【課題】セラミックパッケージを不要にするとともに、既成の集積回路部を用いて極めて安価に、かつ、小型化・低背化した圧電発振器を得る。
【解決手段】シリコン半導体基板の上面部２ａに集積回路部４を形成した回路基板２と該回路基板２に接合・積層したカバー５とからなる圧電発振器において、前記回路基板２の側面に前記回路基板の上面部２ａと前記回路基板の下面部２ｂとを電気的に接続する電気的導通部２２を設ける。また、集積回路部４の寸法よりも大きく回路基板２を形成して、集積回路部４とその周縁部間にスペースを形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 温度変化に伴う水晶片の変形を防ぎ、安定した振動特性を維持し、良好な周波数温度特性を得ることができる水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶とは異なる材質から成る基板３と、基板に搭載され、第１の固定点（Ａ）及び第２の固定点（Ｂ）で基板に固定される台座水晶板２と、台座水晶板２に搭載され、第３の固定点（Ｃ）及び第４の固定点（Ｄ）で台座水晶板２に固定され、第３の固定点が第１の固定点に電気的に接続され、第４の固定点が前記第２の固定点に電気的に接続された水晶片とを備え、第３の固定点及び前記第４の固定点が、第１の固定点と第２の固定点とを結ぶ直線を垂直に略二等分する垂直中心線上に形成されている水晶振動子としている。 （もっと読む）

【課題】 金属バンプを介した容器と圧電振動素子や電子部品素子との接合信頼性を向上させた圧電振動デバイスと当該圧電振動デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶発振器１は、水晶振動素子３と集積回路素子４を容器２に収容し、容器２に蓋５を接合することにより、水晶振動素子３および集積回路素子４を気密に封止した構成となっている。容器２の内底面２２には凹部を有する電極パッド１０が形成され、集積回路素子４の接続端子上には断面視凸状の金属バンプＢが配され、金属バンプＢの一部が前記凹部の壁面に対応するように埋入した状態で集積回路素子４と容器２とが接合されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、支持基板の破損を防止するとともに、支持基板とプローブヘッドが有するプローブピンとを確実に接触させ、信頼性に優れる検査を行うことのできる検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】複数の振動子９を支持する支持基板２００にプローブピン１７２を押し当て、振動子９の特性を検査する検査方法であって、支持基板２００の撓みの度合いを検出する検出工程と、検出工程で検出した支持基板２００の撓みの度合いに応じて、複数のプローブピン１７２によって支持基板２００に加えられる荷重の分布を設定する荷重設定工程と、複数のプローブピン１７２を備えているプローブヘッド１７０を準備する準備工程と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】位置ずれが抑制され、所望の位置にマウントされた圧電振動片を具備し、良好な振動特性を発揮させること。
【解決手段】一対の振動腕部３１，３２、および一対の振動腕部の基端部側を一体的に固定する基部３３を備えた圧電振動片３０と、圧電振動片がマウントされるベース基板１１と、ベース基板に接合され、該ベース基板との間に形成されたキャビティ内に圧電振動片を収容するリッド基板１２と、を備え、ベース基板には、第一係合部５０が形成され、圧電振動片の基部には、第一係合部に係合し、ベース基板の予め決められたマウント位置に該圧電振動片を案内して位置決めさせる第二係合部４０が形成されている圧電振動子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜の中心部と外縁部との間で周方向に亘って膨張収縮する輪郭振動が互いに同相で起こるように各々構成された２つの振動体を連結部により連結した振動子において、前記輪郭振動が連結部によって阻害されることを抑制すること。
【解決手段】互いに同相で輪郭振動を起こすディスクレゾネータ３１、１３の間に音叉型振動体１１を介在させ、この音叉型振動体１１の振動腕部１４、１４の夫々にディスクレゾネータ３１、３１を接続する。そして、音叉型振動体１１について、ディスクレゾネータ３１、３１の膨張収縮を吸収するように、これらディスクレゾネータ３１、３１に対して逆相で振動させる。 （もっと読む）

【課題】 圧電デバイスの経年変化を軽減する。
【解決手段】 圧電デバイス１００は、平板形状の圧電振動素子３０と、ろう材４０を介して前記圧電振動素子３０の側面を支持する保持部２０ａをそれぞれ有しており、前記圧電振動素子３０を挟むようにして支持している複数の支持部材２０とを備えており、前記ろう材４０は、平面視において前記圧電振動素子３０から前記支持部材２０の前記保持部２０ａに向かって狭まるように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】板状の圧電素子と、金属板と、支持部材を備え、金属板は支持部材により支持されている圧電デバイスに於いて、薄型化を可能とし、加速度センサとして好適な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】板状の圧電素子１、金属板２、支持部材３を備え、金属板２の片面にのみ圧電素子１及び支持部材３が固定され、金属板２は支持部材３により支持されることで、金属板２の厚さと圧電素子１または支持部材３の厚さを加算した厚さとなる。 （もっと読む）

【課題】安定した特性を得ることができる圧電振動子の接着剤塗布方法および圧電振動子の接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】接着剤塗布装置はパッケージのベース６１に対して液状接着剤を塗布するディスペンサ１と、ディスペンサ１に対して移動動作を行う移動部２と、ビームセンサ３と、ビームセンサに対して移動動作を行うセンサ移動部４と、各構成部の動作を統合的に制御する制御部５とからなる。ディスペンサ１の接着剤吐出口に液状接着剤を吐出保持し、その後ビームセンサのビームＢにより液状接着剤の高さを測定し、液状接着剤のサイズを特定する。液状接着剤のサイズに基づきディスペンサを降下させ液状接着剤の塗布をする。 （もっと読む）

【課題】 安定した特性を得ることができる圧電振動子の接着剤塗布方法および圧電振動子の接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】 接着剤塗布装置は後述するパッケージのベース６１に対して液状接着剤を塗布するディスペンサ１と、ディスペンサ１に対して移動動作を行う移動部２と、ビームセンサ３と、ビームセンサに対して移動動作を行うセンサ移動部４と、各構成部の動作を統合的に制御する制御部５とからなる。センサビーム３から照射されるビームＢを電極パッドに照射し、この状態でディスペンサ１を移動部の駆動により電極パッドに向かって降下させる。そしてディスペンサ１の接着剤吐出口に吐出保持された液状接着剤Ｓが電極パッド６１１に接触すると、ビームＢの反射情報が変化し、これを受光することにより液状接着剤Ｓが電極パッド６１１に接触したことを検出する。 （もっと読む）

【課題】周波数精度の高いＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、少なくとも一部が前記第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、前記基板１０の厚み方向に静電力によって振動可能となる梁部３４、梁部３４の一端３４ａを支持し基板１０の上方に配置された支持部３２を有する第２電極３０と、を含み、支持部３２の一端３４ａを支持する支持側面３２ａは、基板１０の厚み方向からの平面視で屈曲している屈曲部を有し、一端３４ａは、屈曲部を含む支持側面３２ａにより支持されている。 （もっと読む）

【課題】実装基板とのワイヤボンディングによる電気的接続の不具合を解消した圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュール１９０は、振動部３４と接続部３２Ａ、３２Ｂとを有する圧電振動基板２６と、振動部３４の一方の主面を覆う第１基板１４と、振動部１４の他方の主面を覆う第２基板４８と、有する圧電デバイス１０と、圧電デバイス１０を実装するための実装基板１９２と、を備え、第１基板１４と第２基板４８のうち少なくともいずれか一方の基板は、接続部３２Ａ、３２Ｂが露出するように配置され、接続部３２Ａ、３２Ｂは、一辺を二分するように切り欠くスリット３０により分離され、接続部３２Ａ、３２Ｂは、振動部３２Ａ、３２Ｂに電気的に接続されたパッド電極４２Ａ、４２Ｂが設けられ、パッド電極４２Ａ、４２Ｂは、実装基板１９２に配置された接続電極に導電性接着剤７０２を介して電気的に接続し固定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、耐衝撃性を有するとともに励振部への曲げ応力の影響が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動片（１３０）は、第１方向に伸びる第１辺（１３８ａ）及び第１方向に直交する第２方向に伸びる第２辺（１３８ｂ）を含む矩形形状の励振部（１３１）と、励振部を囲む枠部（１３２）と、励振部の第１辺と枠部とを連結し、第１方向と第２方向とに直交する第３方向への厚さが第１厚さである１本の連結部（１３３）と、を備え、励振部は励振電極（１３４）が形成される第１領域（１３１ａ）と、連結部に第１厚さで直接連結される第２領域（１３１ｂ）と、第１領域と第２領域との間に配置され第１領域及び第２領域以外の領域であり第３方向への厚さが第２厚さである第３領域（１３１ｃ）と、を含み、第２領域の第３方向への厚さは第２厚さよりも厚く形成される。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片と接続電極との接触面積を大きくするとともに、導電性接着剤が励振電極側へ漏れ出ないようにした圧電デバイスを提供する。
【解決手段】励振電極２２ａ、２２ｂと該励振電極から伸びた引出電極２３ａ、２３ｂとを有する圧電振動片２０と、圧電振動片を収納すると共に、引出電極に対応して形成された接続電極パッド４３ａを有するパッケージ４０Ａと、接続電極パッドに塗布され引出電極と接続電極パッドとを電気的に接続するとともに圧電振動片を固定する導電性接着剤６０と、を備える。そして、圧電デバイスの接続電極パッド４３ａは、くぼみ面と該くぼみ面の全周囲に形成された壁面とを有し、くぼみ面の底面と壁面の内側に形成される空間に導電性接着剤６０が塗布されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、水晶振動片にかかる応力が緩和されたＡＴカット水晶振動片を有する水晶デバイスを提供する。
【解決手段】ＡＴカット水晶デバイス（１００）は、励振電極（１３２）が形成されたＡＴカット水晶振動片（１３１）と、ＡＴカット水晶振動片を囲むように形成された環状枠体（１３５）と、励振電極の中心からＡＴカット水晶振動片における結晶のＸＺ’面上でＸ軸と＋６０度をなす第一直線又は−６０度をなす第二直線上に形成されＡＴカット水晶振動片と環状枠体とを連結する連結部（１３４）と、連結部を介して第一直線又は第二直線上の環状枠体まで励振電極から引き出された引出電極（１３３）と、引出電極と接続される接続電極（１２４）が形成されたベース板（１２０）と、引出電極と接続電極とを電気的接続し、引出電極を第一直線又は第二直線上で固定する導電性接着剤と、を備える。 （もっと読む）

【課題】温度変化に対する周波数やＣＩ値の変動を抑えて温度特性を良好にする。
【解決手段】水晶振動片２は、厚みすべり振動にて動作するものであり、基板２１の一主面２２の一端部２６に、ベース６の電極パッド６７に接合する接合部２８が設けられている。また、基板２１の一主面２２に、第１の励振電極４１が形成された第１のメサ３１が成形され、基板２１の他主面２３に、第２の励振電極４２が形成された第２のメサ３２が成形されている。第１のメサ３１と第２のメサ３２とは非対応関係にあって異なる形状からなり、第１の励振電極４１と第２の励振電極４２とは対応関係にあって同形状からなる。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスの小型化に対応した振動片搭載基板を低コストで実現する。
【解決手段】基板４０と、基板４０の少なくとも一方の面に形成された低融点ガラスを含む突起部５０と、突起部５０の表面に形成された電極層５４と、基板４０に設けられ、突起部５０を囲み低融点ガラスを含む環状の凸部４５と、突起部５０に電極が重なるように配置された圧電振動片１５と、凸部４５を介して基板４０に接合される蓋体２０と、を含むことを特徴とする圧電デバイス１００。 （もっと読む）

【課題】本発明は、導電性接着剤と圧電振動片との接着に起因した振動特性の変化が抑えられた圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、表裏面にそれぞれ励振電極（１３４）が形成される励振部（１３１）と、励振電極からそれぞれ引き出された一対の引出電極（１３５）が形成されている支持部（１３２）と、励振部と支持部とを接合する接合部（１３３）とを有する圧電振動片（１３０）と、一対の電極パッド（１２４）が形成され圧電振動片が収容されるパッケージ（１２０）と、を備え、一対の電極パッドは一対の引出電極にそれぞれ形成される接続領域に導電性接着剤（１４１）を介して接続され、圧電振動片の重心と各接続領域とは一直線上に存在し、圧電振動片の重心と各接続領域との間には圧電振動片を貫通する貫通溝が形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動子の厚さに関係なく振動子の周波数特性を容易に測定でき、広い可変幅が実現可能であり、ＥＳＤに影響されることの少ない、コスト削減が可能な水晶発振器及びその組立方法を提供する。
【解決手段】水晶発振器はパッケージ５の底面に併置されたＩＣチップ２と、測定用基板７と、これに支持された水晶振動子１とを有する。測定用基板７には接続電極が形成され、この接続電極は、ボンディングパッド部と接続部とからなる。ワイヤ３１、３２はＩＣチップ２の接続電極２１、２２と接続電極のボンディングパッド部とを接続する。組立方法ではＩＣチップの接続電極と水晶振動子電極を直接ボンディングするので寄生容量を小さくできる。パッケージ実装前に行う水晶振動子テストは実装後に行う周波数調整幅を減らすので水晶振動子のパラメータ変化を少なくし、可変特性のばらつきを減らす。 （もっと読む）

【課題】 振動特性の向上された圧電振動素子を提供すること。
【解決手段】 第１端部２１ａおよび第２端部２１ｂを有している圧電基板２１と、圧電基板２１の下面に設けられている励振電極２３ａと、圧電基板２１の第１端部２１ａに設けられており、かつ、励振電極２３ａに電気的に接続された端子電極２４ａと、圧電基板２１の第２端部２１ｂに設けられており励振電極２３ａよりも下方に伸びている脚部２２とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）