【課題】圧電体薄膜の膜厚の変動があっても圧電薄膜共振子が副共振の影響を受けないようにする。
【解決手段】圧電薄膜共振子１は、支持基板１１に支持された圧電体薄膜１５の両主面に下面電極１４及び上面電極１６を形成し、圧電体薄膜１５を挟んで下面電極１４及び上面電極１６を対向させた構造を有する。導電体薄膜１６０１に導電体薄膜１６０２を付加して部分的に膜厚を厚くした上面電極１６は、自由振動領域１９２において圧電体薄膜１５の膜厚の分布を相殺する膜厚の分布を有する。このような膜厚の分布を有する上面電極１６を採用すれば、圧電薄膜共振子が複数の共振周波数で共振することを防止できるようになり、圧電薄膜共振子１が副共振の影響を受けにくくなる。 （もっと読む）

【課題】共振特性を改善することが可能な圧電薄膜共振器およびそれを用いたフィルタを提供すること。
【手段】本発明は、基板１０上に設けられた下部電極１２と、基板１０上および下部電極１２上に設けられた圧電膜１４と、圧電膜１４を挟み下部電極１２と対向する部分を有するように圧電膜１４上に設けられた上部電極１６と、下部電極１２と上部電極１６とが対向する部分の下部電極１２の少なくとも一部の外周の基板１０上に、下部電極１２に沿って設けられた付加膜２２と、を具備する圧電薄膜共振器およびそれを用いたフィルタである。 （もっと読む）