【課題】被処理面以外の面に対する処理液の飛散を抑制しつつ、被処理面に処理液による処理を施すことができる処理装置および表面処理治具を提供する。
【解決手段】本発明の処理装置１００は、被処理体１８が載置される載置台１０と、処理液にて被処理体１８の被処理面１８ａを処理する表面処理治具２０と、表面処理治具２０に処理液を供給する供給手段３０と、表面処理治具２０に供給された処理液を回収する回収手段４０と、表面処理治具２０を被処理面１８ａと離間した状態を維持する離間維持手段５０と、を含んでいる。表面処理治具２０は、被処理面１８ａに対向する対向面２２ａを有し、対向面２２ａと被処理面１８ａとの間に供給手段３０から供給された処理液を保持して被処理面１８ａを処理する処理部を備える。 （もっと読む）