【課題】更なる小型化を図ることが可能な電子部品、この電子部品を備えた電子機器及びこの電子部品の製造方法の提供。
【解決手段】水晶振動子１は、引き出し電極１５ａ，１６ａを有する水晶振動片１０と、バンプ電極２４，２５を有するパッケージベース２１と、を備え、バンプ電極２４，２５と引き出し電極１５ａ，１６ａとを介して、パッケージベース２１に水晶振動片１０が載置されており、バンプ電極２４，２５は、パッケージベース２１の支持面２３から水晶振動片１０側に向かって突出した形状であると共に、パッケージベース２１の支持面２３の広がり方向に向かって凸状に丸みを帯びた形状を備えた樹脂製の樹脂突起２４ａ，２５ａと、樹脂突起２４ａ，２５ａの表面を覆う導電性被膜２４ｂ，２５ｂと、を有し、引き出し電極１５ａ，１６ａとバンプ電極２４，２５とが、直接接合されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出感度を高めた振動子を提供すること。
【解決手段】本発明の振動子は、厚みすべり振動モードで振動する振動体と、前記振動体の第１の面における、第１の領域に形成された第１の吸着膜と、前記振動体の前記第１の面と対向する第２の面における、第２の領域に形成された第２の吸着膜と、表面に前記振動体を立設された基板と、を備え、前記振動体は、前記第１の面及び前記第２の面とは異なる第３の面において前記基板に接していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電デバイスとそれを用いた電子機器及び自動車の衝撃信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、底面１１と、底面１１にその一端が配置された可撓性部材１２と、可撓性部材１２の他端により中空保持された圧電振動子１３とを備え、圧電振動子１３の下面側において底面１１の裏面１１Ａに対して略平行に水平保持部材１４が設けられた圧電デバイスとしたものである。
この構成により、圧電振動子１３の底面１１に対する水平性が失われようとするのを、底面１１と圧電振動子１３との間に介在させた水平保持部材１４が抑制するため、衝撃信頼性を向上させることができるのである。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片及び外枠を一体にした圧電基板の両面に上下圧電基板を接合した圧電振動子において、高い気密性及び接合強度を確保しかつ高い周波数精度を実現する。
【解決手段】水晶振動子１は、ＡＴカット水晶振動片５と外枠６とを一体に結合した中間水晶板２と上側及び下側水晶基板３，４とを備える。中間水晶板の外枠下面には導電膜１０，１３が形成され、下側水晶基板の上面には金属薄膜１６，１８が形成され、互いにプラズマ処理により清浄化・活性化した後、拡散接合により気密に接合される。中間水晶板と下側水晶基板との接合後、中間水晶板と上側水晶基板との接合前に、水晶振動片を周波数調整することができる。中間水晶板外枠の上面及び上側水晶基板の下面は水晶素面からなり、プラズマ処理を用いた表面活性化接合により気密に接合される。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子を挟む容器体に硬脆材のガラスを使用しているので、外部から応力が加わった場合、仮にその応力が微小であっても、それら容器体に挟まれた圧電振動素板が歪んでしまい、圧電振動素子の振動特性に悪影響を及ぼす虞がある。
【解決手段】圧電振動素子を間に挟む形態で第１の容器体と第２の容器体が組み合わされており、且つ第１の凹部及び第２の凹部により形成された内部空間が気密となるよう、第１の容器体、第２の容器体及び圧電振動素子を相互に接合してなる圧電振動子において、上記第１の容器体及び第２の容器体を構成するガラス構造体内に、絶縁性のウィスカーが含有されている圧電振動子。 （もっと読む）

【課題】ガラスあるいはシリコンウエハ状態で製造工程から一貫して処理する表面実装可能な圧電発振器を小型化しても所望の発振周波数信号を安定して出力できる構造と製造方法の実現。
【解決手段】枠部１と電極が形成された振動部２とが一体となった圧電素子３と発振動作機能と温度補償機能を構成したシリコンウエハ５と、圧電素子ウエハの上面に蓋体４となるウエハとを接合して一体化した圧電発振器の製造工程として、枠部１と電極が形成された振動部２とが一体となった圧電素子３をマトリクス状に設けた圧電素子ウエハと、シリコン基板上に発振動作機能と温度補償機能を構成したシリコンウエハとを接合する工程と、圧電素子の周波数調整を行う工程と、圧電素子ウエハ上に蓋体４となる圧電ウエハあるいはシリコンウエハを直接接合あるいは、陽極接合する工程から成る。 （もっと読む）