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Fターム[5J108GG21]の内容

圧電・機械振動子、遅延・フィルタ回路 (44,500) | 容器 (7,239) | 内部空間 (467) | ガス (143)

Fターム[5J108GG21]に分類される特許

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【課題】常温から1000℃以上の高温の間で使用可能であり、急激な温度変化に対応して耐久性に優れる圧電振動子、及びこれを用いた温度センサーを提供する。
【解決手段】板状をなす圧電振動子片の表面及び裏面に夫々励振電極を備えてなり、圧電振動子片の素材は、ランガサイト構造を有する酸化物結晶材料からなり、励振電極が、酸化物結晶材料を構成する金属元素の少なくとも1種類を含む第1の金属薄膜と、白金族元素の少なくとも1種類を含む第2の金属薄膜と、高融点金属元素の少なくとも1種類を含む第3の金属薄膜を含む。酸化物結晶材料としてLTG、又はLTGAが好ましい。 (もっと読む)


【課題】セラミックパッケージを不要にするとともに、既成の集積回路部を用いて極めて安価に、かつ、小型化・低背化した圧電発振器を得る。
【解決手段】シリコン半導体基板の上面部2aに集積回路部4を形成した回路基板2と該回路基板2に接合・積層したカバー5とからなる圧電発振器において、前記回路基板2の側面に前記回路基板の上面部2aと前記回路基板の下面部2bとを電気的に接続する電気的導通部22を設ける。また、集積回路部4の寸法よりも大きく回路基板2を形成して、集積回路部4とその周縁部間にスペースを形成したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】圧電振動素子を絶縁容器内にシリコーン接着剤により保持した状態で気密封止した構造の圧電デバイスにおいて、シリコーン接着剤から放出されるシリコーン蒸気成分が圧電振動素子の金属膜上に付着堆積することによって共振周波数が経時的に最終目標周波数よりも低下する不具合を解決することができる圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び周波数安定化方法を提供する。
【解決手段】厚み滑り系の圧電材料から成る圧電基板20と、該圧電基板面に形成した金属膜21とを備えた圧電振動素子を導電性接合部材により容器内に保持した圧電振動子において、雰囲気中に露出している金属膜表面が、非結合電子対をもった物質との化学吸着によって形成された膜30によって覆われている。 (もっと読む)


【課題】固定部材が流出することなどによる振動部の振動の阻害を抑制しつつ、屈曲振動の影響を抑制して安定した振動をするメサ型圧電振動片及びメサ型圧電振動片を備えた圧電デバイスの提供。
【解決手段】励振電極16,18を有する振動部12と、振動部12の両端部に肉薄部13,14を有する水晶振動片10であって、固定部11を有する一方の肉薄部13側の振動部12の端部12bから一方の肉薄部13側の励振電極16,18の端部16b,18bまでの寸法をT1とし、他方の肉薄部14側の振動部12の端部12cから他方の肉薄部14側の励振電極16,18の端部16c,18cまでの寸法をT2とし、水晶振動片10に発生する屈曲振動の波長をλとしたときに、T1−T2=λ×m(但し、T2=(2n−1)λ/2、m及びnは自然数)の関係式を略満たすことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】単層絶縁基板に貫通孔を形成し、この貫通孔の内壁に成膜する金属膜の密着度をあげ、小型、低背化した電子部品用の容器、これを用いた電子デバイスを得る。
【解決手段】回路基板1は、単層絶縁基板10と、貫通孔15と、単層絶縁基板の両主面に設けた配線導体20a、20bと、を備えた回路基板である。貫通孔15は、単層絶縁基板の両主面に形成した第1の凹部15aと、第2の凹部15bと、両凹部間を連通させる貫通部15cと、を有している。第1の凹部15aと第2の凹部15bとの重なる部分の開口面積が、両凹部の何れか大きい方の開口面積の1/2以下であり、第1及び第2の凹部15a、15b、及び貫通部15cの夫々の内壁面は、金属膜16が形成されている。 (もっと読む)


【課題】周波数ドリフト特性の小さく、温度補償型発振器を可能とする、表面実装型の小型圧電デバイスを得る。
【解決手段】容器20Aは、表部に圧電振動素子用の第1の電極パッド28a、28b、及び電子素子用の第2の電極パッド29a、29bを有し、裏部に複数の実装端子22を有した絶縁基板20aと、表部の空間を気密封止する蓋部材38と、を備えた容器である。実装端子22と第1、及び第2の電極パッド28a、28b、29a、29bとは、夫々配線導体23b、23cにより電気的に接続され、絶縁基板20aを主として構成する材質の熱伝導率Tcが、50[W/(m・K)]≦Tc≦200[W/(m・K)]の範囲内である。 (もっと読む)


【課題】 生産性を向上することができる圧電デバイスの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の圧電デバイスの製造方法は、複数の端子部材150を切り出すことが可能な集合端子部材15に電子部品140を実装する工程と、集合端子部材15に圧電振動子10を接合する工程と、集合端子部材15を切断して圧電デバイス100を得る工程とを含むものである。圧電デバイスの製造工程中、集合端子部材15自体が電子部品搭載用キャリアとして機能するようになっていることから、電子部品搭載用キャリアは不要であり、集合端子部材の分割によって得られた個々の端子部材を圧電振動子に搭載するといった煩雑な作業も一切不要となる。これによっても、圧電デバイスの生産性が向上されるようになる。 (もっと読む)


【課題】 封止材のキャビティ内への流入を抑制するとともに、第1板と第2板との接合強度を高める水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶振動子(100)は、第1面とその第1面の反対側の第2面とを有する第1板(40)と、第3面とその第3面の反対側の第4面とを有する第2板(10)と、第1板の第2面と第2板の第3面との間に環状に配置され第1板と第2板とを接合する環状の接合材(LG)と、第2面又は第3面の少なくとも一方に、接合材の環状に沿って接合材が入り込んだ第1溝部(402)と、第2面又は第3面の少なくとも一方に、接合材の環状の内側に第1溝部(402)に並んで形成される第2溝部(403)と、を備える。 (もっと読む)


【課題】圧電振動素子の角部の欠けが生じることを低減することができるパッケージ及び圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】上面に搭載パッド111を有したベース110aと、搭載パッド111を囲むようにしてベース110a上に取着され、内側に圧電振動素子が配置される枠体110と、搭載パッド111と枠体110b内壁との間に設けられた弾性部材112と、によってパッケージ110を構成する。その目的は、パッケージ110に圧電振動素子120を搭載する際に圧電振動素子120が破損する可能性を低減することができる (もっと読む)


【課題】メサ型の水晶振動片においてCI値を小さくする水晶振動片を提供する。
【解決手段】メサ型水晶振動片20は、一対の励振電極22a、22bを両主面に有する四角形状の振動部24と、振動部の四辺の外側に形成され振動部より厚みが薄い肉薄部21と、励振電極から所定方向に引き出された一対の引出電極23a、23bと、を有するメサ型水晶振動片である。そしてそのメサ型水晶振動片は、励振電極の所定方向の長さの中心は、振動部及び肉薄部を含む所定方向の長さの中心よりも引出電極の反対側に25μmから65μm偏心している。 (もっと読む)


【課題】CI値が小さく、近傍のスプリアスが抑圧され、耐衝撃性に強い小型圧電振動素子を基本波で実現する。
【解決手段】圧電振動素子1は、矩形の振動領域12、及振動領域12と一体化された厚肉の支持部13を有する圧電基板10と、励振電極25a、25bと、リード電極27a、27bと、を備えている。支持部13は、第1の支持部14と、第1の支持部14の一端に連設する第2の支持部15と、第1の支持部14の他端に連設する第3の支持部16と、を備えている。第1の支持部14は、厚みが変化する第1の傾斜部14bと、四角柱状の第1の支持部本体14aと、を備え、第1の支持部14には少なくとも一つのスリット20が設けられている。 (もっと読む)


【課題】低融点ガラス等のロウ材に由来する揮発ガス及び接合層からの副次的なガス放散等の影響を受けない気密パッケージのベース本体とカバー蓋体の接合局部溶融手段を利用してコストパフォーマンスを改善し高真空度が維持できる気密パッケージを提供する。
【解決手段】光透過性の材料カバー蓋体17とベース本体11との接合封止において、両者の周辺部の所定接合面のみに短パルスレーザを照射し、この接合面の周辺部位を局部溶解させ、同時に気密封止する。また、互いに同一の透明材料からなるカバー蓋体およびベース本体の所定の接合面のみに短パルスレーザを照射し、該接合面の周辺部位を局部溶解させて気密的に封着する事により、カバー蓋体とベース本体を接合すると同時に気密封止も完了させ、製造工程数を少なくしてコストを軽減する。 (もっと読む)


【課題】 省スペース化を実現し良好な特性を有する超小型の圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶発振器1は、パッケージ2の一主面側に水晶振動素子4が搭載され、蓋3によって水晶振動素子4が封止され、パッケージ2の他主面側にはICチップ5を収容する凹部23が形成された構造となっている。ICチップ5は、凹部23の内底面230に、ICチップ5の一主面の全領域または一部の領域が樹脂材7を介して接合されており、ICチップ5の他主面は能動面となっている。そして前記他主面の外部接続用電極パッド51に形成された導電性部材6は水晶発振器1の外部接続端子となっている。 (もっと読む)


【課題】小型化に対応するとともに接合信頼性が高い貫通電極を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】水晶発振器1は、集積回路基板2の一主面200に回路パターン5が形成され、他主面201に水晶振動素子4が蓋体3で気密封止されている。回路パターン5から他主面202までを貫く貫通孔の内壁面には導電膜が被着された中空状の貫通電極6が形成されている。貫通電極6の一端側には金属バンプB1が配されており、前記一端側から貫通電極6の内部に金属バンプB1の一部が埋没した状態で、樹脂接着材を介して金属バンプB1が水晶振動素子4と接合されている。 (もっと読む)


【課題】基体および蓋体の小型化に対応することができ、かつ、外観を損ねることなく、歪みの発生を抑制することのできる基体と蓋体との接合方法および当該接合方法を実施することのできる接合装置を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、まず、凹部521の開口を塞ぐようにリッド530をパッケージ520に載置するとともに、プラズマ電極130をリッド530に対して空隙を隔てて配置し、接地電極140をリッド530に接触させる。次に、プラズマ電極130とリッド530との間に処理ガスを供給しつつ、プラズマ電極130へ電圧を印加することによりプラズマグロー放電Pを発生させる。これにより、リッド530内に電流を流し、パッケージ520との接触部に発生する抵抗熱によって接触部を溶融し、リッド530をパッケージ520に溶接する。 (もっと読む)


【課題】 電極間を確実に電気的接合するとともに圧電デバイス内に有害ガスや水分が含まれない圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス(100)は、一対の励振電極(104)が形成された圧電振動片(101)と圧電振動片を囲んで圧電振動片と一体に形成され一主面と他主面とを含む枠体(102)と励振電極から枠体の第1主面まで引き出された一対の引出電極(105)とを有する圧電振動板(10)と、一対の外部電極(115)を有する第1面(M1)と一対の外部電極から電気的に接続する一対の接続電極を有する第2面(M2)とを有し第2面が一主面に接合する第1板(11)と、第1板と枠体の第1主面とを接合するため枠体の一主面を周回するように環状に配置されたガラス封止材(SLa)と、一対の引出電極と一対の接続電極とを電気的に接続する導電性接着剤(13)と、を備える。 (もっと読む)


【課題】水晶のエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制された水晶振動片、その水晶振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部21、および基部21から延伸する振動腕22を備え、振動腕22の第1の面1aに開口部を有する有底の溝2が形成され、溝2は、第1の面1aにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕22の延伸方向に沿った仮想の線P2が、溝2が形成される前の振動腕22の重心を通って且つ振動腕22の延伸方向に沿う仮想の線P1に対して平行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた水晶振動片としての振動素子20の製造方法であって、水晶ウェハー第1の面1aに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部21および振動腕22の外形形状と溝2の開口部形状とを露光する工程を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】 ガラス封止材の内部にガスや気泡が発生せず良好な振動特性を有する圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電デバイスの製造方法は、電圧の印加により振動する圧電振動片を用意する工程(S10)と、圧電振動片を収納する第1板及び第2板を用意する工程(S111、S12)と、第1板又は第2板に所定の転移点を有するガラス封止材を配置する工程(S112)と、ガラス封止材をバインダー及び溶剤が蒸散する蒸散温度まで加熱する第1加熱工程(S14)と、第1加熱工程後、ガラス封止材を蒸散温度よりも高くガラス成分の一部が結晶化する温度より低い温度まで加熱する第2加熱工程(S15)と、第1板と第2板とをガラス封止材により接合する接合工程(S17)と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 振動領域における励振電極及び引出電極が均一の厚さで形成され、不要な振動の発生及び振動特性の劣化が防止できる圧電振動片を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動片(10)は、第1厚さ(d1)の励振電極(102a、102b)が中央領域に形成された振動部(101)と、振動部を囲み振動部と空隙(105)を介して形成された外枠部(108)と、振動部と外枠部とを連結する連結部(104a、104b)と、振動部、連結部及び外枠部に形成され励振電極から引き出された引出電極(103a、103b)と、を備える。引出電極は、振動部ですべてが第1厚さを有し外枠部では第1厚さよりも厚い第2厚さ(d2)を有する。 (もっと読む)


【課題】圧電デバイスに衝撃が与えられたときに、音叉型圧電振動片の支持腕の部分が逃げ溝の角張ったエッジ部に衝突することがないようにし、これにより支持腕の折損が生じないようにすることを課題とする。
【解決手段】圧電デバイス1は、音叉型圧電振動片3と、蓋体21、音叉型圧電振動片3が収納され、蓋体21によって密閉される収納凹部22、音叉型圧電振動片3を基部31とは反対側で支持腕33で固定するために、収納凹部22の底面に設けられた一対の支持台23、及び、支持台23に固定された音叉型圧電振動片3が、収納凹部22の底面に衝突するのを防止するために、この底面に形成された逃げ溝24、を有するパッケージとを備えており、逃げ溝24のエッジ部241が、支持腕33の部分に代わり基部31の部分が衝突するようにこの基部31の下側に存在するように形成されている。 (もっと読む)


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