が改善され、基材へのエネルギ損失を低減し、振動中の重心の安定性を改良し最適にする、マイクロ電気機械的共振器構造を提供する。
【解決手段】細長いビーム区分102の各々は、先端が、湾曲区分104を介して別の細長いビーム区分に連結されており、これによって、湾曲区分によって相互連結された少なくとも二つの細長いビーム区分を持つ幾何学的形状(丸みのある三角形形状、正方形又は矩形形状)を形成する。構造は、一つ又はそれ以上の節点又は節領域を、構造の湾曲区分の一つ又はそれ以上の部分又は領域に含む。これらの節点は、共振器構造を基材に固定するのに適した及び/又は好ましい位置である。作動では、共振器構造は、伸長(即ちブリージング)モード及びベンディングモードの組み合わせで振動する。即ち、ビーム区分(同じ周波数で振動する)は、伸長様(即ちベンディング様)動作及びベンディング様動作を行う。
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