Fターム[5J108KK05]の内容
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振動子及び発振器
【課題】圧電振動素子を絶縁容器内にシリコーン接着剤により保持した状態で気密封止した構造の圧電デバイスにおいて、シリコーン接着剤から放出されるシリコーン蒸気成分が圧電振動素子の金属膜上に付着堆積することによって共振周波数が経時的に最終目標周波数よりも低下する不具合を解決することができる圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び周波数安定化方法を提供する。
【解決手段】厚み滑り系の圧電材料から成る圧電基板20と、該圧電基板面に形成した金属膜21とを備えた圧電振動素子を導電性接合部材により容器内に保持した圧電振動子において、雰囲気中に露出している金属膜表面が、非結合電子対をもった物質との化学吸着によって形成された膜30によって覆われている。
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シャッタユニット、シャッタ装置、及び圧電素子の周波数調整装置
【課題】イオンビームを選択的に通過させるためのシャッタ装置に使用されるシャッタユニットにおいて、隣り合うシャッタ羽根間の隙間からイオンビームが漏れるのを防止し、かつ、シャッタ同士が干渉せずに動作できる構成を提供する。
【解決手段】本発明のシャッタユニットは、並置された複数のシャッタアームからなり、シャッタアーム各々の長手方向をx軸、並置方向をy軸、x軸とy軸に垂直な方向をz軸として、シャッタアームの各々がx軸方向に摺動可能であり、x軸方向先端にシャッタ羽根を有し、シャッタ羽根の各々について、隣り合うシャッタ羽根同士が、z軸方向にオフセットした形状によってz軸方向の見通し線を遮断するエッジ部を有する構成とした。
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圧電振動子およびその製造方法
【課題】 脚を有する圧電振動子において、脚の先端付近に調整膜を成膜して、その一部を除去することで周波数を調整することができるが、調整膜の成膜においての製造工程のばらつきがあり、調整膜の成膜される長さがばらつき、その長さのばらつきが、温度特性曲線をいちじるしく変化させてしまう。
【解決手段】 脚に脚を振動させる励振電極を形成する工程と、脚に共振周波数を調製する調整膜を形成する工程と、調整膜の少なくとも一部を除去し所定の形状とする工程と、調整膜の一部を除去することで圧電振動子の共振周波数を調整する工程とを有する圧電振動子の製造方法とする。
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圧電振動子およびその製造方法
【課題】 脚の先端の斜面によって、共振周波数を調整するためのレーザーが、反射され安定した周波数調整が行えない。
【解決手段】 基部と、基部より延出する脚とを有する圧電振動片であり、脚は、表面と裏面と第一の側面と第二の側面とを有する角柱状で、表面側の長さが裏面側の長さよりも短く、先端に斜面を有しており、脚の表面、裏面、第一の側面、第二の側面に脚を振動させる励振電極が形成され、脚の裏面と第一の側面と第二の側面に共振周波数を調製する調整膜が形成された圧電振動子の製造方法であって、脚の表面側からレーザーを照射し、調整膜を除去することで圧電振動片の共振周波数を調整する圧電振動子の製造方法とする。
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弾性波フィルタ
【課題】 温度補償膜を用いた弾性波フィルタの広帯域化及び整合改善を図ると共に、共振周波数のずれを抑制することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、複数の圧電薄膜共振子を含む弾性波フィルタであって、圧電薄膜共振子は、基板10と、基板10上に設けられた圧電薄膜14と、圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極12及び上部電極18と、下部電極12及び上部電極18が対向する共振領域40に設けられ、共振領域40とは異なる形状を有する周波数制御用の質量負荷膜24と、共振領域40に設けられ、圧電薄膜14の弾性定数の温度係数とは逆符号の温度係数を持つ温度補償膜16と、を備え、複数の圧電薄膜共振子のうち少なくとも2つは、質量負荷膜24の面積が互いに異なることを特徴とする弾性波フィルタである。
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圧電振動子、およびその製造方法
【課題】移動体通信機器などに用いられるフィルタ、発振器、センサ等での小型化、高性能化に適した圧電振動子と、該圧電振動子を生産効率よく製造する方法の提供。
【解決手段】圧電振動子1は、基部3と、この基部3から突出する1本以上の振動脚部4a、4bとを備え、励振電極5a、5bは、基部3及び振動脚部4a、4bの少なくとも2面の一部に形成し、励振電極5a、5bが形成されていない表面露出部12をエッチングにより振動脚部4a、4bの一部分を除去する。その質量を調整して共振周波数を合わせ込む。またこの圧電振動子1の製造方法は、圧電振動片の表面に励振電極5a、5bを一部形成した状態で圧電振動片1の表面露出部12をウェットエッチングし、共振周波数を調整する工程を有する。
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微小機械振動子とその製造方法
【課題】振動子内に共振周波数制御機構を組み込むことが容易で、かつ広い周波数帯域での共振周波数制御が可能な微小機械振動子を提供する。
【解決手段】微小機械振動子は、シリコン基板1上に形成されたシリコン酸化膜2と、シリコン酸化膜2上に形成された電極4,5と、一端が電極4に接続され、電極4およびシリコン酸化膜2で固定されていない一部が開口部6内に突出するように形成される振動子部7と、一端が電極5に接続され、電極5およびシリコン酸化膜2で固定されていない方の先端部が開口部6内に突出した振動子部7の先端部と対向するように形成される制御極部8とを備える。
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MEMS共振子およびその共振周波数調整方法
【課題】BAWモードで共振するMEMS共振子について、製造後に周波数などを測定しながら、大量かつ安価に周波数調整が可能で、位相雑音やジッタの少ないMEMS共振子を提供する。
【解決手段】バルク・アコースティック・ウェーブモードで共振する板状の共振子を備えたMEMS共振子において、共振子が、密度とヤング率の比がそれぞれ異なる材料が積層した積層構造となっている。この積層構造の表面の一部を除去することにより、共振周波数の調整を行うことができる。
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音叉型水晶振動子の周波数測定方法および周波数測定装置
【課題】負荷容量を付加した音叉型水晶振動子を、複数個同時発振させる場合の周波数干渉を抑え、正確な発振周波数を測定する。
【解決手段】狭い間隔で配置された複数個の音叉型水晶振動子と対応するプローブ6を備えたプローブホルダ7をシールドし、負荷容量を付加した状態で、複数個同時発振させ音叉型水晶振動子の発振周波数を測定する。
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発振回路
【課題】MEMS振動子を用いて、発振周波数のばらつきを抑制した発振回路を提供すること。
【解決手段】それぞれ第1端子及び第2端子を有し、それぞれ共振周波数が異なる複数のMEMS振動子11〜14と、入力端子21及び出力端子22を有する増幅回路(反転増幅回路20)と、複数のMEMS振動子11〜14のうちの1つの第1端子と入力端子21とを接続し、第2端子と出力端子22とを接続することによって、複数のMEMS振動子11〜14のうちの1つと増幅回路(反転増幅回路20)とを接続する接続回路30と、を含む。
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圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法
【課題】 ウエハ状態から各々の圧電デバイス単体に切断されるときに破損が発生しにくく、ウエハ状態で各々の水晶振動片の周波数を測定して調整できる圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電デバイス(100)は振動部(10)を収納するパッケージの一部を構成し一対の直線状の第1辺(L1)及び第1辺に垂直な一対の直線状の第2辺(L2)を有する矩形の第1板(12)と、第1板に接合され振動部を収納するパッケージの一部を構成する矩形の第2板(11)と、第1板と第2板とを接合するガラス材料からなる接着剤(LG)と、を備える。また、一対の第1辺には外周から凹んだ一対のキャスタレーション(122)が形成され、一対のキャスタレーションは第1板の中心を通り第2辺に平行な直線(Ax)で分けられる2つの領域にそれぞれ配置される。
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弾性波デバイスおよびフィルタ
【課題】共振特性の劣化を抑制すること。
【解決手段】本発明は、基板10と、前記基板10上に設けられた圧電膜14と、前記圧電膜14の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極12および上部電極16と、前記圧電膜14を挟み前記下部電極12および上部電極16が対向する共振領域50内に、複数の第1パターンと前記複数の第1パターンを連結する第2パターンとから構成された質量負荷膜28と、を具備する弾性波デバイスである。
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圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法
【課題】 隣り合った圧電振動片からの影響がなく、ウエハ状態で各圧電振動片の周波数を別々に測定して調整できる圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電デバイス(100)は、両主面に形成された一対の励振電極と一対の励振電極から引き出した一対の引出電極とを有する圧電振動片(10)と、圧電振動片側の第1面に形成され一対の引出電極に接続される一対の接続電極と第1面の反対側の第2面に形成された二対の実装端子とを有し第1面から見て四辺を有する四角形状のベース部(12)と、を備える。ベース部の互いに対向した二辺には、ベース部の中心側に窪んだ二対のベースキャスタレーション(122a〜122d)と、二対のベースキャスタレーションに第1面と第2面とを結ぶ二対の側面電極とが形成される。また、二対の側面電極中の一対は、一対の接続電極及び二対の実装端子中の一対にそれぞれ接続される。
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圧電振動子及びその調整方法
【課題】 圧電振動板の内部形状やこの圧電振動板上に形成される励振電極の膜厚等を変化させることなく、幅縦モードと長さ縦モードによる振動の変動率を長さ縦モードの周波数のみによる独立した調整を可能とすることで、高発振周波数に対応して小型化する圧電振動子の周波数特性や温度特性を最適化することのできる圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺12a,12b及びこの一対の主振動辺と直交し、長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺12c,12dを有し、表面に励振電極が形成された四角形状の圧電振動板12と、前記一対の主振動辺12a,12bから外方向に延びる支持アーム13,14と、前記主振動辺の略中間位置から外方向に突出し、先端に重量を調整するための張出部を有する突起片15とを備えた。
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振動素子、振動子及び発振器
【課題】圧電振動素子を絶縁容器内にシリコーン接着剤により保持した状態で気密封止した構造の圧電デバイスにおいて、シリコーン接着剤から放出されるシリコーン蒸気成分が圧電振動素子の金属膜上に付着堆積することによって共振周波数が経時的に最終目標周波数よりも低下する不具合を解決することができる圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び周波数安定化方法を提供する。
【解決手段】厚み滑り系の圧電材料から成る圧電基板20と、該圧電基板面に形成した金属膜21とを備えた圧電振動素子を導電性接合部材により容器内に保持した圧電振動子において、雰囲気中に露出している金属膜表面が、非結合電子対をもった物質との化学吸着によって形成された膜30によって覆われている。
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圧電発振器とその製造方法
【課題】小型化に対応する圧電発振器とその製造方法を提供する。
【解決手段】上部凹陥部と下部凹陥部とが隔壁で隔てて対向配置する容器体と、圧電振動素子と、発振回路を構成する電子回路素子と、蓋体と、を備え、前記下部凹陥部が全周に外壁を有した構成であり、前記上部凹陥部に前記圧電振動素子を収容し該上部凹陥部を前記蓋体により気密封止すると共に、前記下部凹陥部に少なくとも前記電子回路素子を収容する構造を有する圧電発振器であって、前記容器体の対向する側面にそれぞれ凹所を設け、該凹所の内壁に導体膜を配設すると共に、該導体膜を前記圧電振動素子と電気的に導通接続した圧電発振器。
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圧電発振器
【課題】 低背化に対応し、回路素子の安定した接続が可能な信頼性の高い圧電発振器を提供する。
【解決手段】 ベース1はその内外部に金属膜からなる配線が施されたセラミックスからなり、水晶振動子の収納領域1AとIC4の搭載領域1Bと溝部14が形成された構成である。収納領域1Aは開口部C1と当該開口部につながる圧電振動素子収納部Cが形成されている。搭載領域1Bはその上面に配線パターン電極13が形成されている。圧電振動素子収納部Cには水晶振動素子2(圧電振動素子)が収納され、ガラスろう材Gを接合材としてリッドにより気密封止されている。搭載領域1Bの配線パターン電極13上には回路素子であるIC4が搭載される。
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圧電振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法
【課題】圧電振動子の周波数調整方法において、生産性が高く高精度な周波数調整の装置及び方法を提供する。
【解決手段】圧電振動子の周波数を調整する装置において、x軸方向に配列される複数の圧電振動子に対して所定レートで成膜材料を付着させる成膜源、配列された複数の圧電振動子の成膜対象部分を遮蔽/露出するシャッタ、及びシャッタの開閉動作を制御する制御部を備え、制御部が、成膜前に測定された複数の圧電振動子の周波数分布から算出された複数の圧電振動子の質量分布M1(x)から算出された各圧電振動子の必要露出時間t(x)に基づいてシャッタの開閉動作を制御するように構成した。
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水晶デバイス、及びその製造方法
【課題】 製造コストを低減させ且つ正確な周波数で発振する水晶デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶デバイスの製造方法は、電極と枠体とを含む水晶フレームを複数有する水晶ウエハを用意する工程と、ベースを複数有するベースウエハを用意する工程と、開口部を含む第1リッドを複数有する第1リッドウエハを用意する工程と、開口部を封止する第2リッドウエハを用意する工程と、水晶ウエハ、ベースウエハおよび第1リッドウエハを接合する第1接合工程と、第1接合工程後に水晶振動片の振動周波数を測定しこの測定結果に基づいて第1リッドの開口部を介して電極の厚みを調整する調整工程と、調整工程後に、第2リッドウエハを第1リッドウエハに接合する第2接合工程と、個々の水晶デバイスに分割する工程と、を備えている。
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MEM共振器の周波数を調整するための方法
【課題】パッケージングの前及び/又は後の何れかに関わらず、出力周波数が調整され、整調され、設定され、画定され、及び/又は選択されるマイクロ電気機械共振器を製作する方法の提供。
【解決手段】機械的構造12の1つ又は複数の要素及び/又は梁14a、14b(例えば、移動可能又は拡張可能な電極及び/又は周波数調整構造)を(選択又は非選択的方法で)抵抗加熱することによって、共振器の機械的構造12の材料を変化させ、及び/又は共振器の機械的構造から材料を除去することにより、マイクロ電気機械共振器10の周波数を調整し、整調し、設定し、画定し、及び/又は選択する。
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