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Fターム[5J108FF02]の内容

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Fターム[5J108FF02]に分類される特許

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【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるMEMS振動子を提供する。
【解決手段】MEMS振動子100は、基板10と、基板10の上方に配置された第1電極20と、第1電極20との間に空隙を有した状態で配置され、第1電極20との間の静電力によって基板10の厚み方向に振動可能となる梁部32、および梁部32を支持する支持部34を有する第2電極と、を含み、第2電極30は、梁部32を複数有する。 (もっと読む)


【課題】ねじり振動と別の振動モードが励振されることを抑制できるMEMS振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係るMEMS振動子100は、ねじり振動する可動電極30と、可動電極30と間隙を介して形成された第1固定電極40および第2固定電極50と、を含み、可動電極30は、第1面32と、第1面32に接続され互いに反対を向く第2面34および第3面36と、を有し、第1固定電極40は、第1面32と対向する第4面42と、第2面34と対向する第5面44と、を有し、第2固定電極50は、第1面32と対向する第6面52と、第3面36と対向する第7面54と、を有し、第2面34と第5面44との間隔D2は、第1面32と第4面42との間隔D1よりも大きく、第3面36と第7面54との間隔D4は、第1面32と第6面52との間隔D3よりも大きい。 (もっと読む)


【課題】ディスク状の振動板がワイングラスモードで振動するように構成された輪郭振動型のディスク振動子において、当該ディスク振動子の小型化を図ること。
【解決手段】平面で見た時に第1の電極21、21を結ぶと共に振動板10の中心を通る直線をLとすると、この直線とのなす角度θが45°となる位置において振動板10に貫通孔11を形成し、即ち振動板10の振動の節となる位置(振動板10の振動を阻害しない位置)に貫通孔11を形成し、この貫通孔11の内壁面とベース基板1(導電膜5)との間を接続するように支持部30を設ける。 (もっと読む)


【課題】広い温度範囲に亘って安定した周波数信号を得るための小型の圧電振動子及びこの圧電振動子を備えた発振器を提供すること。
【解決手段】共通の圧電板1に振動部11、21を設けて、これら振動部11、21を囲む枠状体31を配置すると共に、枠状体31に対して振動部11、21を夫々支持する支持部12、22を圧電板1に設ける。また、振動部11、21の励振電極13、23に夫々接続される電極パッド15、25を枠状体31に設けると共に、これら振動部11、21間に、例えば圧電板1の双晶化により形成される弾性境界領域32を配置して、圧電板1の振動の伝搬を抑制する。更に、第1の支持部12及び第2の支持部22に弾性境界領域32を設ける。 (もっと読む)


【課題】本発明は、基本波以外の周波数の発生が抑えられた水晶振動片及び水晶デバイスを提供する。
【解決手段】メサ型の水晶振動片(130)が、薄い厚さの周辺部(134a)と、周辺部より中央側で、一主面に周辺部よりも第1高さ(HR1)だけ高く形成され第1平面形状を有する平面上の第1凸部(134b)と、周辺部より中央側で、一主面に対向する他主面に周辺部よりも第2高さ(HR2)だけ高く形成され第2平面形状を有する平面上の第2凸部(134c)と、を備え、第1凸部の第1平面形状が第2凸部の第2平面形状と面積又は平面形状の少なくとも一方が異なる、もしくは第1凸部の第1高さが第2凸部の第2高さと異なる。 (もっと読む)


【課題】所望の次数のエネルギー閉じ込めモードを選択的に励振させることが可能な弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板10には、予め設定された次数のエネルギー閉じ込めモードの弾性波を励振するために第1の電極である櫛歯電極20aと、第2の電極(櫛歯電極20b)とが設けられ、エネルギー閉じ込め機構(金属膜23)はこれら第1の電極及び第2の電極が設けられた領域に前記弾性波を閉じ込める効果を高める役割を果たす。そして、第1の電極(櫛歯電極20a)の各電極指22aは、前記予め設定された次数のエネルギー閉じ込めモードの弾性波によって圧電基板10に誘起される誘起電荷の絶対値の分布が極大となる位置であって、互いに誘起電荷の極性が同じ位置に配置されている。 (もっと読む)


【課題】大きな電気機械結合定数を有する弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板10と、基板10上に設けられた下部電極12と、下部電極12上に設けられ、a軸方向の格子定数とc軸方向の格子定数との比が1.6より小さい窒化アルミニウムからなる圧電薄膜14と、圧電薄膜14上に設けられ、圧電薄膜14を挟んで下部電極12と対向する上部電極16と、を具備する弾性波デバイスである。本発明によれば、大きな電気機械結合定数を有する弾性波デバイスを提供することができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、パッケージ内に形成される電極による浮遊容量の発生が抑えられた圧電発振器を提供する。
【解決手段】圧電発振器(100)は、圧電振動片(110)と、励振電極(111)と、一端側と他端側とに引き出された一対の引出電極(112)と、励振電極を励振させる一対の圧電端子(125a)、電源を接続される電源端子、励振電極が励振した周波数を出力する出力端子、及び接地用のグランド端子を有する発振回路(120)と、一対の圧電端子から一対の引出電極まで配線する一対の配線電極(139)を有するパッケージ(130)と、を備え、一対の圧電端子が、互いに対向する位置に配置され、一対の圧電端子の両側に、電源端子、出力端子及びグランド端子の少なくとも1つが配置され、一対の配線電極が、圧電端子から互いに逆方向に引き出されている。 (もっと読む)


【課題】CI値が小さく、近傍のスプリアスを抑圧した高周波の小型圧電振動素子を基本波で実現する。
【解決手段】圧電振動素子1は、矩形の振動領域12、及振動領域12と一体化された厚肉の支持部13を有する圧電基板10と、励振電極25a、25bと、リード電極27a、27bと、を備えている。支持部13は、第1の支持部14と、第1の支持部14との一端に連設する第2の支持部15、を備えている。第1の支持部14は、厚みが変化する第1の傾斜部14bと、四角柱状の第1の支持部本体14aと、を備え、第1の支持部14には少なくとも一つのスリット20が設けられている。 (もっと読む)


【課題】 温度補償膜を用いた弾性波フィルタの広帯域化及び整合改善を図ると共に、共振周波数のずれを抑制することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、複数の圧電薄膜共振子を含む弾性波フィルタであって、圧電薄膜共振子は、基板10と、基板10上に設けられた圧電薄膜14と、圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極12及び上部電極18と、下部電極12及び上部電極18が対向する共振領域40に設けられ、共振領域40とは異なる形状を有する周波数制御用の質量負荷膜24と、共振領域40に設けられ、圧電薄膜14の弾性定数の温度係数とは逆符号の温度係数を持つ温度補償膜16と、を備え、複数の圧電薄膜共振子のうち少なくとも2つは、質量負荷膜24の面積が互いに異なることを特徴とする弾性波フィルタである。 (もっと読む)


【課題】周波数の温度特性を改善すると共に、圧電膜の配向性の乱れを抑制し、良好な共振特性を得ることが可能な圧電薄膜共振器およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、基板10上に設けられた下部電極12と、下部電極12上に設けられた、2層からなる第1圧電膜14および第2圧電膜18と、第2圧電膜18上に設けられ、第1圧電膜14と第2圧電膜18とを挟み下部電極12と対向する領域を有する上部電極20と、下部電極12と上部電極20とが対向する領域であって、第1圧電膜14と第2圧電膜18との2層の間に設けられた絶縁膜16と、を具備し、絶縁膜16の上面は下面よりも平坦である圧電薄膜共振器である。 (もっと読む)


【課題】 水晶振動素子が小型化された場合にも水晶振動素子の等価直列容量を十分に確保して水晶振動素子の振動特性を向上させることを課題とする。
【解決手段】 本発明の水晶デバイスは、水晶素板121と、水晶素板121を介し対向するようにして水晶素板121の表面に設けられた一対の励振用電極122と、水晶素板121の一端側に離間して設けられ、各々が励振用電極122に電気的に接続されている一対の接続パッド124とを備えている。一対の励振用電極122の対向部は、一対の接続パッド124の離間領域に向かって張り出している張り出し部125を有している (もっと読む)


【課題】周波数精度の高いMEMS振動子を提供する。
【解決手段】MEMS振動子100は、基板10と、基板10の上方に配置された第1電極20と、少なくとも一部が前記第1電極20との間に空隙を有した状態で配置され、前記基板10の厚み方向に静電力によって振動可能となる梁部34、梁部34の一端34aを支持し基板10の上方に配置された支持部32を有する第2電極30と、を含み、支持部32の一端34aを支持する支持側面32aは、基板10の厚み方向からの平面視で屈曲している屈曲部を有し、一端34aは、屈曲部を含む支持側面32aにより支持されている。 (もっと読む)


【課題】高周波数で動作する振動子の振動検出が容易な機械共振器を提供する。
【解決手段】機械共振器は、基板上に形成されたドレイン1と、基板上に形成されたソース2と、一端がドレイン1に接続され、他端がソース2に接続された伝導部3と、伝導部3と対向するように配置され、伝導部3の伝導度を電界効果により制御するゲート6,7とを備える。伝導部3とゲート6,7のうち少なくとも一方は、基板から浮いた状態で支持される。ゲート6,7に一定のバイアス電圧が印加された状態で、伝導部3とゲート6,7のうち少なくとも一方が振動子として振動したときに、伝導部3とゲート6,7との距離が変化することにより、ドレイン1とソース2間の出力電圧が変調される。 (もっと読む)


【課題】屈曲振動片の振動腕の側面に厚さ方向に分離した電極を高精度にパターニングする。
【解決手段】屈曲振動片21は、基部22から延出する断面矩形の振動腕24が下面24b及び上面24aと左側面24c及び右側面24dとの間に、それぞれ左側面及び右側面に交わる段差面27a,28aと上面及び下面に交わる段差側面27b,28bとからなる第1、第2段差部27,28を有し、左右側面の第1、第4検出電極29a,29dと段差側面の第2、第3検出電極29b,29cとが、電極膜を形成していない段差面27a,28aの部分によりそれぞれ振動腕の厚さ方向に分離されている。第1〜第4検出電極は、従来のフォトエッチングにより、一般的な露光機を用いた上下面からの露光によって高精度にパターニングされる。 (もっと読む)


【課題】基本波で高周波、且つ小型であり、主振動のCI値が小さく、スプリアスのCI値比の大きな圧電振動素子を得る。
【解決手段】圧電振動素子1は、薄肉の振動領域12、及び振動領域12の一辺を除いた三辺に沿って一体化されたコ字状の厚肉支持部を有する圧電基板10と、振動領域12の表面及び裏面に夫々配置された励振電極25a、25bと、リード電極27a、27bと、を備えている。厚肉支持部は、振動領域12を挟んで対向配置された第1の支持部14、及び第2の支持部16と、第1及び第2の支持部の基端部間を連設する第3の支持部18と、を備えている。第2の支持部14は、振動領域12の一辺に連設し第2の傾斜部14bと、第2の傾斜部14bの他端縁に連設する厚肉の第2の支持部本体14aと、を備え、第2の支持部14には、少なくとも一つの応力緩和用のスリット20が貫通形成されている。 (もっと読む)


【課題】温度変化に対する周波数やCI値の変動を抑えて温度特性を良好にする。
【解決手段】水晶振動片2は、厚みすべり振動にて動作するものであり、基板21の一主面22の一端部26に、ベース6の電極パッド67に接合する接合部28が設けられている。また、基板21の一主面22に、第1の励振電極41が形成された第1のメサ31が成形され、基板21の他主面23に、第2の励振電極42が形成された第2のメサ32が成形されている。第1のメサ31と第2のメサ32とは非対応関係にあって異なる形状からなり、第1の励振電極41と第2の励振電極42とは対応関係にあって同形状からなる。 (もっと読む)


【課題】低損失、低コストであり、かつスプリアスを抑制すること。
【解決手段】基板10と、基板上に形成された下部電極12と、前記下部電極上に形成された圧電膜14と、前記圧電膜上に形成された上部電極16と、を具備し、前記圧電膜を挟み下部電極と上部電極とが対向する共振領域20の端において、前記下部電極および前記上部電極の少なくとも一方が前記共振領域の中央部に対し厚く形成された厚膜領域32が形成され、前記厚膜領域の幅は、前記圧電膜の厚さ方向に交差する方向に伝搬する弾性波の波長より狭い圧電薄膜共振子。 (もっと読む)


【課題】振動腕の断面に工夫をすることにより、振動特性を損なうことなく、また、一般の露光装置を用いることが可能とされる、対向側面に長さ方向に分割された電極を備えた音叉型圧電振動片を提供することを課題とする。
【解決手段】音叉型圧電振動片1は、基部2と、この基部2の両端からこれと直角方向に、且つ、同じ側に延出した一対の平行な振動腕3が一体的に形成され、各振動腕3の側面32であって、表裏の主面31を除いた側面32のそれぞれは、振動腕3の長さ方向に沿って、互いに平行であるが互いにずれている2つの段差平面33とこの2つの段差平面33を結ぶ遷移面34を有しており、段差平面33のそれぞれには、遷移面34上の非電極部5によって互いに隔てられている電極4がそれぞれ形成されている。 (もっと読む)


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