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Fターム[5J108EE05]の内容

圧電・機械振動子、遅延・フィルタ回路 (44,500) | 支持 (10,311) | 支持の箇所 (2,767)

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【課題】簡易に半導体基板上に形成でき、差動型で動作する半導体装置ならびにこれを用いた発振器、アンテナシステムおよび送受信システムを提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板と、複数の音響波伝播層と、分離層と、音響波反射層と、第1のコンタクトと、第2のコンタクトとを備える。前記複数の音響波伝播層は、前記半導体基板に、互いに離間して形成される。前記分離層は、前記半導体基板に形成され、前記複数の音響波伝播層を互いに電気的に分離するが、音響波は通過させる。前記音響波反射層は、前記半導体基板に形成され、前記複数の音響波伝播層内に前記音響波を閉じ込めるように形成される。前記第1のコンタクトは、前記複数の音響波伝播層の1つに形成され、第1の差動信号が入力または出力される。前記第2のコンタクトは、前記複数の音響波伝播層の他の1つに形成され、前記第1の差動信号とは位相が異なる第2の差動信号が入力または出力される。 (もっと読む)


【課題】半導体集積回路上に小面積で形成でき、かつ、適切な周波数の発振信号を生成できる発振器と、これを用いたPLL回路を提供する。
【解決手段】発振器は、第1のノードと第2のノードと間に並列接続される抵抗と、反転増幅器と、半導体素子とを備える。前記半導体素子は、半導体基板と、前記半導体基板に、長辺および短辺を有する形状で形成される音響波伝播層と、少なくとも前記音響波伝播層の長辺方向の両端に形成される音響波反射層と、前記音響波伝播層上に形成され、前記第1のノードと電気的に接続される第1のコンタクトと、前記音響波伝播層上に前記第1のコンタクトとは離れて形成され、前記第2のノードと電気的に接続される第2のコンタクトと、を有する。前記第1のノードまたは前記第2のノードから発振信号を出力する。 (もっと読む)


【課題】送受信帯域外の減衰特性と送受信端子間のアイソレーション特性を低下させることなく、従来よりも小型化、低背化が可能なアンテナ分波器を提供する。
【解決手段】アンテナ端子と送信端子との間に配置される送信フィルタと前記アンテナ端子と受信端子との間に配置される受信フィルタとをパッケージに実装してなるアンテナ分波器において、パッケージ内の受信フィルタ用のグランドパターン152は、他のグランドパターン156,157とは分離されており、2つ以上のフットパッドを有する。 (もっと読む)


【課題】簡易に半導体集積回路上に形成可能な共振器を提供する。
【解決手段】共振器は、半導体基板と、第1の音響波伝播層と、第1の音響波反射層と、を備える。前記第1の音響波伝播層は、前記半導体基板に、第1の方向に長辺、前記第1の方向とは異なる第2の方向に短辺をそれぞれ有する形状で形成される。前記第1の音響波反射層は、少なくとも前記第1の音響波伝播層の前記第1の方向の両端に形成される。前記第1の音響波反射層の前記第1の方向の幅は、前記第1の音響波伝播層と前記第1の音響波反射層との界面での音響波の音の強さ反射係数または音の強さ透過係数が所定値以上となるよう形成される。 (もっと読む)


【課題】歩留まりを低下させずに、モジュール化の際の圧力で変形しない中空構造を得ること。
【解決手段】本発明は、圧電基板10上に設けられた弾性波素子12上に空洞部16を有するように設けられた感光性樹脂の第1封止部26と、第1封止部上に設けられた感光性樹脂の第2封止部28と、第2封止部上に設けられた外部接続部22と、第1封止部及び第2封止部を貫通して第1封止部及び第2封止部に直接接し、弾性波素子と外部接続部を電気的に接続させる柱状電極20と、を具備し、第1封止部は、基板側の幅が反対側の幅よりも広くなる段差を有するように、弾性波素子の機能部分を囲うように設けられた第3封止部30と、機能部分上に空洞部を形成するように第3封止部上に設けられた第4封止部32と、を有し、第3封止部の幅が第4封止部の幅よりも広く、第2封止部は、第1封止部の段差の部分を含んで第1封止部に直接接している弾性波デバイス。 (もっと読む)


【課題】大きなインダクタンスをもつインダクタ素子を実現する音響半導体装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、素子部と、第1端子と、を備えた音響半導体装置が提供される。前記素子部は、半導体結晶を含み音響定在波が励起可能な音響共振部を含む。前記第1端子は、前記素子部と電気的に接続される。前記第1端子を介して、前記音響定在波と同期する電気的信号を前記音響共振部から出力する、及び、前記音響定在波と同期する電気的信号を前記音響共振部に入力する、の少なくもいずれかを実施可能である。 (もっと読む)


【課題】損失を抑制すること、または帯域特性を制御することが可能な弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】第1圧電膜14と前記第1圧電膜を上下に挟む第1下部電極12および第1上部電極16とを含む第1圧電薄膜共振子10と、前記第1上部電極16上に設けられたデカプラ膜30と、前記デカプラ膜上に設けられ、第2圧電膜24と前記第2圧電膜を上下に挟む第2下部電極22および第2上部電極26とを含む第2圧電薄膜共振子20と、を具備し、前記第1圧電膜および前記第2圧電膜は窒化アルミニウムにより形成されるとともに前記窒化アルミニウムの圧電定数を高める元素を含有する弾性波デバイス。 (もっと読む)


【課題】圧電体を挟む2つの電極および圧電体層の結晶性の関係が良好な圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子は、第1電極20と、第2電極40と、第1電極20および第2電極40の間に挟持された圧電体層30と、を含む圧電素子であって、第1電極20および圧電体層30は、ペロブスカイト型の結晶構造を有する酸化物を主成分とし、第2電極40は、面心立方の結晶構造を有する金属を主成分とし、第1電極20、圧電体層30および第2電極40は、それぞれ優先配向構造を有し、第1電極20、圧電体層30および第2電極40の、優先配向軸におけるX線回折強度測定のピークの半値幅を、それぞれf1、f2およびf3(°)としたとき、式(1):f1>f2>f3
の関係を満たす。 (もっと読む)


【課題】アンバランス−バランス変換を行うフィルタをFBARで実現する。
【解決手段】主端子に接続されている主トランスデューサと、複数の副端子に接続されている副トランスデューサと、主トランスデューサと副トランスデューサとを機械的に結合する結合トランスデューサとを備えている。主トランスデューサ及び副トランスデューサと結合トランスデューサとの間には、音響カプラー膜11が備わる。 (もっと読む)


【課題】鉛を含有せず、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口21に連通する圧力発生室12と、圧力発生室12に圧力変化を生じさせる圧電素子300と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、酸化チタン膜61を形成する工程と、酸化チタン膜61上に白金膜62を形成する工程と、白金膜62上にビスマス、ランタン、鉄及びマンガンを含む圧電体前駆体膜を形成する工程と、圧電体前駆体膜を不活性ガス雰囲気中で焼成し結晶化することにより圧電体層70を形成する工程と、圧電体層70上に電極80を形成する工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】硝酸塩や溶媒としてのPRTR対象物質を使用せず且つ廃液も生じさせずに製造できる鉛を含有しない圧電セラミックス膜形成用組成物、圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】Bi3+、Fe3+及びMn3+を含み、溶媒としてアセチルアセトン及び2−エチルヘキサン酸を含む圧電セラミックス膜形成用組成物とする。 (もっと読む)


【課題】圧電特性の向上を図った圧電薄膜素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも下部電極、一般式 (NaxyLiz)NbO3(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦0.2、x+y+z=1)で表される圧電薄膜、及び上部電極を配した圧電薄膜素子であって、前記圧電薄膜が、擬立方晶あるいは正方晶あるいは斜方晶の結晶構造、あるいはそれら前記の少なくとも一つが共存した状態を有しており、それら結晶軸のうち2軸以下のある特定の軸に優先的に配向しており、かつ前記配向している結晶軸の成分として、(001)成分と(111)成分比において、それら両者の合計を100%としたとき、(001)成分の体積分率が60%以上100%以下の範囲内にあり、(111)成分の体積分率が0%以上40%以下の範囲内にあることを特徴と
する。 (もっと読む)


【課題】複数の共振周波数を有する共振器において、従来よりも小型化を図ることが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Sinが入力される入力端子を、複数の端子in3,in5,in7間で切り換えることにより、導体部111におけるブロックに対する入力交流信号Sinの入力経路を切り換える。また、出力交流信号Soutが出力される出力端子を、複数の端子out3,out5,out7間で切り換えることにより、導体部111におけるブロックからの出力交流信号Soutの出力経路を切り換える。これにより、単一構造の共振器1内において、電位差が生じる絶縁膜112の振動部11内での位置に応じて、複数の共振周波数fr(複数の次数の共振モード)が励起される。 (もっと読む)


それ自体公知のはしご型構造または格子型構造のリアクタンスフィルタにおいて、リアクタンスフィルタの少なくとも1つの直列共振器と並列につながれたコンデンサによって、通過帯域の上側エッジを急峻化することが提案される。このようなリアクタンスフィルタには、デュプレクサの送信フィルタとしての好ましい用途がある。コンデンサは、リアクタンスフィルタのデバイスチップの上に統合して作成することができ、特に、共振器とコンデンサを製作するのに同じ方法ステップと同じ層構造を利用することができる。
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【課題】複数の振動腕の間に連結部から1本の中央支持腕を延長させた屈曲振動モードの屈曲振動片において、振動腕の屈曲振動によって連結部に生じる熱弾性損失によるQ値低下を改善する。
【解決手段】圧電振動片21は振動腕23,24の幅方向に沿って連結部22の振動腕を接続する部分と中央支持腕25を接続する部分間の領域28,29に有底溝30,31を有する。この溝により、振動腕の屈曲振動により領域28,29の振動腕側の部分32,33と反対側の部分34,35間の熱伝達経路が見かけ上長く、これら部分間での緩和時間が長くなるので、Q値が極小となる緩和振動数が従来よりも小さくなり、Q値が改善する。貫通溝の場合、領域28,29の振動腕側及び反対側の部分37、38内部の熱伝達経路が短く、各部分の緩和時間が短くなるので、緩和振動数が従来よりも大きくなり、Q値が改善する。 (もっと読む)


コア共振器(42)を環境効果および経年劣化効果の両方から離隔するバルク音波共振器構造(52)。この構造は、少なくとも部分的に2つの電極(14、18)の間に配置された圧電層(16)を有する。この構造は、汚染、パッケージ漏れ、および外部効果による圧電材料(16)に対する変化に抗して保護されながら、依然として慣性抵抗をもたらす。この構造は、経年劣化効果を規定の閾値以下に制限する、1つまたは複数の保護要素を有する。共振器の挙動は、直列共振においてのみならず、共振の全帯域幅にわたって安定化される。保護要素の例は、周辺および縁部に関連する環境的現象および経年劣化現象をコア共振器から遠ざけておくようにコア共振器を取り巻く材料のカラー(44)と、圧電層の上または下に形成されたブラッグ反射器(34、48)と、圧電層を覆って形成されたキャップ(60)とを含む。
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【課題】2次元状に配置された多数の圧電素子を狭いピッチに優位なシリコンなどの剛性基板に電気的に接続するにあたって、前記剛性基板の割れを防止する。
【解決手段】前記多数の圧電素子5間を分離するために設けられる素子間充填剤層7を、前記圧電素子5の表面を超えて延在させて前記圧電素子5の表面を剛性基板6から離間させ、すなわち前記延在させた素子間充填剤層7を圧電素子5の表面と剛性基板6との間隔を一定に保つスペーサとして機能させ、生じた隙間に、導電性接着剤層8を充填して、個別電極4を剛性基板6の電極6aに電気的に接続する。したがって、剛性基板6がPZTなどから成る圧電層2に直接接触せず、それらの間に、比較的柔らかい素子間充填剤層7や導電性接着剤層8が介在されることになるので、前記剛性基板6の割れを防止することができる。また、両者の平面性が悪い場合でも、確実に電気接続を行うことができる。 (もっと読む)


本発明は、音響波デバイスの分野に係わり、特に数百MHzから数GHzの高い周波数での作業が可能なトランスデューサの分野、とりわけ、少なくとも2基板と強誘電体層2とを含む界面音響波デバイス1に関するものである。強誘電体層は、第1電極3と第2電極4との間に配置され、かつ第1正偏向分域7と第2負偏向分域8とを含み、該第1と第2の分域は交互に配置されている。該音響波デバイスは、第1電極3と、強誘電体層2と、第2電極4とから成る集成体が、第1基板5と第2基板6との間に設けられていることを特徴とする。
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