【課題】イオンビームを選択的に通過させるためのシャッタ装置に使用されるシャッタユニットにおいて、隣り合うシャッタ羽根間の隙間からイオンビームが漏れるのを防止し、かつ、シャッタ同士が干渉せずに動作できる構成を提供する。
【解決手段】本発明のシャッタユニットは、並置された複数のシャッタアームからなり、シャッタアーム各々の長手方向をｘ軸、並置方向をｙ軸、ｘ軸とｙ軸に垂直な方向をｚ軸として、シャッタアームの各々がｘ軸方向に摺動可能であり、ｘ軸方向先端にシャッタ羽根を有し、シャッタ羽根の各々について、隣り合うシャッタ羽根同士が、ｚ軸方向にオフセットした形状によってｚ軸方向の見通し線を遮断するエッジ部を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】シャッター部の移動性に優れるシャッター装置を提供する。
【解決手段】シャッター装置１は、ｘ軸方向に往復移動可能なシャッター部３と、シャッター部３をｘ軸方向へ移動させる駆動部４と、駆動部４とシャッター部３と連結する連結部５と、シャッター部３のｘ軸方向への移動を案内するガイド部７とを有している。ガイド部７は、ｙ軸方向を軸方向とする柱状の基部７１１と、基部７１１の側面に開放する環状のガイド溝７１２とを有する本体７１を備えている。ガイド溝７１２に対して摺動可能に連結部５が係合しており、ガイド溝７１２の底面７１２ａと連結部５とが点接触またはｙ軸方向に延在するように線接触している。 （もっと読む）

【課題】移動体通信機器などに用いられるフィルタ、発振器、センサ等での小型化、高性能化に適した圧電振動子と、該圧電振動子を生産効率よく製造する方法の提供。
【解決手段】圧電振動子１は、基部３と、この基部３から突出する１本以上の振動脚部４ａ、４ｂとを備え、励振電極５ａ、５ｂは、基部３及び振動脚部４ａ、４ｂの少なくとも２面の一部に形成し、励振電極５ａ、５ｂが形成されていない表面露出部１２をエッチングにより振動脚部４ａ、４ｂの一部分を除去する。その質量を調整して共振周波数を合わせ込む。またこの圧電振動子１の製造方法は、圧電振動片の表面に励振電極５ａ、５ｂを一部形成した状態で圧電振動片１の表面露出部１２をウェットエッチングし、共振周波数を調整する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】被処理体のエッチング量をより正確に把握することが可能なエッチング装置及びエッチング方法を提供する。
【解決手段】処理槽１１では、ＡＴカットの水晶からなる被処理体９をエッチング溶液でエッチングする処理が行われ、ＡＴカットの水晶片３１の両面に互いに対向するように励振電極３２、３３を設けると共に、これらの面の少なくとも一部に露出領域を設けたエッチングセンサ３は、この露出領域の水晶がエッチングされるように前記処理槽１１に配置される。発振回路２２は、このエッチングセンサ３の励振電極３２、３３に接続され、前記露出領域の水晶片の厚さに対応する周波数信号を取得し、演算部４は発振回路２２から取得した周波数信号の周波数の変化に基づき、前記処理槽１１内の被処理体９のエッチング量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、一対の振動腕の両外側に形成される支持腕の幅を調整することで、頂点温度を調整する音叉型水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 第１方向に伸びた一対の振動腕と、一対の振動腕が連結された基部と、一対の振動腕の両外側で基部から第１方向に伸びる一対の支持腕とを有する音叉型水晶振動片の製造方法であって、音叉型の水晶振動片の頂点温度を算出する算出工程（Ｓ１０２）と、第１方向と直交する第２方向の支持腕の腕幅と頂点温度との関連を示すデータに基づいて、一対の支持腕の腕幅を調整する調整工程（Ｓ１０６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化に対応する圧電発振器とその製造方法を提供する。
【解決手段】上部凹陥部と下部凹陥部とが隔壁で隔てて対向配置する容器体と、圧電振動素子と、発振回路を構成する電子回路素子と、蓋体と、を備え、前記下部凹陥部が全周に外壁を有した構成であり、前記上部凹陥部に前記圧電振動素子を収容し該上部凹陥部を前記蓋体により気密封止すると共に、前記下部凹陥部に少なくとも前記電子回路素子を収容する構造を有する圧電発振器であって、前記容器体の対向する側面にそれぞれ凹所を設け、該凹所の内壁に導体膜を配設すると共に、該導体膜を前記圧電振動素子と電気的に導通接続した圧電発振器。 （もっと読む）

【課題】水晶ウェハレベルでの周波数調整作業時間を短縮する。
【解決手段】水晶片の周波数を水晶片を構成する水晶板の厚みを２段階にパーシャル・ウェットエッチングで調整して行う際、第１段階で多数の水晶片の厚みをまとめてパーシャル・ウェットエッチングして粗調整し、次いで、少数の水晶片毎に厚みをパーシャル・ウェットエッチングして微調整するか、あるいは第１段階で微調整で同時に調整を行う水晶片間の厚みのバラツキをパーシャル・ウェットエッチングして粗調整して揃え、次いで、多数の同等の厚みをもつグループに属する水晶片をまとめてパーシャル・ウェットエッチングして微調整する。 （もっと読む）

【課題】振動腕を加工することなく周波数調整を行うことができる音叉型圧電振動片を備える圧電フレームを提供する。
【解決手段】圧電フレーム２１は、基部の一端側から第１方向に伸びる少なくとも一対の振動腕を有し、この一対の振動腕に励振電極を有する音叉型圧電振動片と、振動腕の両外側において第１方向に伸びる一対の支持腕と、音叉型圧電振動片を囲む外枠部２２と、一対の支持腕と外枠部とを接続する所定幅を有する接続部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の材料が限定されず、生産性を向上させることができる圧電デバイスの製造方法及び素子基板を提供する。
【解決手段】基板１０上に素子領域Ａを区画する隔壁２を設ける工程と、素子領域Ａに圧電デバイス（ＳＡＷ素子１００）を設ける工程と、隔壁２にダイシングブレードを導入する溝２ｂを形成する工程と、隔壁２上に、素子領域Ａに連通する第１開口３ａと溝２ｂに連通する第２開口３ｂとを有する上部隔壁３を設ける工程と、第１開口３ａを介して圧電デバイスの周波数調整を行う工程と、溝２ｂにダイシングブレードを導入して圧電デバイスを個片化する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子の周波数調整を単純化してその製造の歩留りを大巾に向上させる。
【解決手段】 水晶ウエハ単位で周波数調整を行う水晶振動子の製造方法であって、該水晶ウエハの所定の同心円上における厚みを測定し、該厚み測定結果に基づいて、厚い部分を選択的に水晶を溶解することができる処理液によりエッチングして、該厚い部分の厚みを減じて周波数調整を行う。また、水晶ウエハＷをその上面に保持して載置する円形の保持台１０と、前記保持台１０の上方半径方向の中心手前まで延出し、処理液を前記水晶ウエハ表面に吐出する処理液ノズル１３と、前記処理液ノズル１３と対向する側から、前記保持台１０の上方半径方向の中心まで延出し、前記水晶ウエハＷの表面に洗浄液を吐出する洗浄液ノズル１４と、から水晶振動子の製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】静電振動子の周波数調整方法の改善
【解決手段】両端固定型の振動境界条件をもったMEMS型静電駆動屈曲振動子の振動部１０２、１０３の両端部と他の構造体が一体形成された静電振動子において、少なくとも前記構造体にはシリコン酸化膜が形成されると共に、前記構造体の熱弾性応力に起因する圧縮応力が振動部１０２、１０３に印加される構造を有するMEMS型静電振動子。 （もっと読む）

【課題】シャッタ端面での反射イオンや反跳粒子の影響を少なくし、周波数調整を精度よく行うことが可能な周波数調整装置を提供する。
【解決手段】パターンマスク１５のマスク穴１５ａを介してウエハ１０に対してイオンビームＢを照射すると共に、所定のマスク穴を選択的に開閉し、ねらいの素子のイオンビーム照射時間を調整するシャッタ１４を設ける。シャッタ１４の端面１４ａをイオンビームの拡散角度よりも大きい傾斜角度を有する傾斜面とすることで、シャッタ端面１４ａでの反射イオンや反跳粒子を少なくできる。 （もっと読む）

【課題】周波数調整精度を高めた音叉型水晶振動子及びその周波数調整方法を提供する。
【解決手段】音叉基部１から一対の音叉腕２ａ、２ｂが延出した音叉状水晶片３を有する音叉型水晶振動子及びその周波数調整方法において、前記一対の音叉腕２ａ、２ｂを周回する外周面から頭部先端面に、又は頭部先端面から外周面に向かって照射されるフェムト秒レーザ（超短パルスレーザ）Ｐｆによって、前記外周面から頭部先端面にまたがる傾斜面を形成して振動周波数を調整する第１周波数調整工程を備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出振動片の離調周波数の調整範囲を拡大することを目的としている。
【解決手段】相互に反対を向いて厚みを定義する第１及び第２の表面１２，１４を有し、基部１６及び基部１６から厚み方向に交差する方向に延びる少なくとも１つの腕部１８を含む支持体１０であって、腕部１８の第１の表面１２に、駆動用圧電積層体７０及び検出用圧電積層体８０が形成され、腕部１８に、第２の表面１４が露出している露出領域３０を有する支持体１０を用意する。第２の表面１４の露出領域３０をエッチングする。駆動用圧電積層体７０及び検出用圧電積層体８０のそれぞれは、下部電極膜２２，８２と、下部電極膜２２，８２上に形成された圧電膜２４，８４と、圧電膜２４，８４上に形成された上部電極膜２６，８６と、を含む。エッチングによって厚みを減らして、腕部１８の厚み方向に関する曲げ剛性を低くする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動周波数の調整範囲を拡大することを目的としている。
【解決手段】基部１６及び基部１６から基部１６の厚み方向に交差する方向に並んで延びる複数の腕部１８を含む基材１０であって、それぞれの腕部１８は、隣の腕部１８に対向する第１の側面１３及び第１の側面１３とは反対側を向く第２の側面１５を有し、第１及び第２の側面１３，１５の少なくとも一方が露出している露出領域３０を有する基材１０を用意する。露出領域３０をエッチングする。エッチングによって腕部１８の幅を減らして、複数の腕部１８の幅方向に関する曲げ剛性を低くする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動片及び振動子の製造方法に関する。
【解決手段】相互に反対を向いて厚みを定義する第１及び第２の表面１２，１４を有し、基部１６及び基部１６から厚み方向に直交して並んで延びる複数の腕部１８を含む支持体１０を用意する。支持体１０は、複数の腕部１８のそれぞれの第１の表面１２に下部電極膜２０が形成され、下部電極膜２０上に圧電膜２２が形成され、圧電膜２２上に上部電極膜２６が形成され、第２の表面１４において複数の腕部１８のそれぞれの少なくとも一部は露出領域３０を有する。第２の表面１４の露出領域３０をエッチングする。エッチングによって厚みを減らして、複数の腕部１８を厚みの方向に曲がりやすくする。 （もっと読む）

【課題】 振動腕を加工することなく周波数調整を行うことができる音叉型圧電振動片を備える圧電フレームを提供する。
【解決手段】 圧電フレーム（２１）は、基部（２３）の一端側から第１方向に伸びる少なくとも一対の振動腕（２４）を有し、この一対の振動腕に励振電極（４３，４４）を有する音叉型圧電振動片と、振動腕の両外側において第１方向に伸びる一対の支持腕（２５）と、音叉型圧電振動片を囲む外枠部（２２）と、一対の支持腕と外枠部とを接続する所定幅を有する接続部（２６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電素板をウエットエッチングにより形成するときに、圧電素板に対して外形上の悪影響を与えるのを防止した圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの製造方法は、圧電素板１２の一方の主面２０に第１接着剤４０を用いて載置部４２を接合するとともに、圧電素板１２の他方の主面２２に対向した位置が開口したガイド板４６を圧電素板１２の他方の主面２２に配置して、他方の主面２２の周縁部とガイド板４６とを第２接着剤４４を用いて接合し、ガイド板４６の開口部４８にエッチング液を滴下して、他方の主面２２をエッチングする構成である。 （もっと読む）

【課題】低いＣＩ値の水晶振動子片を提供する。
【解決手段】
振動する脚の根元にエッチングにより残渣が形成される複数の振動脚と、複数の振動脚が接続された基部とを備え、複数の振動脚と基部とがエッチングによって一体的に形成される水晶振動子片において、水晶振動子片の厚み方向から見て、残渣のうちで、残渣の面積が最も小さく形成される第１群振動脚を除いた第２群振動脚に、第２群振動脚の共振周波数を調整するためのバランス調整部を形成し、このバランス調整部は、基部と反対側の先端であり、第２群振動脚の一体物として形成されることを特徴とする。これにより、振動する複数の振動脚の共振周波数を合わせることができ、振動損失が少ない低いＣＩ値を有する水晶振動子片を提供できる。 （もっと読む）

【課題】輪郭圧電振動片の周波数を簡単に効率良くかつ高精度に調整する。
【解決手段】正方形の水晶平板からなる振動部２と支持部４とそれらを結合する接続部３ａ，３ｂとを一体に備える輪郭水晶振動片１において、振動部の両面にそれより小さい同心正方形状の励振電極５，６を形成し、その外側に該振動部の周辺との間に矩形枠状の水晶素面領域７，８を設ける。水晶素面領域には、振動部の各辺２ａ〜２ｄに沿って延長する複数の細い直線状の溝１１ａ〜１１ｄ，１２ａ〜１２ｄが振動部の対向する各２辺の中点を通る２つの対称軸に関してそれぞれ線対称に形成されている。基本的に振動部の輪郭寸法により設定される輪郭水晶振動片の周波数は、溝の本数、それらの幅、長さ、深さや位置を適当に選択することにより、低くなる向きに調整される。 （もっと読む）