【課題】温度係数が逆符号のＸカット水晶板とＹカット水晶板とを直接接合して零温度係数をもつ水晶振動子を構成し、温度依存性が小さく、かつ、電気機械結合係数が大な、さらに周波数温度特性の良い水晶振動子を得る。
【解決手段】プラスの温度係数を有するＸカット水晶板１０とマイナスの温度係数を有するＹカット水晶板１１の対向する主面を適宜の接合方法により直接接合するとともに、他の対向する露出した主面に電極１２をそれぞれ形成して零温度係数を有する水晶振動子を構成する。 （もっと読む）

【課題】急峻かつ温度安定性に優れたガードバンド側のスカート特性を有し、更に広帯域化が可能なデュプレクサを提供する。
【解決手段】通過帯域の異なる送信フィルタ及び受信フィルタを有するデュプレクサにおいて、フィルタを構成する複数の直列共振子Ｓ１〜Ｓ８及び複数の並列共振子Ｐ１〜Ｐ６のうち、ガードバンド側のスカート特性を形成する第１共振子Ｓ１〜Ｓ４、Ｐ４〜Ｐ６は、温度補償型のＴＣ−ＦＢＡＲまたはラブ波利用の弾性表面波共振子とし、ガードバンドと反対側のスカート特性を形成する第２共振子Ｐ１〜Ｐ３、Ｓ５〜Ｓ８は、非温度補償型のＦＢＡＲまたは弾性表面波共振子とする。第２共振子の弾性表面波共振子には、ＬＴ基板またはＬＴとＳａの貼り合わせ基板を用いた弾性表面波共振子の他、ラブ波利用の弾性表面波共振子を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜の成膜時における温度上昇を抑制でき、電極の金属拡散を抑制できる圧電振動片の製造方法と、この方法で製造された圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】パッシベーション膜成膜工程は、ターゲット７７と、回転可能な回転ドラム７１と、を備えたスパッタリング装置７０を用いて行い、パッシベーション膜成膜工程は、回転ドラム７１の外周面７１ａにウエハＷを取り付けるウエハ取付工程と、ウエハＷがターゲット７７に対向する位置を通過するように回転ドラム７１を回転させてパッシベーション膜を成膜する回転成膜工程と、を備え、回転成膜工程は、ウエハＷがターゲット７７に対向する位置を複数回通過するように回転ドラム７１を回転させることによりパッシベーション膜を成膜することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】水晶片の一主面または両主面にＳｉＯ₂膜を蒸着またはスパッタリングにより成膜して安価かつ簡単にメサ形状、ベベル形状に類似した形状の厚肉部を形成した水晶振動子を得ることである。
【解決手段】水晶振動子において、水晶片１０と、該水晶片１０のいずれかの一主面または両主面に成膜形成されたＳｉＯ₂層１１からなる厚肉部Ｍと、前記厚肉部Ｍの何れかの一面または上下表面に形成された電極１２と、から構成する。 （もっと読む）

【課題】振動片のＱ値の低下の抑制、及びＱ値の低下が抑制された振動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃに設けられた励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、を備え、励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃが、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの主面１０ａ側に設けられた第１電極１２ａ１，１２ｂ１，１２ｃ１と、第１電極１２ａ１，１２ｂ１，１２ｃ１に対向して設けられた第２電極１２ａ２，１２ｂ２，１２ｃ２と、第１電極１２ａ１，１２ｂ１，１２ｃ１と第２電極１２ａ２，１２ｂ２，１２ｃ２との間に延在する圧電体１３と、を有し、第１電極１２ａ１，１２ｂ１，１２ｃ１及び第２電極１２ａ２，１２ｂ２，１２ｃ２の少なくとも一方に、ＩＴＯを用いていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の次数のエネルギー閉じ込めモードを選択的に励振させることが可能な弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１０には、予め設定された次数のエネルギー閉じ込めモードの弾性波を励振するために第１の電極である櫛歯電極２０ａと、第２の電極（櫛歯電極２０ｂ）とが設けられ、エネルギー閉じ込め機構（金属膜２３）はこれら第１の電極及び第２の電極が設けられた領域に前記弾性波を閉じ込める効果を高める役割を果たす。そして、第１の電極（櫛歯電極２０ａ）の各電極指２２ａは、前記予め設定された次数のエネルギー閉じ込めモードの弾性波によって圧電基板１０に誘起される誘起電荷の絶対値の分布が極大となる位置であって、互いに誘起電荷の極性が同じ位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】大きな電気機械結合定数を有する弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板１０と、基板１０上に設けられた下部電極１２と、下部電極１２上に設けられ、ａ軸方向の格子定数とｃ軸方向の格子定数との比が１．６より小さい窒化アルミニウムからなる圧電薄膜１４と、圧電薄膜１４上に設けられ、圧電薄膜１４を挟んで下部電極１２と対向する上部電極１６と、を具備する弾性波デバイスである。本発明によれば、大きな電気機械結合定数を有する弾性波デバイスを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】周波数の温度特性を改善すると共に、圧電膜の配向性の乱れを抑制し、良好な共振特性を得ることが可能な圧電薄膜共振器およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、基板１０上に設けられた下部電極１２と、下部電極１２上に設けられた、２層からなる第１圧電膜１４および第２圧電膜１８と、第２圧電膜１８上に設けられ、第１圧電膜１４と第２圧電膜１８とを挟み下部電極１２と対向する領域を有する上部電極２０と、下部電極１２と上部電極２０とが対向する領域であって、第１圧電膜１４と第２圧電膜１８との２層の間に設けられた絶縁膜１６と、を具備し、絶縁膜１６の上面は下面よりも平坦である圧電薄膜共振器である。 （もっと読む）

【課題】小型化しても、振動腕の面外振動による振動漏れを有効に除去し得る屈曲振動片及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基部２、１対の駆動用振動腕３ａ，３ｂ、１対の検出用振動腕４ａ，４ｂ、駆動電極及び検出電極を有する両側音叉型屈曲振動片１は、振動腕と基部との結合領域に形成された金属材料等の調整膜６ａ，６ｂを有する。調整膜は、駆動用振動腕と基部との結合部に形成されたテーパ部５ａ，５ｂの領域Ｓ１と、テーパ部に近い基部の領域Ｓ２及び駆動用振動腕の領域Ｓ３とを含むように形成される。調整膜は、駆動モードで駆動用振動腕を励振したときに検出電極から出力される検出電流をモニタリングしながら、それが０となるようにレーザー光照射等により部分的に削除される。 （もっと読む）

【課題】移動体通信機器などに用いられるフィルタ、発振器、センサ等での小型化、高性能化に適した圧電振動子と、該圧電振動子を生産効率よく製造する方法の提供。
【解決手段】圧電振動子１は、基部３と、この基部３から突出する１本以上の振動脚部４ａ、４ｂとを備え、励振電極５ａ、５ｂは、基部３及び振動脚部４ａ、４ｂの少なくとも２面の一部に形成し、励振電極５ａ、５ｂが形成されていない表面露出部１２をエッチングにより振動脚部４ａ、４ｂの一部分を除去する。その質量を調整して共振周波数を合わせ込む。またこの圧電振動子１の製造方法は、圧電振動片の表面に励振電極５ａ、５ｂを一部形成した状態で圧電振動片１の表面露出部１２をウェットエッチングし、共振周波数を調整する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】振動子の厚さに関係なく振動子の周波数特性を容易に測定でき、広い可変幅が実現可能であり、ＥＳＤに影響されることの少ない、コスト削減が可能な水晶発振器及びその組立方法を提供する。
【解決手段】水晶発振器はパッケージ５の底面に併置されたＩＣチップ２と、測定用基板７と、これに支持された水晶振動子１とを有する。測定用基板７には接続電極が形成され、この接続電極は、ボンディングパッド部と接続部とからなる。ワイヤ３１、３２はＩＣチップ２の接続電極２１、２２と接続電極のボンディングパッド部とを接続する。組立方法ではＩＣチップの接続電極と水晶振動子電極を直接ボンディングするので寄生容量を小さくできる。パッケージ実装前に行う水晶振動子テストは実装後に行う周波数調整幅を減らすので水晶振動子のパラメータ変化を少なくし、可変特性のばらつきを減らす。 （もっと読む）

【課題】 インダクタを水晶デバイスのサポート台座に形成する水晶デバイスを提供する。
【解決手段】 実装面に形成された一対の外部電極（５１，５２）と実装面の反対側の底面に形成され外部電極に導通する一対の第１接続電極（３５）とを有するベース（１０）を備える。ベースにはサポート部材（４０）が載置される。サポート部材は、第１面に形成され第１接続と接続する一対の第２接続電極（３６）と、第１面の反対面に形成された一対の第３接続電極（３７）と、第２接続部と第３接続部とを導通する一対の配線電極（３２）とを有する。水晶デバイスは、励振電極とこの励振電極に導通する引出電極とを有するとともに、第３接続電極に塗布された接着剤（１５）を介して引出電極がサポート部材に固定される水晶振動片（２０）と、を備える。一対の配線電極の少なくとも一方は、流れる電流によって形成される磁場にエネルギーを蓄えるインダクタを形成する。 （もっと読む）

【課題】製造工数の増加、製造効率の低下、及び振動特性の変動を抑制した上で、圧電板上に被膜パターンをムラなく形成できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜形成工程は、ウエハＳ上の金属膜４３に向けて気流を発生させてフォトレジスト材を噴霧する噴霧器７３と、ワークステージ７２及びウエハＳ間に配置された複数のスペーサ７４と、、を有する形成装置７１を用いて行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】共振特性の劣化を抑制すること。
【解決手段】本発明は、基板１０と、前記基板１０上に設けられた圧電膜１４と、前記圧電膜１４の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極１２および上部電極１６と、前記圧電膜１４を挟み前記下部電極１２および上部電極１６が対向する共振領域５０内に、複数の第１パターンと前記複数の第１パターンを連結する第２パターンとから構成された質量負荷膜２８と、を具備する弾性波デバイスである。 （もっと読む）

【課題】振動片のＱ値の低下の抑制、及びＱ値の低下が抑制された振動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃに設けられた励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、を備え、励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃが、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの主面１０ａ側に設けられた第１電極１２ａ１，１２ｂ１，１２ｃ１と、第１電極１２ａ１，１２ｂ１，１２ｃ１に対向して設けられた第２電極１２ａ２，１２ｂ２，１２ｃ２と、第１電極１２ａ１，１２ｂ１，１２ｃ１と第２電極１２ａ２，１２ｂ２，１２ｃ２との間に延在する圧電体１３と、を有し、第１電極１２ａ１，１２ｂ１，１２ｃ１及び第２電極１２ａ２，１２ｂ２，１２ｃ２の少なくとも一方が、ＩＴＯを含んで成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に振動する振動腕を備えた振動片のＱ値の維持、及びＱ値が維持された振動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる３本の振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、を備え、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に配列されると共に、Ｙ軸方向とＸ軸方向とで特定される平面に沿った主面１０ａに励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃを有し、主面１０ａと直交するＺ軸方向に振動し、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの内、配列の中央に位置する振動腕１１ｂのＸ軸方向の腕幅をＷ１、振動腕１１ａ，１１ｃのＸ軸方向の腕幅をＷとし、振動腕１１ｂの励振電極１２ｂのＸ軸方向の電極幅をＡ１、振動腕１１ａ，１１ｃの励振電極１２ａ，１２ｃのＸ軸方向の電極幅をＡとしたとき、１．３５＜Ｗ１／Ｗ＜１．９０、且つ、１．３５＜Ａ１／Ａ＜１．９０である。 （もっと読む）

【課題】不要なリップルを抑えることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電薄膜３と、圧電薄膜３の一方の主面に設けられた上部電極１３、２３と、圧電薄膜３の他方の主面に設けられた下部電極１１、２１とを有し、基板２から音響的に分離されるように、上部電極１３、２３及び下部電極１１、２１が圧電薄膜３を介して重なり合う部分で圧電振動部１５、２５が構成されている第１及び第２の圧電共振子１０、２０とを備え、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは入力端子と出力端子に対して直列または並列に接続されており、入力端子からみた圧電薄膜３の分極方向は互いに逆であり、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは、横振動モードの共振周波数が互いに異なるように形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に振動する振動腕から基部への振動漏れを抑制する振動片、及びこの振
動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる振動腕１１ａ
，１１ｂ，１１ｃと、を備え、基部１０は、連結部１０ａと支持部１０ｂとを含み、Ｙ軸
方向と、平面視においてＹ軸方向に直交するＸ軸方向と、で規定される平面に沿った連結
部１０ａの主面１０ｃ，１０ｄに、溝部１２ａ，１２ｂを有し、振動腕１１ａ，１１ｂ，
１１ｃが、励振電極１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃによって、主面１
０ｃ，１０ｄに直交するＺ軸方向に屈曲振動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】輪郭すべり振動に基づく副振動の発生を抑えること。
【解決手段】厚みすべり振動を主振動とする圧電体をなす水晶片３０の両面に夫々励振電極３１，３２が形成された水晶振動子３において、前記水晶片３０の輪郭に沿って、水晶よりも音響抵抗が大きい材質例えばガラスにより環状の振動吸収部材４を形成する。この振動吸収部材４により輪郭すべり振動の発生が抑制される。 （もっと読む）