【課題】振動子の発振周波数不安定を抑制し、安定的に発振させる事ができる振動子の作製方法、振動子作製用マスク、及び振動子用パッケージを提供する。
【解決手段】振動子作製方法は、貫通孔１４ａ、１４ｂが設けられたマスク１０を基台に載置した状態で、貫通孔内に第１の開口から充填された接着剤と接する貫通孔周りのマスク１０の側壁のうち、第１の開口を含むマスク表側側壁領域を除き、第１の開口と反対側の第２の開口を含むマスク裏側側壁領域を加熱素子２２ａ、２２ｂにて加熱する事で、接着剤の側壁部を部分的に硬化させ、マスク１０を基台から除去後、基台に設けられた接着剤を用いて振動板を基台に接着させる事により振動子を作製する。振動子作製用マスクは、上記加熱素子を有するマスクで、振動子用パッケージは、振動板を接着するための基台上に、振動板を接着するための接着剤の塗布領域を加熱する加熱素子を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で内部空間の窒素を減少させてＣＩ値を良好にする水晶デバイスの提供。
【解決手段】凹部を有する基体２と、凹部の開口端面に接合して基体２に接合して内部空間５を形成する蓋体４と、内部空間５に収容された水晶片３とからなる水晶デバイス１において、基体２には窒素吸蔵特性を有する窒素吸蔵合金１０が接着剤１１によって接合されて、内部空間５には窒素吸蔵物質１０が露出した構成とする。 （もっと読む）

【課題】ガラスフリットの内部に形成される空隙部を縮小して、キャビティ内の気密性の維持を図ることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】貫通孔２１，２２内に充填されたガラスフリット３８を焼成して、硬化させる焼成工程を有し、焼成工程は、圧力が大気圧よりも高く設定された加圧雰囲気下で行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラスフリットの内部での空隙部の発生を抑制して、キャビティ内の気密性の維持及び貫通電極の機械的強度の向上を図ることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】貫通孔２１，２２内に充填されたガラスフリット３８を焼成して、硬化させる焼成工程を有し、焼成工程は、圧力が大気圧よりも低く設定された減圧雰囲気下で行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】キャビティ内の気密を維持するとともに、キャビティの内部と外部との導通性を確保できるパッケージの製造方法及び圧電振動子、発振器、電子機器並びに電波時計を提供する。
【解決手段】充填工程は、ゴム硬度が６０度以上７０度以下のゴム材料からなるフィルスキージを、ベース基板用ウエハ４０の外面４０ａに沿って走査し、貫通孔３０，３１内にガラスフリット６ａを充填する第１充填工程と、樹脂材料又は金属材料からなるスクライブスキージ９０，９１を、外面４０ａに沿って走査し、貫通孔３０，３１内にガラスフリット６ａを充填する第２充填工程とを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周波数変動を防止することができる圧電発振器及び生産性を向上させることができる圧電発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】基板部１１０ａと枠部１１０ｂによって基板部１１０ａの一方の主面に凹部空間１１１が設けられた容器体１１０と、凹部空間内に露出した基板部１１０ａの一方の主面に設けられた２個一対の圧電振動素子搭載パッド１１３に搭載され、励振用電極１２２が設けられている圧電振動素子１２０と、基板部１１０ａの他方の主面に設けられた集積回路素子搭載パッドに搭載されている集積回路素子１４０と、凹部空間１１１を気密封止する蓋体１３０と、基板部１１０ａの他方の主面の４隅に設けられ、搭載された集積回路素子１４０よりも大きい厚さを有する直方体形状の端子部Ｔと、隣り合う端子部間に設けられ、端子部Ｔの厚さよりも薄い絶縁性壁部ＺＨと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】封止材を溶融させて封止孔を封止する際に、溶融した封止材が封止孔の内壁面に濡れ広がりやすくするとともに望まない部位への濡れ広がりを抑制して、安定した振動特性を有し、高信頼性を備えた圧電デバイスを提供する。
【解決手段】水晶振動子は、振動片基板の上下に連通する開口部Ｔ１を、リッド基板およびベース基板とで塞ぐように接合して形成されている。リッド基板の封止孔４０は、封止孔４０は、その内壁部を、外部側からリッド基板の中間部までの外部側内壁部４１と、前記中間部から内部空間側の開口部４２ｂまでの内部空間側内壁部４２とに分けて見たとき、封止孔４０の断面が前記中間部を屈曲部とした２段のテーパー形状を有し、また、外部側内壁部４１と内部空間側内壁部４２との成す角のうち封止孔４０の内側の角が１８０°より大きく形成されている。外部側内壁部４１には金属膜４３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子を挟む容器体に硬脆材のガラスを使用しているので、外部から応力が加わった場合、仮にその応力が微小であっても、それら容器体に挟まれた圧電振動素板が歪んでしまい、圧電振動素子の振動特性に悪影響を及ぼす虞がある。
【解決手段】圧電振動素子を間に挟む形態で第１の容器体と第２の容器体が組み合わされており、且つ第１の凹部及び第２の凹部により形成された内部空間が気密となるよう、第１の容器体、第２の容器体及び圧電振動素子を相互に接合してなる圧電振動子において、上記第１の容器体及び第２の容器体を構成するガラス構造体内に、絶縁性のウィスカーが含有されている圧電振動子。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスの小型化に伴って生じる金属ロウ材の飛散・圧電振動片への付着を防止可能な圧電デバイス用パッケージ、および、このパッケージに圧電振動片を収容した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電振動片１２を収容して蓋２１により封止される圧電デバイス用パッケージであって、基板１３と、基板１３の上面周縁に沿って立設固定され、封止の際に蓋と加熱接合される壁１５と、加熱接合の際に生じ得る金属ロウ材が飛散して圧電振動片１２に付着することを防止する絶縁性のシート１７と、を備えたことを特徴とする圧電デバイス用パッケージ。 （もっと読む）

【課題】ＦＣＢ法を用いて圧電振動片をベースに接合する場合であっても、毎回の除去工程を抑制する。
【解決手段】水晶振動片８の両主面８４１，８４２には、励振電極８６１，８６２と、引き出し電極８７１，８７２が形成され、引き出し電極８７１，８７２は励振電極８６１，８６２から基部８３に引き出されている。基部８３に形成された引き出し電極８７１，８７２の引き出し先端部８８１，８８２とベース３の電極パッドがサポート材５を介して水晶振動片用接合材７２により接合されて、励振電極８６１，８６２とベース３の電極パッドとが電気的に接続される。また、水晶振動片８の他主面８４１の、一主面８４２に形成された引き出し先端部８７１，８７２に対向する対向位置８９に形成された引き出し先端部８８１，８８２は、その表面のクロムの表面が酸化されて、絶縁材料となっている。 （もっと読む）

【課題】 スプリアス振動を抑制した、通過帯域特性の良好な３ポール型のモノリシック水晶フィルタを提供する。
【解決手段】 水晶振動板１は厚みすべり振動で駆動する矩形のＡＴカット水晶振動板であり、その表裏面には対向して平面視矩形形状の励振電極が形成されている。当該励振電極は、矩形状の励振電極１２，１３，１４が長辺方向に直列的に形成されている。また、水晶振動板の表面においては当該励振電極１２，１３，１４に対応した矩形状の励振電極１１が形成され、表裏で対向した電極（対向電極）を形成している。対向電極は長辺から４度斜め上方に傾斜（傾斜角度θが４度）している。 （もっと読む）

【課題】 電気的特性を向上させ、かつ動作信頼性の高い水晶振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 セラミックパッケージ１の内部底面には電極パッド１２、１３が形成されており、前記電極パッド１２，１３間には水晶振動素子である平面視矩形形状の水晶振動板２が搭載されている。電極パッド上には第１の導電性樹脂接合材が硬化形成され、その上部に第１の導電性樹脂接合材より小さい範囲で励振電極形成された水晶振動板２が第２の導電性樹脂接合材により導電接合される。 （もっと読む）

【課題】ベースとキャップとの接合状態を安定させて、パッケージ内部が気密不良になるのを抑制する。
【解決手段】ベース２に水晶振動片を保持した後に、ベース２へのキャップ３の接合工程に移る。ベース２にキャップ３を接合する際に、ベース２の平面視の対向する辺の予め設定した対向する個所でキャップ３を仮止めする。仮止め工程の後に、ベース２とキャップ３とを熱処理する。熱処理工程の後に、ベース２とキャップ３とを接合して、パッケージ１１を構成する。 （もっと読む）

【課題】３倍波以外の振動を効果的に抑制することが可能な圧電共振器を提供する。
【解決手段】矩形状をなす圧電基板の両主面に、該圧電基板を介して一部が対向するように配置されるとともに、前記対向領域から前記圧電基板の一辺と平行な相反する方向に導出された一対の振動電極を被着させた圧電共振素子の両側に、前記対向領域を囲繞する枠体を介して一対の封止体を取着させてなり、前記振動電極への電圧印加に伴い前記圧電共振素子の前記対向領域内で所定周波数の基本波とその３倍波とを発生させるようにした圧電共振器において、前記圧電共振素子及び封止体間で、前記一辺と平行な方向に係る前記対向領域の中央部、及び／又は前記一辺と直交する方向に係る前記対向領域の中央部に、前記振動電極に対して前記対向領域の外周部でのみ部分的に接触する振動抑制体を介在させるとともに、該振動抑制体の存在しない前記対向領域の外周部に前記振動電極と接触する空間層を介在させる。 （もっと読む）